永久膜用感光性组合物、抗蚀材料及涂膜的制作方法

技术特征：

1.一种永久膜用感光性组合物，其特征在于，含有羟基萘酚醛清漆树脂，不含固化剂、或含有相对于所述羟基萘酚醛清漆树脂100质量份为50质量份以下的固化剂，

所述羟基萘酚醛清漆树脂具有下述通式(1)所示的结构部位(I)作为重复单元，且下述通式(2)所示的羟基萘类(A)的含量以树脂固体成分换算计为2质量％以下，

式(1)中，R¹表示氢原子、烷基、烷氧基、可以具有取代基的芳基、可以具有取代基的芳烷基、或卤素原子，多个存在的R¹可以彼此相同也可以不同，

R²表示氢原子、可以具有取代基的烷基、或可以具有取代基的芳基，

p表示1或2，q表示4或5，其中，p与q之和为6，

式(2)中，R¹、p及q与所述式(1)相同。

2.根据权利要求1所述的永久膜用感光性组合物，其还含有相对于所述羟基萘酚醛清漆树脂100质量份为0.1～50质量份的固化剂。

3.根据权利要求1所述的永久膜用感光性组合物，其还含有相对于所述羟基萘酚醛清漆树脂100质量份为0.1～30质量份的固化剂。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的永久膜用感光性组合物，其中，所述羟基萘酚醛清漆树脂如下得到：使所述通式(2)所示的羟基萘类(A)与下述通式(3)所示的醛类(B)，在反应比例(A)/(B)以摩尔比计为0.5～1.5的范围的条件下，在含有有机溶剂和相对于所述羟基萘类(A)100质量份为30～300质量份的水的体系内，在酸催化剂下反应，从而得到，

R²-CHO (3)

式(3)中，R²与所述式(1)相同。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的永久膜用感光性组合物，其中，所述R²为氢原子。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的永久膜用感光性组合物，其中，所述R¹为氢原子。

7.根据权利要求4～6中任一项所述的永久膜用感光性组合物，其中，所述酸催化剂为对甲苯磺酸。

8.根据权利要求4～7中任一项所述的永久膜用感光性组合物，其中，所述有机溶剂为选自丁醇、辛醇、甲基乙基酮及甲基异丁基酮组成的组中的1种以上。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的永久膜用感光性组合物，其还含有光敏剂。

10.一种抗蚀材料，其包含权利要求9所述的感光性组合物。

11.一种涂膜，其由权利要求9所述的感光性组合物形成。

12.根据权利要求11所述的涂膜，其为永久膜。