专利名称：纳米Ag颗粒-Pb(Zr<sub>0.52</sub>Ti<sub>0.48</sub>)O<sub>3</sub>渗流型复合陶瓷薄膜及其制备方法
技术领域：
本发明涉及介电薄膜技术领域，特别涉及一种渗流型复合陶瓷薄膜m3(zr，Ti) O3-Agx (PZT-Ag)的制备方法。
背景技术：
近年来介电薄膜材料逐渐成为微电子、材料科学及固体物理学等领域的一个重要 研究热点，电介质薄膜在微电子领域已经得到了广泛的应用。锆钛酸铅是一种典型的钙钛矿结构材料，具有许多优异的性能。锆钛酸铅有高的 自发极化、低的工作温度、电场的可调制以及非易失性等特点，在随机存储器方面有着很好 的应用潜力，引起越来越多的关注。同时，锆钛酸铅还有优异的压电、介电、光电、热释电等 性能，在微型电子器件、光数据传输和热释电红外探测器等领域也有着极大的应用前景。近年来，电子器件对小型化和高性能化的要求越来越高，如何获得更高性能的介 电薄膜材料已成为众多科学工作者为之努力的一个目标。渗流效应被证明是有效地提高材 料介电常数的很有效的手段。对于损耗较低、在微电子器件领域具有很大应用潜力的锆钛 酸铅薄膜来讲，如能在其中引入渗流效应，更进一步地改善性能，提高介电常数，则将更好 地满足器件小型化和高性能化的要求，大大拓展渗流型复合薄膜的应用范围。已经知道，对薄膜材料，要通过控制薄膜中的金属相的粒径达到纳米尺度并使其 含量达到渗流阈值才能获得渗流效应，也即获得高介电常数薄膜材料。基于这种思想，利用 溶胶凝胶法原位形成纳米金属银颗粒的方法，杜丕一等已经在单相的钛酸铅薄膜中实现了 渗流效应，并申请了专利ZL200710068236. 9。在这一专利中，是通过在溶胶体系中弓I入络合 剂柠檬酸与乳酸，将薄膜在水蒸气与氢气混合还原气氛中进行热处理后成功形成复合有纳 米银颗粒的渗流型银-钛酸铅复合薄膜。然而，这种将纳米银颗粒引入到薄膜中的工艺相 对生产成本较高，在实际的生产中氢气存放安全系数低；再则热处理工艺繁琐，生产效率也 相对较低。因此有必要解决体系中银的氧化问题以简化必须通过还原气氛才能制备获得纳 米银的难题。另外，银-锆钛酸铅体系存在Zr、Ag、Pb、Ti等多种元素，显然这是一个非常复杂 的体系，难以直接混溶，特别是Zr、Ag、Pb直接混溶时极易产生沉淀，同时这几种原料也不 能在同一种溶剂中混溶，所以需要解决溶胶的配制问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种H3(Zra52Tia48)O3固溶体复合纳米Ag颗粒的渗流型陶 瓷薄膜及其制备方法。为实现上述目的，本发明所采取的技术方案是该纳米Ag颗粒-Pb(Zra52Tia48) O3渗流型复合陶瓷薄膜以多晶钙钛矿相陶瓷为基质并在该基质中分散有纳米银颗粒，所述 多晶钙钛矿相陶瓷为Pb (Zra52Tia48)O3,所述纳米银与Pb (Zra52Tia48)O3的摩尔比为0. 2 0. 8:1。本发明渗流型复合陶瓷薄膜的制备方法包括如下步骤
(1)在第一乙二醇甲醚溶剂中加入乙酸铅(Pb(CH3COO)2 ·3Η20)，并加热溶解后冷却得到 Pb溶液；
在乙醇溶剂中先加入硝酸锆，并加热溶解后冷却得到ττ溶液； 在第二乙二醇甲醚溶剂中先加入乙酰丙酮和柠檬酸，然后再加入钛酸四正丁酯，其中 Ti :Zr=0. 48:0. 52，搅拌共混得到Ti溶胶，且乙酰丙酮柠檬酸乙酸铅=1 1 1 (摩尔);
在乙二醇溶剂中先加入浓硝酸，然后加入硝酸银，搅拌至溶解得到Ag溶液，所述浓硝 酸与所述乙酸铅的摩尔比为2:1，所述硝酸银与所述乙酸铅的摩尔比为0. 2 0. 8:1 ；
(2)将所述Ag溶液缓慢加入到Ti溶胶中进行混和，并搅拌得到Ag-Ti溶胶；
(3)将1 溶液加入到Ag-Ti溶胶中，搅拌得到Ag-Pb-Ti溶胶；
(4)将^ 溶液加入到Ag-Pb-Ti溶胶中，搅拌得到橙黄色透明、稳定、澄清的Ag-Pb-(Zr， Ti)溶胶先驱体；
(5)利用浸渍提拉法，将步骤(4)最终得到的Ag-Pb-( ，Ti)溶胶先驱体涂覆在ITO/ 玻璃基板上得到湿膜，每涂覆一层后，先将湿膜在红外灯下干燥，然后在马弗炉中550°C 620°C和空气气氛下煅烧10 15分钟；最后，将所得薄膜在550°C 620°C和空气气氛下热 处理2 3小时，获得所述Pb (Zr0.52Ti0.48) O3-Agx复合陶瓷薄膜，其中，x=0. 2 0. 8。与现有技术相比，本发明的有益效果是本发明采用多种溶剂分别溶解各种原料 (乙酸铅溶解在乙二醇甲醚中，硝酸锆溶解在乙醇中，硝酸银溶解在乙二醇中，钛酸四正丁 酯溶解在乙二醇甲醚中)，然后按一定顺序混合的方法成功解决了溶胶先驱体难以制备的 问题；本发明中采用柠檬酸和乙酰丙酮为络合剂，其中柠檬酸能够很好地络合1 - (Zr, Ti)-0网络与Ag+离子，使Ag+在溶胶中能够得到很好的分散，使Ag在薄膜基体中均勻分布， 防止了 Ag离子在热处理过程中快速和大规模团聚而形成大颗粒，很好地控制了其尺寸；另 外，柠檬酸与乙酰丙酮在热分解时消耗相对较多的氧，在煅烧时能够使得微区局部范围内 形成还原环境，阻止Ag被氧化，因此可以在空气气氛中进行热处理而得到单质银颗粒，解 决了需在还原气氛下处理才能制备纳米银复合薄膜的难题，这简化了热处理工艺，降低了 生产成本，提高了生产效率。本发明纳米银复合锆钛酸铅薄膜的制备方法简单可行，成功解决了薄膜所需溶胶 前驱体的制备及在空气气氛下在薄膜中控制形成纳米金属银颗粒的难题。制备得到了渗流 型1 (Zra52Tia48) O3-Agx复合薄膜，而Ag/I^b摩尔比为0. 2 0. 8的薄膜的介电常数均高于 纯Pb(Zra52Tia48)O3薄膜，为纯PZT薄膜材料的2 3倍，且摩尔比为0. 6的薄膜的介电常 数为纯1 (Zr0.52Ti0.48) O3薄膜介电常数的3倍多。此外，本发明也提供了 一种在电介质薄膜 中引入颗粒均勻的纳米金属颗粒的新方法，为提高介电薄膜的介电常数提供了新思路，而 且薄膜的制备工艺简单，便于工业化生产，具有良好的市场前景。
图1是实施例1在550°C下制备的Pb (Zra52Tia48) O3-A^4复合陶瓷薄膜的X射线 衍射图谱；
图2是实施例1在550°C下制备的1 (Zr0.52Ti0.48) O3-Ag0.4复合陶瓷薄膜的紫外-可见光吸收光谱；
图3是实施例1在550°C下制备的In3(Zra52Tia48)O3-A^l4复合陶瓷薄膜的电容(介电 常数)随频率变化图谱；
图4是实施例2在600°C下制备的1 (Zr0.52Ti0.48) O3-Ag0.6复合陶瓷薄膜的X射线衍射 图谱；
图5是实施例2在600°C下制备的1 (Zr0.52Ti0.48) O3-Ag0.6复合陶瓷薄膜的紫外-可见 光吸收光谱；
图6是实施例2在600°C下制备的In3(Zra52Tia48)O3-A^l6复合陶瓷薄膜的电容(介电 常数)随频率变化图谱；
图7是实施例3在620°C下制备的1 (Zr0.52Ti0.48) O3-Ag0.2复合陶瓷薄膜的X射线衍射 图谱；
图8是实施例3在620°C下制备的1 (Zra52Tia48)O3-A^2复合陶瓷薄膜的紫外-可见 光吸收光谱；
图9是实施例3在620°C下制备的In3(Zra52Tia48)O3-A^2复合陶瓷薄膜的电容(介电 常数)随频率变化图谱；
图10是实施例4在600°C下制备的In3(Zra52Tia48)O3-A^l8复合陶瓷薄膜的X射线衍 射图谱；
图11是实施例4在600°C下制备的Pb (Zr0.52Ti0.48) O3-Ag0.8复合陶瓷薄膜的紫外_可 见光吸收光谱；
图12是实施例4在600°C下制备的In3(Zra52Tia48)O3-A^8复合陶瓷薄膜的电容(介电 常数)随频率变化图谱。
具体实施例方式以下实施例中，介电常数可采用平板电容器模型按下式计算
S
υ = ere0 — a
其中C为测试获得的电容值，单位为F，ε 0=8. 853X 10-12F/m,、为相对介电常数，无 量纲，为真空电容率4为上电极面积，J为薄膜的厚度。由于制备的薄膜的厚度基本相同， 而电极的面积也相同，所以电容与相对介电常数是成正比的，电容的变化可以间接表明介 电常数的变化，故介电常数的变化可用电容变化来代替。另夕卜，在1 (Zra52Tia48) O3-Ag体系的紫外可见吸收光谱中，410nm附近的吸收峰是 由纳米银颗粒的表面等离子共振造成的，所以在以下实施例中，薄膜的紫外可见吸收光谱 中在410nm附近存在吸收峰则说明薄膜中分散有纳米银颗粒。实施例1 =Pb(Zra52Tia48)O3-A^l4复合薄膜的制备 具体制备步骤如下
(1)在乙二醇甲醚溶剂I中加入乙酸铅(Pb(CH3COO)2 · 3吐0)，并加热溶解后冷却得到 Pb溶液；
在乙醇溶剂中先加入硝酸锆，并加热溶解后冷却得到ττ溶液；
在乙二醇甲醚溶剂II中先加入乙酰丙酮和柠檬酸，然后再加入钛酸四正丁酯，其中Ti 48:0. 52，搅拌共混得到Ti溶胶，且乙酰丙酮柠檬酸乙酸铅=1:1:1 (摩尔)； 在乙二醇溶剂中先加入浓硝酸，然后加入硝酸银，搅拌至溶解得到Ag溶液，所述浓硝 酸与所述乙酸铅的摩尔比为2:1，所述硝酸银与所述乙酸铅的摩尔比为0.4:1 ；
(2)将所述Ag溶液缓慢加入到Ti溶胶中进行混和，并搅拌得到Ag-Ti溶胶；
(3)将1 溶液加入到Ag-Ti溶胶中，搅拌得到Ag-Pb-Ti溶胶；
(4)将^ 溶液加入到Ag-Pb-Ti溶胶中，搅拌得到橙黄色透明、稳定、澄清、浓度为 0. lmol/L 的 Ag-Pb- (Zr，Ti)溶胶先驱体；
(5)利用浸渍提拉法，将步骤(4)最终得到的Ag-Pb-( ，Ti)溶胶先驱体涂覆在ITO/ 玻璃基板上得到湿膜，每涂覆一层后，先将湿膜在红外灯下干燥，然后在马弗炉中550°C和 空气气氛下煅烧10分钟；三层薄膜全部涂覆完成后，再将所得薄膜在550°C和空气气氛下 热处理2小时，获得H3(Zra52Tia48)O3-A^4复合薄膜。如图1所示，本实施例得到的In3(Zra52Tia48)O3-A^l4复合薄膜的X射线衍射图谱 表现出陶瓷I3MZra52Tia48)O3的钙钛矿相多晶特征衍射峰，说明该陶瓷基体为多晶钙钛矿 相 Pb (Zr0.52Ti0.48) O3。如图2所示，本实施例得到的W3(Zra52Tia48)O3-A^l4复合薄膜在410nm附近存在 吸收峰，这说明1 (Zr0.52Ti0.48) O3基质中分散有纳米银颗粒。由图3所示的电容频谱可知，在整个频率范围内，1 (Zr0.52Ti0.48) O3-Ag0.4复合 薄膜的电容都比纯锆钛酸铅薄膜的高。在低频范围内，纯锆钛酸铅薄膜的电容约为5pF， Pb (Zr0.52Ti0.48) O3-Ag0.4复合薄膜的电容约为1 lpF，为纯锆钛酸铅薄膜的2倍多。实施例2 =Pb (Zr0.52Ti0.48) O3-Ag0.6 复合薄膜的制备
(1)在乙二醇甲醚溶剂I中加入乙酸铅(Pb(CH3COO)2· 3吐0)，并加热溶解后冷却得到 Pb溶液；
在乙醇溶剂中先加入硝酸锆，并加热溶解后冷却得到ττ溶液； 在乙二醇甲醚溶剂II中先加入乙酰丙酮和柠檬酸，然后再加入钛酸四正丁酯，其中Ti 48:0. 52，搅拌共混得到Ti溶胶，且乙酰丙酮柠檬酸乙酸铅=1:1:1 (摩尔)； 在乙二醇溶剂中先加入浓硝酸，然后加入硝酸银，搅拌至溶解得到Ag溶液，所述浓硝 酸与所述乙酸铅的摩尔比为2 1，所述硝酸银与所述乙酸铅的摩尔比为0. 6 1 ；
(2)将所述Ag溶液缓慢加入到Ti溶胶中进行混和，并搅拌得到Ag-Ti溶胶；
(3)将1 溶液加入到Ag-Ti溶胶中，搅拌得到Ag-Pb-Ti溶胶；
(4)将^ 溶液加入到Ag-Pb-Ti溶胶中，搅拌得到橙黄色透明、稳定、澄清、浓度为 0. lmol/L 的 Ag-Pb- (Zr，Ti)溶胶先驱体；
(5)利用浸渍提拉法，将步骤(4)最终得到的Ag-Pb-( ，Ti)溶胶先驱体涂覆在ITO/ 玻璃基板上得到湿膜，每涂覆一层后，先将湿膜在红外灯下干燥，然后在马弗炉中600°C和 空气气氛下煅烧13分钟；四层薄膜全部涂覆完成后，再将所得薄膜在600°C和空气气氛下 热处理3小时，获得In3(Zra52Tia48)O3-A^6复合薄膜。如图4所示，本实施例得到的I3MZra52Tia48)O3-A^16复合薄膜的X射线衍射图谱 表现出陶瓷I3MZra52Tia48)O3的钙钛矿相多晶特征衍射峰，说明该陶瓷基体为多晶钙钛矿 相 Pb (Zr0.52Ti0.48) O3。如图5所示，本实施例得到的W3(Zra52Tia48)O3-A^l6复合薄膜在410nm附近存在吸收峰，这说明1 (Zr0.52Ti0.48) O3基质中分散有纳米银颗粒。由图6所示的电容频谱可知，在整个频率范围内，1 (Zra52Tia48) O3-Ag0.6复合薄 膜的电容都比纯锆钛酸铅薄膜的高。在低频范围内，纯锆钛酸铅薄膜的电容约为30pF， Pb (Zr0.52Ti0.48) O3-Ag0.6复合薄膜的电容约为95pF，为纯锆钛酸铅薄膜的3倍多。实施例3 Pb (Zr0.52Ti0.48) O3-Ag0.2 复合薄膜的制备
(1)在乙二醇甲醚溶剂I中加入乙酸铅(Pb(CH3COO)2· 3吐0)，并加热溶解后冷却得到 Pb溶液；
在乙醇溶剂中先加入硝酸锆，并加热溶解后冷却得到ττ溶液； 在乙二醇甲醚溶剂II中先加入乙酰丙酮和柠檬酸，然后再加入钛酸四正丁酯，其中Ti 48:0. 52，搅拌共混得到Ti溶胶，且乙酰丙酮柠檬酸乙酸铅=1:1:1 (摩尔)； 在乙二醇溶剂中先加入浓硝酸，然后加入硝酸银，搅拌至溶解得到Ag溶液，所述浓硝 酸与所述乙酸铅的摩尔比为2:1，所述硝酸银与所述乙酸铅的摩尔比为0. 2:1 ；
(2)将所述Ag溶液缓慢加入到Ti溶胶中进行混和，并搅拌得到Ag-Ti溶胶；
(3)将1 溶液加入到Ag-Ti溶胶中，搅拌得到Ag-Pb-Ti溶胶；
(4)将^ 溶液加入到Ag-Pb-Ti溶胶中，搅拌得到橙黄色透明、稳定、澄清、浓度为 0. lmol/L 的 Ag-Pb- (Zr，Ti)溶胶先驱体；
(5)利用浸渍提拉法，将步骤(4)最终得到的Ag-Pb-( ，Ti)溶胶先驱体涂覆在ITO/ 玻璃基板上得到湿膜，每涂覆一层后，先将湿膜在红外灯下干燥，然后在马弗炉中620°C和 空气气氛下煅烧15分钟；五层薄膜全部涂覆完成后，再将所得薄膜在620°C和空气气氛下 热处理3小时，获得H3(Zra52Tia48)O3-A^2复合薄膜。如图7所示，本实施例得到的I3MZra52Tia48)O3-A^12复合薄膜的X射线衍射图谱 表现出陶瓷I3MZra52Tia48)O3的钙钛矿相多晶特征衍射峰，说明该陶瓷基体为多晶钙钛矿 相 Pb (Zr0.52Ti0.48) O3。如图8所示，本实施例得到的W3(Zra52Tia48)O3-A^l2复合薄膜在410nm附近存在 吸收峰，这说明1 (Zr0.52Ti0.48) O3基质中分散有纳米银颗粒。由图9所示的电容频谱可知，在整个频率范围内，1 (Zra52Tia48) O3-Ag0.2复合薄 膜的电容都比纯锆钛酸铅薄膜的高。在低频范围内，纯锆钛酸铅薄膜的电容约为30pF， Pb(Zra52Tia48)O3-A^l2复合薄膜的电容约为60pF，为纯锆钛酸铅薄膜的2倍左右。实施例4 Pb (Zr0.52Ti0.48) O3-Ag0.8 复合薄膜的制备
(1)在乙二醇甲醚溶剂I中加入乙酸铅(Pb(CH3COO)2· 3吐0)，并加热溶解后冷却得到 Pb溶液；
在乙醇溶剂中先加入硝酸锆，并加热溶解后冷却得到ττ溶液； 在乙二醇甲醚溶剂II中先加入乙酰丙酮和柠檬酸，然后再加入钛酸四正丁酯，其中Ti 48:0. 52，搅拌共混得到Ti溶胶，且乙酰丙酮柠檬酸乙酸铅=1:1:1 (摩尔)； 在乙二醇溶剂中先加入浓硝酸，然后加入硝酸银，搅拌至溶解得到Ag溶液，所述浓硝 酸与所述乙酸铅的摩尔比为2 1，所述硝酸银与所述乙酸铅的摩尔比为0. 8 1 ；
(2)将所述Ag溶液缓慢加入到Ti溶胶中进行混和，并搅拌得到Ag-Ti溶胶；
(3)将1 溶液加入到Ag-Ti溶胶中，搅拌得到Ag-Pb-Ti溶胶；
(4)将^ 溶液加入到Ag-Pb-Ti溶胶中，搅拌得到橙黄色透明、稳定、澄清、浓度为0. lmol/L 的 Ag-Pb- (Zr，Ti)溶胶先驱体；
(5)利用浸渍提拉法，将步骤(4)最终得到的Ag-Pb- ( ，Ti)溶胶先驱体涂覆在ITO/ 玻璃基板上得到湿膜，每涂覆一层后，先将湿膜在红外灯下干燥，然后在马弗炉中600°C和 空气气氛下煅烧10分钟；五层薄膜全部涂覆完成后，再将所得薄膜在600°C和空气气氛下 热处理2. 5小时，获得Pb (Zr0.52Ti0.48) O3-Ag0.8复合薄膜。如图10所示，本实施例得到的1 (Zr0.52Ti0.48) O3-Ag0.8复合薄膜的X射线衍射图谱 表现出陶瓷I3MZra52Tia48)O3的钙钛矿相多晶特征衍射峰，说明该陶瓷基体为多晶钙钛矿 相 Pb (Zr0.52Ti0.48) O3。如图11所示，本实施例得到的1 (Zra52Tia48) O3-Ag0.8复合薄膜在410nm附近存在 吸收峰，这说明1 (Zr0.52Ti0.48) O3基质中分散有纳米银颗粒。由图12所示的电容频谱可知，在整个频率范围内，H3(Zra52Tia48)O3-A^8复合 薄膜的电容都比纯锆钛酸铅薄膜的高。在低频范围内，纯锆钛酸铅薄膜的电容约为30pF， Pb(Zra52Tia48)O3-A^l8复合薄膜的电容约为85pF，为纯锆钛酸铅薄膜的3倍左右。
权利要求
1.一种纳米Ag颗粒-H3(Zra52Tia48)O3渗流型复合陶瓷薄膜，其特征是该复合陶瓷 薄膜以多晶钙钛矿相陶瓷为基质并在该基质中分散有纳米银颗粒，所述多晶钙钛矿相陶瓷 为 Pb (Zr0.52Ti0.48) O3,所述纳米银与 Pb (Zr0.52Ti0.48) O3 的摩尔比为 0. 2 0. 8 1。
2.—种权利要求1的渗流型复合陶瓷薄膜的制备方法，其特征是，包括如下步骤(1)在第一乙二醇甲醚溶剂中加入乙酸铅(Pb(CH3COO)2 ·3Η20)，并加热溶解后冷却得到 Pb溶液；在乙醇溶剂中先加入硝酸锆，并加热溶解后冷却得到ττ溶液；在第二乙二醇甲醚溶剂中先加入乙酰丙酮和柠檬酸，然后再加入钛酸四正丁酯，其中 Ti :Zr=0. 48:0. 52，搅拌共混得到Ti溶胶，且乙酰丙酮柠檬酸乙酸铅=1 1 1 (摩尔);在乙二醇溶剂中先加入浓硝酸，然后加入硝酸银，搅拌至溶解得到Ag溶液，所述浓硝 酸与所述乙酸铅的摩尔比为2:1，所述硝酸银与所述乙酸铅的摩尔比为0. 2 0. 8:1 ；(2)将所述Ag溶液缓慢加入到Ti溶胶中进行混和，并搅拌得到Ag-Ti溶胶；(3)将1 溶液加入到Ag-Ti溶胶中，搅拌得到Ag-Pb-Ti溶胶；(4)将^ 溶液加入到Ag-Pb-Ti溶胶中，搅拌得到橙黄色透明、稳定、澄清的Ag-Pb-(Zr， Ti)溶胶先驱体；(5)利用浸渍提拉法，将步骤(4)最终得到的Ag-Pb-( ，Ti)溶胶先驱体涂覆在ITO/ 玻璃基板上得到湿膜，每涂覆一层后，先将湿膜在红外灯下干燥，然后在马弗炉中550°C 620°C和空气气氛下煅烧10 15分钟；最后，将所得薄膜在550°C 620°C和空气气氛下热 处理2 3小时，获得所述Pb (Zr0.52Ti0.48) O3-Agx复合陶瓷薄膜，其中，x=0. 2 0. 8。
全文摘要
本发明公开一种纳米Ag颗粒-Pb(Zr0.52Ti0.48)O3渗流型复合陶瓷薄膜及其制备方法。该复合陶瓷薄膜以多晶钙钛矿相陶瓷为基质并在该基质中分散有纳米银颗粒，多晶钙钛矿相陶瓷为Pb(Zr0.52Ti0.48)O3，纳米银与Pb(Zr0.52Ti0.48)O3的摩尔比为0.2～0.8:1。本发明首先制备这种复合薄膜所需的含有Ag-Pb-Zr-Ti源的溶胶先驱体，再运用浸渍提拉法在ITO/玻璃基板上涂覆并在空气气氛下烧结制备薄膜。溶胶先驱体中的Ti源、Zr源、Pb源、Ag源分别为钛酸四正丁酯、硝酸锆、三水合乙酸铅、硝酸银，络合剂为乙酰丙酮与柠檬酸，溶剂为乙二醇甲醚、乙二醇和乙醇。本发明解决了在空气气氛下热处理制备小尺度纳米银颗粒并保证其在Pb(Zr0.52Ti0.48)O3-Agx薄膜中的分散性的难题，而且薄膜制备温度较低；实现了渗流效应，薄膜的介电常数较纯锆钛酸铅薄膜高出2~3倍。
文档编号C23C20/08GK102060529SQ201110024309
公开日2011年5月18日 申请日期2011年1月22日 优先权日2011年1月22日
发明者宋晨路, 张溪文, 徐刚, 杜丕一, 沈鸽, 王宗荣, 程逵, 翁文剑, 胡涛, 赵高凌, 韩高荣, 马宁 申请人:浙江大学