永久膜用感光性组合物、抗蚀材料及涂膜的制作方法

文档序号:12287410阅读:来源:国知局
技术总结
本发明的目的在于提供一种感光灵敏度、分辨率、耐热性及耐吸湿性优异、并且在高温环境下不易发生污染、适合作为永久膜的材料的感光性组合物等,提供一种永久膜用感光性组合物,其含有羟基萘酚醛清漆树脂,不含固化剂、或含有相对于前述树脂100质量份为50质量份以下的固化剂,所述羟基萘酚醛清漆树脂具有通式(1)所示的结构部位(I)作为重复单元,且通式(2)所示的羟基萘类(A)的含量以树脂固体成分换算计为2质量%以下[式中,R1表示氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基或卤素原子,多个存在的R1可以彼此相同也可以不同,R2表示氢原子、烷基或芳基,p表示1或2,q表示4或5。其中,p与q之和为6。]。

技术研发人员:今田知之;木本诚二;佐藤勇介
受保护的技术使用者:DIC株式会社
文档号码:201580031521
技术研发日:2015.05.19
技术公布日:2017.02.22

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