技术总结
本发明公开的为用于化学机械抛光系统的载具头。用于化学机械抛光系统的载具头包括：基座。具有外表面倚靠所述外表面基板可被安装的基板接收构件连接于基座的下侧部分。在基板接收构件内侧，至少两个气囊与基座的下侧部分连接。所述至少两个气囊可通过膨胀和接触内表面独立的施加压力于基板接收构件的内表面的预定区域。至少一个墙壁结构连接于基座的下侧部分，其中所述至少一个墙壁结构可限制所述至少两个气囊的横向膨胀。
技术研发人员：姜準模
受保护的技术使用者：姜準模
文档号码：201310095981
技术研发日：2013.03.25
技术公布日：2016.12.28