1.一种曝光装置，其特征在于，包括：位于掩膜板的出光侧的图像采集单元和与所述图像采集单元连接的处理单元；其中，
所述图像采集单元，用于采集曝光过程中由所述掩膜板的出射光所呈现的掩膜板图像，将采集的所述掩膜板图像发送给所述处理单元；
所述处理单元，用于接收所述图像采集单元发送的所述掩膜板图像，将接收的所述掩膜板图像与预存的参考图像进行比较；在所述掩膜板图像与所述参考图像一致时，确定所述掩膜板使用正确且所述掩膜板的表面无异物；在所述掩膜板图像与所述参考图像不一致时，确定所述掩膜板使用错误和/或所述掩膜板的表面存在异物。
2.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，还包括：位于所述掩膜板的出光侧且位于待曝光基板的入光侧的分光单元；
所述分光单元，用于将所述掩膜板的出射光中的一部分透射至所述待曝光基板，另一部分反射至所述图像采集单元；
所述图像采集单元，位于所述分光单元的反射光的出光侧，用于实时采集曝光过程中由所述掩膜板的出射光被所述分光单元反射后所呈现的所述掩膜板图像。
3.如权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述图像采集单元，用于在一个曝光扫描时间内采集由所述掩膜板的出射光被所述分光单元反射后所呈现的所述掩膜板图像。
4.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，还包括：用于承载待曝光基板的载台；
所述图像采集单元，位于所述载台内，用于在所述待曝光基板与下一基板的曝光间隙采集由所述掩膜板的出射光所呈现的所述掩膜板图像。
5.如权利要求1-4任一项所述的曝光装置，其特征在于，所述图像采集单元为照相机。
6.如权利要求1-4任一项所述的曝光装置，其特征在于，所述处理单元为计算机。
7.如权利要求2或3所述的曝光装置，其特征在于，所述分光单元为分光镜。
8.如权利要求7所述的曝光装置，其特征在于，所述分光镜的透射光的光强与反射光的光强的比值大于1。
9.如权利要求1-4任一项所述的曝光装置，其特征在于，还包括：与所述处理单元连接的报警单元；
所述报警单元，用于在所述处理单元确定所述掩膜板使用错误和/或所述掩膜板的表面存在异物时，发出警报。
10.如权利要求9所述的曝光装置，其特征在于，所述报警单元为报警器。