旋转式曝光载送设备的制作方法
【专利摘要】本发明系提供一种旋转式曝光载送设备，用于载送一基材以进行曝光，旋转式曝光载送设备包含一承载装置及一转动式移动装置，承载装置将基材固定于其上而承载基材，转动式移动装置具有一转动机构，转动机构连接承载装置且在转动的状态下为移动，以改善曝光制程的效率。
【专利说明】旋转式曝光载送设备
【技术领域】
[0001]本发明系关于一种曝光载送设备，特别是关于一种旋转式曝光载送设备。
【背景技术】
[0002]在LCD、印刷电路板及无线充电器等需要电子回路图像成型的产品，都需要经过设 计电路、涂抹光阻、对准、曝光、显影、蚀刻、去光阻、及检测等步骤，以将所设计的电子回路 图像转印在一基材上。曝光制程通常使用一光源(例如，短弧形汞灯)照射基材以使基材曝 光。
[0003]然而，在习知技术中，当使用曝光设备曝光基材的各个表面时，需藉由依次翻转基 材而使基材的各表面依序曝光。因此曝光步骤繁复，使得制程时间增加。
【发明内容】
[0004]本发明的主要目的是提供一种旋转式曝光载送设备，以简化曝光步骤及改善整体 制程时间。
[0005]本发明为解决习知技术的问题所采用的技术手段为一种旋转式曝光载送设备，用 于载送一基材以进行曝光，旋转式曝光载送设备包含一承载装置及一转动式移动装置，承 载装置将基材固定于其上而承载基材，转动式移动装置具有一转动机构，转动机构连接承 载装置且在转动的状态下为移动。
[0006]在本发明的一实施例中，转动机构为轴向旋转的一支轴。
[0007]在本发明的一实施例中，转动机构为平行于基材的纵向表面。
[0008]在本发明的一实施例中，转动机构的转动轴心线通过基材的中心处。
[0009]在本发明的一实施例中，转动机构的转动轴心线与基材的中心处的距离为基材的 横向表面的长度的一半。
[0010]在本发明的一实施例中，转动机构的转动轴心线与基材的中心处的距离大于基材 的横向表面的长度的一半。
[0011 ] 在本发明的一实施例中，还包括一延接构件，连接在转动机构与承载装置之间。
[0012]在本发明的一实施例中，承载装置为多个，并藉由多个延接构件而使各个承载装 置与转动机构相连接。
[0013]在本发明的一实施例中，延接构件的延伸方向为平行于基材的横向表面。
[0014]在本发明的一实施例中，延接构件为设置为以其延伸方向为旋转轴向。
[0015]经由本发明所采用的技术手段，藉由本发明的旋转式曝光载送设备，基材的多个 表面可在一次曝光过程中都被曝光，而省去依次将基材翻面以使基材的各表面依序曝光的 步骤，使得制程时间更为减少以及操作步骤更为简化，而改善曝光制程的效率。
[0016]在一实施例中，藉由旋转式曝光载送设备能够对多个基材及基材的各表面曝光， 以提高曝光效率。【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1系显示本发明的第一实施例的旋转式曝光载送设备的示意图。
[0018]图2系显示本发明的第二实施例的旋转式曝光载送设备的示意图。
[0019]图3系显示本发明的第三实施例的旋转式曝光载送设备的示意图。
[0020]主要组件符号说明 [0021]100、100a、IOOb旋转式曝光载送设备
[0022]1、la、Ib承载装置
[0023]11固定构件
[0024]2转动式移动装置
[0025]21、21a、21b 转动机构
[0026]22驱动机构
[0027]23输送机构
[0028]3延接构件
[0029]4基材
[0030]5曝光装置 [0031 ]A、A’、A〃 转动轴心线
[0032]D1、D2距离
[0033]E延伸方向
[0034]0中心处
[0035]P曝光路径
[0036]R1、R2旋转方向
[0037]SI纵向表面
[0038]S2横向表面
【具体实施方式】
[0039]本发明所采用的具体实施例，将藉由以下的实施例及附呈图式作进一步的说明。
[0040]参阅图1所示，其系显示本发明的第一实施例的旋转式曝光载送设备的示意图。 本发明的第一实施例的旋转式曝光载送设备100包含一承载装置I及一转动式移动装置2。
[0041]承载装置I用以承载一基材4。在本实施例中，承载装置I包括一固定构件11以固定基材4。承载装置I为一载台，固定构件11为一夹具。
[0042]转动式移动装置2包括一转动机构21、一驱动机构22、及一输送机构23。其中,转动机构21连接于承载装置I。在本实施例中，转动机构21为轴向旋转的一支轴21，且在旋转的状态下为移动。当然，本发明不以此为限，转动机构21也可为一转盘，可使承载装置I 旋转即可。
[0043]在本实施例中，转动机构21为平行于基材4的纵向表面SI，且转动机构21的转动轴心线A通过基材4的中心0处。
[0044]驱动机构22连接于转动机构21的一端，以驱动转动机构21旋转,使得转动机构 21以转动轴心线A为旋转轴向而旋转。输送机构23连接驱动机构22，以移动驱动机构22， 而一并使转动机构21沿着一曝光路径P移动。在本实施例中，驱动机构22为一马达,输送机构23为一输送带，但本发明并不限于此，也可只用单一机构使转动机构旋转及输送，例 如驱动机构22与输送机构23可改为机械手臂等，只要可以使转动机构21旋转并沿着曝光 路径P移动即可。
[0045]而曝光路径P的侧边位置处设置有一曝光装置5，使基材4受曝光装置5的曝光。
[0046]藉由上述结构，当输送机构23沿着输送方向T输送驱动机构22时，连带使转动机 构21、承载装置1、以及被固定在承载装置I上的基材4沿着输送方向T移动。基材4在沿 着输送方向T移动的过程中，会受到发曝光装置5照射而被曝光。
[0047]由于转动机构21藉由驱动机构22而以转动轴心线A的延伸方向为旋转轴向而旋 转，藉此承载装置I也会随着转动机构21而以转动轴心线A的延伸方向为旋转轴向而旋 转，从而固定于承载装置I上的基材4也会随着转动机构21而旋转。在本实施例中，转动 机构21的旋转方向Rl为逆时针，当然，本发明不以此为限，旋转方向Rl也可为顺时针。
[0048]当基材4旋转时，基材4的各个纵向表面SI都会被曝光装置5所发出的光照射到。 从而达到在一次曝光过程中，基材4的各个纵向表面SI都被曝光的效果。
[0049]参阅图2所示，其系显示本发明的第二实施例的旋转式曝光载送设备的示意图。 此一实施例的旋转式曝光载送设备IOOa的组成组件大致与前述第一实施例相同，故相同 的组件乃标示以相同的组件编号，以资对应。其差异在于本实施例中转动机构21a的转动 轴心线A’与基材4的中心处0的距离Dl为基材4的横向表面S2的长度的一半，因此固定 于承载装置Ia上的基材4随着转动机构21a旋转的旋转半径与前述第一实施例不相同，以 应对不同情况下的曝光。其它结构均与第一实施例相同，故不再赘述。
[0050]参阅图3所示，其系显示本发明的第三实施例的旋转式曝光载送设备的示意图。 此一实施例的旋转式曝光载送设备IOOb的组成组件大致与第一实施例相同，故相同的组 件乃标示以相同的组件编号，以资对应。其差异在于，在本实施例中，旋转式曝光载送设备 IOOb包括四个承载装置Ib (也可以一个或以上的承载装置)，并藉由四个延接构件3 (也可 一个或以上的延接构件)以使各个承载装置Ib与转动机构21b相连接。
[0051]在本实施例中，转动机构21b的转动轴心线A"与基材4的中心处0的距离D2超 过基材4横向表面S2的长度的一半。
[0052]在本实施例中，延接构件3连接在转动机构21b与承载装置Ib之间，且各延接构 件3的延伸方向E平行于各基材4的横向表面S2并垂直于转动机构21b,当然,本发明不以 此为限，延伸方向E也可与转动机构21b不垂直且与基材4的横向表面S2不平行。
[0053]在本实施例中，延接构件3藉由转动机构(图未示)而以其延伸方向E为旋转轴向 而旋转。在本实施例中，延接构件3的旋转方向R2为逆时针旋转，当然，本发明不以此为限， 旋转方向R2也可为顺时针。
[0054]因此，每个承载装置Ib分别依各个延接构件3的旋转轴向而旋转，且依转动机构 21b的旋转而以转动机构21b的转动轴心线A"为公转轴而公转，以使固定于承载装置I上 的基材4的表面都可以被曝光装置5发出的光照射到而被曝光。从而达到四个基材4的表 面都被曝光的效果。
[0055]由本发明的实施例可以得知，藉由本发明的旋转式曝光载送设备，使基材的多个 表面都被曝光，而省去依次将基材翻面而使基材的各表面依序曝光的步骤，使得制程时间 更为减少及操作步骤更为简化，而改善曝光制程的效率。[0056]由以上的实施例可知，本发明所提供的旋转式曝光载送设备确具产业上的利用价 值。然而，以上的叙述仅为本发明的较佳实施例说明，凡精于此项技艺者当可依据上述的说 明而作其它种种的改良，然而这些改变仍属于本发明的发明精神及所界定的专利范围中。
【权利要求】
1.一种旋转式曝光载送设备，用于载送一基材以进行曝光，其特征在于，该旋转式曝光 载送设备包含:一承载装置，将该基材固定于其上，而承载该基材；以及一转动式移动装置，具有一转动机构，该转动机构连接该承载装置且在旋转的状态下 为移动。
2.如权利要求1所述的旋转式曝光载送设备，其特征在于，该转动机构为轴向旋转的 一支轴。
3.如权利要求1所述的旋转式曝光载送设备，其特征在于，该转动机构为平行于该基 材的纵向表面。
4.如权利要求1所述的旋转式曝光载送设备，其特征在于，该转动机构的转动轴心线 通过该基材的中心处。
5.如权利要求1所述的旋转式曝光载送设备，其特征在于，该转动机构的转动轴心线 与该基材的中心处的距离为该基材的横向表面的长度的一半。
6.如权利要求1所述的旋转式曝光载送设备，其特征在于，该转动机构的转动轴心线 与该基材的中心处的距离系大于该基材的横向表面的长度的一半。
7.如权利要求1所述的旋转式曝光载送设备，其特征在于，还包括一延接构件，连接在 该转动机构与该承载装置之间。
8.如权利要求7所述的旋转式曝光载送设备，其特征在于，该承载装置为多个，并藉由 多个该延接构件而使各个该承载装置与该转动机构相连接。
9.如权利要求7所述的旋转式曝光载送设备，其特征在于，该延接构件的延伸方向系 平行于该基材的横向表面。
10.如权利要求7所述的旋转式曝光载送设备，其特征在于，该延接构件系设置为以其 延伸方向为旋转轴向。
【文档编号】G03F7/20GK103576465SQ201210254365
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2012年7月23日 优先权日:2012年7月23日
【发明者】刘维林 申请人:崇鼎科技有限公司