技术总结
于本发明的基板保持具(30a)，形成有收容用于基板(P)的搬送的基板托盘(40a)的X槽(31x)。此外，于X槽(31x)内，设有按压基板托盘(40a)使基板(P)与基板托盘(40a)一起移动的基板搬出装置(70a)。因此，能在对基板(P)的曝光处理结束后，为更换基板(P)而使基板载台(20a)位于基板更换位置之前，开始基板(P)的搬出动作。
技术研发人员：青木保夫;柳川卓也
受保护的技术使用者：株式会社尼康
文档号码：201611001027
技术研发日：2012.05.11
技术公布日：2017.06.20