仿形装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种仿形装置，在使与仿形构件一体化的抵接面平行于对象物的特定面的状态下进行仿形。
【背景技术】
[0002]仿形装置具备:具有凹状半球面的装置基台、以及具有凸状半球面的仿形构件(例如，参照日本专利特开2002-359263号公报)。装置基台的凹状半球面与仿形构件的凸状半球面被设定成具有相同的曲率半径。仿形构件以两个半球面重叠的方式安装至装置基台。仿形构件通过从凹状半球面喷出的空气而从凹状半球面浮起，沿着凹状半球面摇动。
[0003]在这仿形装置中，当仿形构件的抵接面接触至工件特定面时，仿形构件便沿着工件特定面摇动，其抵接面与工件特定面平行。亦即，仿形构件对工件进行仿形作业。接着，在装置基台的凹状半球面与仿形构件的凸状半球面之间通过负压而产生吸力，将仿形构件吸附至装置基台。利用该吸附力而锁固仿形构件，而得以维持这种仿形状态。
【发明内容】
_4]发明所要解决的课题
[0005]因仿形构件的仿形作业对象的工件小型化等理由，而要求仿形装置的小型化。当将仿形装置小型化时，装置基台的凹状半球面与仿形构件的凸状半球面的有效面积亦会缩小。其结果，将使得喷出空气而使仿形构件浮起的力(浮起荷重)、以及抽吸空气而支承仿形构件的力(支承力)也会随之变小。此外，还有一种情况是在仿形装置中，将加热装置装设于仿形构件，将该加热装置作为仿形构件的一部分来使用。在此种情况下，若将仿形装置小型化，缩小凹状半球面与凸状半球面的有效面积时，由加热装置所传递的热将无法充分由仿形构件散出，而使得设置在仿形装置内的构件(例如，吸附用磁铁或气密用衬垫)有可能因热而劣化。
[0006]本发明是鉴于上述情况而做出的，其目的在于，提供一种仿形装置，可抑制浮起荷重及支承力的下降、以及因热所造成的劣化，同时还可小型化。
_7]用于解决课题的手段
[0008]用于解决上述问题点的仿形装置，具备:具有凸状球面的仿形构件；以及具有收容所述凸状球面的凹状球面的装置基台；所述仿形构件受到空气压力而能够从所述装置基台浮起，一边使所述仿形构件沿着所述凹状球面摇动，一边使与所述仿形构件形成为一体化的抵接面抵接至对象物，使所述抵接面平行于对象物的特定面，实施仿形作业。将所述装置基台与所述仿形构件重叠的方向设为仿形装置的轴向时，沿着所述轴向观看时，所述装置基台呈具有长边及短边的矩形形状。从所述轴向向所述装置基台投影了以所述装置基台的中央为中心、且直径比所述装置基台短边长的圆时，所述凹状球面形成在由所述圆包围的所述装置基台的区域。
[0009]发明效果
[0010]通过本发明，提供一种可抑制浮起荷重及支承力的下降、以及因热而造成劣化、并且可小型化的仿形装置。
【附图说明】
[0011]图1是由座板侧观察实施方式的仿形装置时的立体图。
[0012]图2是由仿形构件侧观察组装途中的图1的仿形装置的立体图。
[0013]图3是图1的仿形装置的分解立体图。
[0014]图4(a)是沿图1的长边方向剖开的仿形装置的截面图；图4(b)是沿图1的短边方向剖开的仿形装置的截面图。
[0015]图5(a)是显示在图1的仿形装置中的环状多孔质体的凹状球面的立体图；图5(b)是显示在比较例中的环状多孔质体的凹状球面的立体图。
[0016]图6示出在图1的仿形装置的截面图中，仿形构件朝一方的侧板摇动的状态。
【具体实施方式】
[0017]通过本发明的一实施方式，提供一种仿形装置，具有:具有凸状球面的仿形构件；以及具有收容所述凸状球面的凹状球面的装置基台；所述仿形构件受到空气压力而能够从所述装置基台浮起，一边使所述仿形构件沿着所述凹状球面摇动，一边使与所述仿形构件形成为一体化的抵接面抵接至对象物，在使所述抵接面平行于对象物的特定面的状态下，实施仿形作业。将所述装置基台与所述仿形构件重叠的方向设为仿形装置的轴向时，沿着所述轴向观看时，所述装置基台呈具有长边及短边的矩形形状。从所述轴向向所述装置基台投影了以所述装置基台的中央为中心、且直径比所述装置基台短边长的圆时，所述凹状球面形成在由所述圆包围的所述装置基台的区域。
[0018]所述圆的直径优选在所述装置基台的长边方向的长度以下。
[0019]优选沿着所述轴向观看时，所述装置基台包括环状多孔质体，该环状多孔质体具有:一对长侧缘；以及一对圆弧缘，该一对圆弧缘将所述一对长侧缘的一端彼此及另一端彼此连接；所述凹状球面被设置于所述环状多孔质体。
[0020]优选沿着所述轴向观看时，所述仿形构件的所述凸状球面具有:一对长侧缘；以及一对圆弧缘，该一对圆弧缘将所述一对长侧缘的一端彼此及另一端彼此连接。
[0021]所述凸状球面的所述一对圆弧缘也可以形成为与所述环状多孔质体的所述一对圆弧缘重叠。
[0022]优选所述装置基台的短边侧的侧面，分别具有:朝向外方的突出部；以及两个安装台阶部，两个安装台阶部由短边方向两侧夹持所述突出部，且相对于所述突出部呈凹陷状；在所述短边侧的各个侧面，将U字形的侧板以在其两端部之间夹持所述突出部般的方式装设至所述两个安装台阶部，使所述仿形构件配置在一对侧板之间。
[0023]优选仿形装置具有由所述侧板和所述突出部包围的开口部，当所述仿形构件朝沿着其长侧缘方向摇动时，所述仿形构件的一方端部进入所述开口部。
[0024]以下，依据图1至图6，说明本发明的仿形装置的一实施方式。在后续说明中，分别将仿形装置的上下(垂直)方向设为Z轴方向，将垂直于该Z轴方向、且在同一水平面上相互正交的方向设为X轴方向及Y轴方向。
[0025]如图3所示，本实施方式的仿形装置10具有:作为其主要构成构件的装置基台11、以及仿形构件21。仿形装置10包括:盖件26、磁铁支承件23、一对侧板31、以及止旋环41。在仿形装置10中，依序安装盖件26、磁铁支承件23、以及装置基台11，将一对侧板31装设在装置基台11的侧面，通过该侧板31将止旋环41可摇动地支承。盖件26、磁铁支承件23、装置基台11、以及仿形构件21的层叠方向为Z轴方向，亦即为仿形装置10的轴向。
[0026]如图3和图4(a)所示，装置基台11包括:四角筒状的固定块12 ;以及环状多孔质体13，该环状多孔质体13设于该固定块12的面向仿形构件21的对向面。沿着Z轴方向观看时，固定块12为具有长边及短边的矩形形状。固定块12在长边方向的中央且短边方向的中央处，具有轴向贯通固定块12的贯通孔12c。另外，固定块12还具有包围贯通孔12c、且朝向环状多孔质体13开口的环状的空气给排槽15。该空气给排槽15经由空气通路15a而与设在固定块12的空气给排口 B连通。此外，固定块12具有包围空气给排槽15的收容凹部12d，于该收容凹部12d内侧收容有环状多孔质体13。
[0027]从未图示的压力供给源将加压空气作为加压流体而供给至空气给排口 B的话，该加压空气便会经由空气通路15a及空气给排槽15，供给至环状多孔质体13，从环状多孔质体13的整体喷出。相反地，当由空气给排口 B抽取空气时，则由环状多孔质体13全体来抽取空气。
[0028]作为形成环状多孔质体13的材料，例如可使用烧结铝、烧结铜、烧结不锈钢等金属材料。除此之外，亦可使用如烧结三氟化树脂、烧结四氟化树脂、烧结尼龙树脂、烧结聚缩醛树脂等合成树脂材料、或是