技术特征：
技术总结
本发明提供一种曝光机及遮光叶片。该曝光机通过在第一前遮光叶片的竖直部中设置开口，使得第一前遮光叶片移动时空气可通过所述开口流动，进而减少第一前遮光叶片移动时第一前遮光叶片与光罩保护膜之间的气压下降，避免光罩保护膜被刮蹭，并通过在所述开口的顶部和侧部设置遮光板，避免曝光所用的紫外光从所述开口泄漏出去，保证第一前遮光叶片的遮光效果和曝光机的曝光效果，防止图形异常。
技术研发人员：王维;林明文;江敏成;许俊安;熊定;蔡在秉
受保护的技术使用者：深圳市华星光电技术有限公司
技术研发日：2017.07.17
技术公布日：2017.09.29