模具。
[0033]接下来，将描述当注射跨越两个区域时的吸附压力的切换。如图5A所示，当进行注射IAc的压印时，注射IAc的外周跨越吸附区域区I和区2。此时，通过将吸附区域区I和区2的内部压力切换为高于正常吸附时的压力，来减弱吸附力。因此，当模具5被释放时，与基板IA的吸附区域区I和区2相对应的部分在模具释放方向上被提起，并且具有微小变形，使得能够提高模具5与基板IA的模具释放特性，并且以较小的释放力来释放模具。此外，即使当吸附区域区I和区2的吸附力被减弱时，由于借助吸附区域区3和区4，基板的1/2以上的面积以强吸附力保持基板1A，因此也能够阻止基板IA从基板保持部2A剥离或移动。类似地，如图5B所示，当进行注射IAd的压印时，注射IAd的外周跨越吸附区域区3和区4。因此，仅需要通过将吸附区域区3和区4的内部压力切换为高于正常吸附时的压力，来减弱吸附力。当模具5被释放时，与基板IA的吸附区域区3和区4相对应的部分在模具释放方向上被提起，并且具有微小变形，使得能够提高模具5与基板IA的模具释放特性，并且以较小的释放力释放模具。此外，即使当吸附区域区3和区4的吸附力被减弱时，由于借助吸附区域区I和区2，基板的1/2以上的面积以强吸附力保持基板1A。因此，能够阻止基板IA从基板保持部2A剥离或移动。
[0034]类似地，将描述针对直径450mm的基板、注射的位置和基板保持部2A的吸附压力的切换。如图6A所示，当在基板保持部2A吸附并保持的直径450mm的基板IB的注射IBa上进行压印时，注射IBa的外周包括在吸附区域区I中。此时，通过将吸附区域区I的内部压力切换为高于正常吸附时的压力并减弱吸附力，当模具5被释放时，与基板IB的吸附区域区I相对应的部分被提起并具有微小变形。因此，能够提高模具5与基板IB的模具释放特性，并以较小的释放力释放模具。这里，如上所述，区域区I指示包括针对直径300mm的基板配设的区I以及针对直径450mm的基板配设的两个位置的区I的总计三个位置。另外，如图6B所示，即使当在注射IBb上进行压印时，注射IBb的外周也包括在吸附区域区I中，这类似于进行上述注射IBa的压印的情况。通过将由总计3个位置形成的吸附区域区I的内部压力切换为高于正常吸附时的压力并减弱吸附力，当释放模具5时，与基板IB的吸附区域区I相对应的部分在模具释放方向上被提起，并具有微小变形。因此，能够提高模具5与基板IB的模具释放特性，并以较小的释放力释放模具。此外，当注射IBb包括在与直径300mm的基板相对应的区I中时，仅使用与直径300_的基板相对应的吸附区域(即，隔壁2E)包围的区域，来进行吸附压力的调整。
[0035]接下来，将描述当即使针对直径450_的基板注射也跨越两个吸附区域时的吸附压力的切换。如图7A所示，当进行注射IBc的压印时，注射IBc的外周跨越吸附区域区I和区6。此时，通过将吸附区域区I和区6的内部压力切换为高于正常吸附时的压力来减弱吸附力。因此，当释放模具5时，与基板IB的吸附区域区I和区6相对应的部分在模具释放方向上被提起，并具有微小变形。然后，能够提高模具5与基板IB的模具释放特性，并以较小的释放力释放模具。此外，即使当吸附区域区I和区6的吸附力被减弱时，借助吸附区域区2至区5，至少基板的1/2以上的面积也以强吸附力保持基板。因此，能够阻止基板IB从基板保持部2A剥离或移动。类似地，如图7B所示，即使当在注射IBb上进行压印时，注射IBb的外周也跨越吸附区域区I和区2。因此，仅需要通过将吸附区域区I和区2的内部压力切换为高于正常吸附时的压力来减弱吸附力。当释放模具5时，与基板IB的吸附区域区I和区2相对应的部分在模具释放方向上被提起，并具有微小变形，使得能够提高模具5与基板IB的模具释放特性，并以较小的释放力来释放模具。此外，即使当吸附区域区I和区2的吸附力被减弱时，借助吸附区域区3至区6，至少基板的1/2以上的面积也以强吸附力保持基板。因此，能够阻止基板IB从基板保持部2A剥离或移动。
[0036]如上所述，根据本实施例，能够提供在不同尺寸的基板之间能够共享一个基板保持部的压印装置。此外，能够提供包括基板保持部并能够抑制压印处理中基板的剥离或偏移的压印装置，通过该基板保持部能够方便处理并能够以高精度控制平整度。
[0037](物品制造方法)
[0038]根据本发明的实施例的制造诸如上述设备(例如，显微镜、液晶显示器)的物品的方法可以包括使用上述压印装置在物体(例如，晶片、玻璃板、薄膜基板)上形成图案的步骤。此外，物品制造方法也可以包括其他已知步骤(氧化、薄膜形成、气相沉积、掺杂、平整、蚀刻、抗蚀剂剥离、切割、键合、封装等)。与传统物品制造方法相比，本实施例的物品制造方法在设备的性能、品质、生产率和生产成本中的至少一者上有优势。
[0039]虽然已经参照示例性实施例描述了本发明，但是应当理解，本发明并不局限于公开的示例性实施例。所附权利要求的范围应当符合最广泛的解释，以使其涵盖所有这些变型以及等同结构和功能。
[0040]本申请要求2014年5月16日提交的日本专利申请第2014-101918号的优先权，其全部内容通过引用并入本文。
【主权项】
1.一种压印装置，其通过使涂布在基板上的树脂与模具接触来在所述基板上形成图案，所述压印装置包括: 基板保持部，其被构造成保持所述基板， 其中，所述基板保持部包括在预定方向上布置的多个保持区域，并且 其中，所述多个保持区域的形状被限定为能够以第一外径保持第一基板，并且能够以与所述第一外径不同的第二外径保持第二基板。2.根据权利要求1所述的压印装置，其中，能够保持所述第一基板的第一保持区域被包括在与能够保持所述第二基板的第二保持区域相同的平面中。3.根据权利要求2所述的压印装置，其中，所述多个保持区域还由在所述预定方向上布置的直线边界限定。4.根据权利要求3所述的压印装置， 其中，能够保持所述第一基板的所述第一保持区域在所述预定方向的宽度尺寸根据在所述预定方向上的位置而不同，并且 其中，所述多个保持区域当中的、具有不同宽度尺寸的两个保持区域的面积比在0.8至1.2的范围内。5.根据权利要求2所述的压印装置， 其中，能够保持所述第二基板的所述第二保持区域还由在所述预定方向上布置的直线边界限定，并且 其中，所述直线边界外接能够保持所述第一基板的所述第一保持区域。6.根据权利要求1至5中任一项所述的压印装置，其中，所述基板保持部使用负压来保持所述基板。7.一种物品的制造方法，所述制造方法包括以下步骤: 使用根据权利要求1所述的压印装置在基板上形成图案，以及 对所述形成有图案的基板进行处理以制造所述物品。
【专利摘要】本发明提供一种压印装置及物品制造方法。该压印装置包括：基板保持部，其被构造成保持所述基板，其中，所述基板保持部包括在预定方向上布置的多个保持区域，并且其中，所述多个保持区域的形状被限定为能够以第一外径保持第一基板，并且能够以与所述第一外径不同的第二外径保持第二基板。
【IPC分类】H01L21/027, B29C59/02, B29C43/36, G03F7/00
【公开号】CN105093822
【申请号】CN201510242920
【发明人】宫岛义一, 川原信途
【申请人】佳能株式会社
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年5月13日
【公告号】US20150328827