技术总结
本实用新型公开了一种曝光装置，包括位于掩膜板的出光侧的图像采集单元和与图像采集单元连接的处理单元；图像采集单元用于采集曝光过程中由掩膜板的出射光呈现的掩膜板图像，将采集的掩膜板图像发送给处理单元；处理单元用于接收图像采集单元发送的掩膜板图像，将接收的掩膜板图像与预存的参考图像进行比较，在掩膜板图像与参考图像一致时确定掩膜板使用正确且掩膜板的表面无异物，在掩膜板图像与参考图像不一致时确定掩膜板使用错误和/或掩膜板的表面存在异物；这样，利用上述曝光装置进行曝光工艺的过程中，可以及时发现掩膜板使用错误和掩膜板表面存在异物的问题，从而可以及时停止曝光工艺并采取有效措施，进而可以提高显示面板的制作良率。
技术研发人员：曹中林;黄炜赟;陈中龙
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
文档号码：201621248258
技术研发日：2016.11.15
技术公布日：2017.05.03