专利名称：等离子刻蚀机排风系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及机械设备的排气系统，更具体的说，涉及一种等离子刻蚀机排风
系统。
背景技术：
等离子刻蚀机主要用于微电子、光电子、通讯和微机等领域的器件研发和制造。等 离子刻蚀机运行时在腔体内会产生废气和水汽，其中废气通过现有的排风系统可以排出， 但是由于水汽是气态，且不溶于真空泵的泵油，所以与废气一同排出时，在排风管中冷凝成 液态，形成废水从而不能被及时排出。 现有的等离子刻蚀机排风系统如图1所示，图中各标号分别表示1、等离子刻蚀 机；2、抽气管道；3、真空泵；4、出气管道；5、排风管道。等离子刻蚀机1运行时，真空泵3将 等离子刻蚀机1中的气体抽出，使其满足一定的工艺压力，气体经抽气管道2进入真空泵3 的进气口 ，然后从真空泵3的出气口经出气管道4直接和排风管道5相连，从而将废气排 出，保证了真空泵3泵房的良好工作环境。但是运行时产生的废水有一部分在排风管道5的 缝隙中渗出，使整个泵房的工作环境变差；还有一部分直接回流至真空泵3中，污染泵油， 进而縮短了泵油的使用周期，增加了维修的工作量和维护费用。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供一种等离子刻蚀机排风系统，解决了废水的污染问题， 改善了真空泵泵房的工作环境，节约了维护成本。 为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案 —种等离子刻蚀机排风系统，包括 排水管道，所述排水管道为与出气管道相连的排风管道延伸出来的一部分； 锁水装置，所述锁水装置与所述排水管道相连。 优选的，所述锁水装置为位于所述排水管道一侧的阀门。 优选的，所述锁水装置为位于所述排水管道下端的塞子。 从上述的技术方案可以看出，本实用新型实施例增加了与排风管道和出气管道相 通的排水管道以及与所述排水管道相连的锁水装置，由于所述排水管道方向向下，使得排 风管道中的废水可以因重力作用汇集起来，流入排水管道，然后打开锁水装置，即可将废水 排出。本实用新型实施例提供的排风系统简单易控，解决了废水不能及时排出导致的污染 问题，改善了真空泵泵房的工作环境，减少了维修的工作量和维护费用，节约了维护成本。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有的等离子刻蚀机排风系统结构图； 图2为本实用新型实施例公开的一种等离子刻蚀机排风系统结构图。
具体实施方式
本实用新型实施例公开了一种等离子刻蚀机排风系统，通过增加排水管道和锁水 装置，使得废水可以及时排出，从而解决了废水的污染问题，改善了真空泵泵房的工作环 境，节约了维护成本。 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的 实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。 实施例一，参见图2，图中各标号分别表示1、等离子刻蚀机；2、抽气管道；3、真空 泵；4、出气管道；5、排风管道；6、锁水阀门；7、排水管道。 本实施例公开的等离子刻蚀机排风系统的工作过程为等离子刻蚀机1运行时， 真空泵3将等离子刻蚀机1中的混有水汽的气体抽出，使其满足一定的工艺压力，上述气体 经抽气管道2进入真空泵3的进气口 ，然后从真空泵3的出气口经出气管道4与排风管道5 和排水管道7相连，废气从排风管道5排出，其中的水汽在排风管道5冷凝成液态的废水， 由于所述排水管道7方向向下，使得排风管道5中的废水因自身的重力作用汇集起来，流入 排水管道7，在设备维护的时候打开排水管道7 —侧的锁水阀门6，即可将废水排出系统之 外。 本实施例巧妙的增加了排水管道和锁水阀门，使得废水能够及时排出，避免了废 水中排风管道的缝隙中渗出，保证了真空泵泵房良好的工作环境，同时避免了废水回流而 导致对真空泵泵油的污染，延长了泵油的使用周期，减少了维修的工作量和维护费用，节约 了维护成本，整个装置简单易控。 实施例二，本实施例与实施例一不同之处是将排水管道一侧的锁水阀门更改为位 于排水管道出水口的塞子，当废水汇集到一定量时，将塞子顶出，从而将废水排出，之后再 放回塞子。本实施例总体的工作过程和达到的效果与实施例一相类似，这里不再赘述。 本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他 实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。 本领域技术人员可以理解，不论是采用阀门还是塞子，其目的只是将废水及时排 出，在本领域中，实现该目的的方法还有很多，只要符合本实用新型的基本思想，其使用的 方法均属于本实用新型保护范围。 对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新 型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定 义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因 此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理 和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求一种等离子刻蚀机排风系统，其特征在于，包括排水管道，所述排水管道为与出气管道相连的排风管道延伸出来的一部分；锁水装置，所述锁水装置与所述排水管道相连。
2. 根据权利要求1所述的等离子刻蚀机排风系统，其特征在于，所述锁水装置为位于 所述排水管道一侧的阀门。
3. 根据权利要求1所述的等离子刻蚀机排风系统，其特征在于，所述锁水装置为位于 所述排水管道下端的塞子。
专利摘要本实用新型实施例公开了一种等离子刻蚀机排风系统，包括排水管道，所述排水管道为与出气管道相连的排风管道延伸出来的一部分；锁水装置，所述锁水装置与所述排水管道相连。本实用新型实施例增加了一段与排风管道和出气管道相通的排水管道以及与所述排水管道相连的锁水装置，由于所述排水管道方向向下，使得排风管道中的废水可以因重力作用汇集起来，流入排水管道，然后打开锁水装置，即可将废水排出。本实用新型实施例提供的排风系统简单易控，解决了废水不能及时排出导致的污染问题，改善了真空泵泵房的工作环境，减少了维修的工作量和维护费用，节约了维护成本。
文档编号C23F1/12GK201439542SQ200920166060
公开日2010年4月21日 申请日期2009年7月29日 优先权日2009年7月29日
发明者吴中伟, 缪军喻 申请人:江阴浚鑫科技有限公司