一种金属网笼镀膜装夹装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种金属网笼镀膜装夹装置。属于真空镀膜设备【技术领域】，该装置由多个网笼或多组网笼并排组成一个成圆周分布的行星筒状装夹具，每个网笼形状为圆形筒状或多棱形筒状；每个网笼通过两端的支撑轴安装在水平转动的行星式转架机构或带有二次自转机构的水平转动的行星式转架机构上；每个网笼实现一次水平公转，一次水平自转或二次水平公转，二次水平自转；所述网笼的尺寸和形状与待镀膜工件的形状和尺寸相匹配，以保证工件在网笼中在重力的作用下自由翻滚，网笼的长度由镀膜机的镀膜区均匀段长度相匹配。本装置具有装卸工件方便操作，工件镀膜过程无损伤的特点，可用于大批量，中小尺寸工件的镀膜。
【专利说明】-种金属网笼镀膜装夹装置
【技术领域】
[0001] 本实用新型属于真空镀膜设备【技术领域】，特别涉及用于真空镀膜的一种金属网笼 镀膜装夹装置。
【背景技术】
[0002] 对于大批量小尺寸工件，在进行传统电镀时一般采用网笼滚镀方式。即避免单个 工件的装卡，费时费力；又避免了工件上有漏镀的接触点，该方法应用广泛和成熟。对于真 空镀膜也可采用相似的网笼滚镀方式。
[0003] 但是，当被镀工件的尺寸相对较大，比如工件尺寸达到15mm以上，大量工件在网 笼中移动和滚动，在重力的作用下高处的工件会滚落，和下面的工件频繁发生碰撞，会损伤 工件脆弱的棱角和刃部，另外，不同尺寸的工件均用相同尺寸的网笼，较大尺寸的工件在大 尺寸的网笼中更容易产生工件的磕碰损伤问题。 实用新型内容
[0004] 本实用新型的目的是为了解决中小尺寸工件做到全面无损伤镀膜的问题，设计的 一种金属网笼镀膜装夹装置，具有装卸工件方便操作，工件镀膜过程无损伤的特点，可用于 大批量，多种中小尺寸工件的镀膜。
[0005] 本实用新型提出的一种金属网笼镀膜装夹装置，其特征是：该装置由多个网笼并 排组成一个成圆周分布的行星筒状装夹具，每个网笼为两端带有支撑轴的细长型筒，每个 网笼形状为圆形筒状或多棱形筒状；所述网笼的尺寸和形状与待镀膜工件的形状和尺寸相 匹配，以保证工件在网笼中在重力的作用下自由翻滚，网笼的长度由镀膜机的镀膜区均匀 段长度相匹配；每个网笼通过两端的支撑轴安装在水平转动的行星式转架机构上；每个网 笼实现一次水平公转，一次水平自转。
[0006] 本实用新型提出的另一种金属网笼镀膜装夹装置，其特征是：该装置由多组网笼 组成一个成圆周分布的行星筒状装夹具，每组网笼由多个网笼排列组成一个圆周分布的行 星状细长型筒，每个网笼形状为圆形筒状或多棱形筒状；所述网笼的尺寸和形状与待镀膜 工件的形状和尺寸相匹配，以保证工件在网笼中在重力的作用下自由翻滚，网笼的长度由 镀膜机的镀膜区均匀段长度相匹配；每个网笼通过两端的支撑轴安装在带有二次自转系统 的水平转动的行星式转架机构上，实现二次水平公转，二次水平自转。
[0007] 本实用新型的特点及有益效果：
[0008] 本实用新型的技术方案改变传统的单一大网笼结构，由多个或多组网笼组成镀膜 装夹装置；网笼形状可以是圆筒形或多棱形等多种形状；以适应多种尺寸工件的需要。且 每个网笼上都带有开门，可使工件装卸方便，每个网笼开门配置锁止件实现网笼开门的可 靠关闭；每个网笼通过两端的支撑轴安装在水平转动的转架机构上；依据行星式转架的转 动特点，每个网笼可以实现一次水平公转，一次水平自转甚至二次水平公转，二次水平自 转；当网笼转动时，由于网笼直径与工件相匹配，工件在重力垂直方向上自由空间小，不会 发生快速跌落，不会损伤棱角和刃部；为达到工件在镀膜过程中得到更好的保护，在网笼中 间还可以增加多块隔板，将网笼分割为多个独立的小网室；每个小网室内可以只装入一件 或者少量几件待镀膜工件，避免相邻网室工件的相互碰撞，有效控制甚至避免单个小网室 内工件之间的碰撞损伤。
[0009] 在真空镀膜过程中，蒸发物（粒子）透过网笼的网孔镀制到工件表面上，丝网不会 撞伤工件，且上面的大网孔可以使工件表面不被遮挡地镀上需要的膜层。只要经过足够长 的镀膜时间，随着网笼的多次移动和滚动，所有工件的所有表面都会均匀地镀上膜层。
[0010] 本装置在一台镀膜机上可以同时水平平行装载多个细长网笼。从而大大增加了单 炉装载量，提高生产效率。所有网笼都会一次水平公转、一次水平自转或二次水平公转、二 次水平自转，网笼之间互不接触、碰撞。经历相同的镀膜环境和条件。
【专利附图】
【附图说明】
[0011] 图1为本实用新型第一种金属网笼镀膜装夹装置实施例的立体示意图。
[0012] 图2为本实用新型第一种实施例的一个网笼的结构示意图。
[0013] 图3为图2中的支撑轴及中心连接轴的结构示意图。
[0014] 图4为本实用新型第二种金属网笼镀膜装夹装置的实施例结构示意图。
[0015] 图5为本实用新型第二种金属网笼镀膜装夹装置实施例的一组网笼的立体示意 图。
[0016] 图6为本实用新型第二种金属网笼镀膜装夹装置实施例的一个小网笼的结构图。【具体实施方式】
[0017] 本实用新型提出的一种新型的金属网笼镀膜装夹系统，结合附图及实施例进一步 说明如下：
[0018] 本实用新型提出的第一种用于真空离子镀膜机的新型金属网笼镀膜装夹装置实 施例如图1-3所示，该实施例装置由10个网笼1并排组成一个成圆周分布的行星筒状装夹 具，夹具的最大直径处约为586mm，长度约为807mm(与镀膜机的镀膜内腔尺寸相当）。每个 网笼为两端带有支撑轴11的细长型筒，每个网笼形状为圆形筒状；每个网笼通过两端的支 撑轴安装在水平转动的行星式转架机构（图中未示出，该机构不属于本实用新型的组成结 构）上；每个网笼实现一次水平公转，一次水平自转，如图1所示。
[0019] 本实施例的每个网笼具体结构如图2所示，每个网笼的直径为130mm，长度约为 807mm，每个网笼由两端的支撑轴11，网笼骨架12,多块网笼隔板13,丝网笼体14,网笼门 15,锁止件16和中心连接轴17组成，支撑轴11设置在网笼骨架两端，多块网笼隔板13周 边缘径向间隔地固定在网笼骨架12内，丝网笼体14包裹在网笼骨架外周，丝网笼体两条边 与网笼骨架扣合，网笼门15-条边与网笼骨架扣合作为门轴，另一边可打开，扣合，并通过 锁止件16与丝网笼体锁紧，使镀膜工件装卸方便。其中：
[0020] 网笼骨架12用直径约为3mm的不锈钢丝制成约130mmX670mm的筒状框架。
[0021] 网笼隔板13为厚度约为2mm，直径约为124mm的不锈钢圆环，圆环周边设置有豁 口，该豁口插入网笼骨架并与之焊接固定。
[0022] 丝网笼体14采用丝径约为1mm，网格大小约为10mmX10mm的不锈钢丝网卷，长度 与网笼骨架12相同，卷绕固定在网笼骨架12上，并留有安装网笼门的位置。
[0023] 网笼门15可采用与丝网笼体14相同的材料制成，长度与网笼骨架12相同，宽度 与放置待镀膜的工件尺寸相当。网笼门15-条边与网笼骨架扣合作为门轴，另一边可打 开，扣合，并通过锁止件16与丝网笼体锁紧，使镀膜工件装卸方便。
[0024] 锁止件16采用多段直径1mm左右的铜丝，可间隔地绕过不锈钢丝网卷两条丝网边 锁住，使不锈钢丝网卷固定在网笼骨架外周不会松开。
[0025] 支撑轴11的结构如图3所示，由不锈钢圆板111和固定在圆板外表面中心位置的 不锈钢支撑杆112组成，其中的一端在支撑杆112上开有5mm孔并装有横销113用来与转 架机构的传动轴连接。
[0026] 中心连接轴17为直径25mm壁厚2mm长度670mm的不锈钢圆管与两端的支撑轴中 心位置焊接以加强网笼骨架的刚度。
[0027] 本实施例用于较大尺寸（30x50x4mm)的矩形片状工件的镀膜。
[0028] 与本实施例相连的转架机构为带一次公自转的卧式行星转架机构，其结构特征不 是本实用新型的内容，在此不做陈述。
[0029] 本实用新型的第二种金属网笼镀膜装夹装置实施例，如图4-6所示，该装置由10 组网笼组成一个成圆周分布的行星筒状装夹具2,夹具的最大直径处约为586_，长度约为 721mm(与镀膜机的镀膜内腔尺寸相当），每组网笼5的最大直径处约为130mm，长度约为 721mm，每组网笼5上的每个网笼50通过两端的支撑轴51安装在带有二次自转系统的水平 转动的行星式转架机构上，（图中未示出，该机构不属于本实用新型的组成结构）；每组网 笼实现一次水平公转，一次水平自转，每个小网笼实现二次水平公转，二次水平自转。
[0030] 本实施例每组网笼结构，如图5所示，每个网笼组由5个小网笼构成一个小行星状 圆筒，共50个小网笼。每个小网笼为类三棱形筒50,每个类三棱形筒最大直径处尺寸约为 42_，长度约为721_。本实施例的每个网笼的具体结构与实施例一基本相同，由两端的支 撑轴51，网笼骨架52,多块网笼隔板53,丝网笼体54,网笼门55和锁止件56组成，不同之 处只是直径不同，两端的连接件尺寸不同且没有中心支撑轴。
[0031] 本实施例用于中等尺寸（28x30x2mm)的矩形片状工件的镀膜。
[0032] 根据本实用新型的基本结构，网笼的尺寸和形状均可根据加工的工件进行确定， 以保证工件在网笼中在重力的作用下自由翻滚，网笼的长度由镀膜机的镀膜区均匀段长度 确定。
[0033] 本实用新型说明书中未做详细论述的内容属本领域技术人员的公知技术。
【权利要求】
1. 一种金属网笼镀膜装夹装置，其特征是：该装置由多个网笼并排组成一个成圆周分 布的行星筒状装夹具，每个网笼为两端带有支撑轴的细长型筒，每个网笼形状为圆形筒状 或多棱形筒状；所述网笼的尺寸和形状与待镀膜工件的形状和尺寸相匹配，网笼的长度由 镀膜机的镀膜区均匀段长度相匹配；每个网笼通过两端的支撑轴安装在水平转动的行星式 转架机构上。
2. 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述网笼由两端的支撑轴，连接轴、网笼 骨架，丝网笼体，网笼门和锁止件组成，支撑轴设置在网笼骨架两端，连接轴设置在网笼骨 架中心，连接轴的两端与网笼骨架两端的支撑轴相连；丝网笼体包裹在网笼骨架外周，丝 网笼体两条边与网笼骨架扣合，网笼门一条边与网笼骨架扣合作为门轴，另一边可打开，扣 合，并通过锁止件与丝网笼体锁紧。
3. -种金属网笼镀膜装夹装置，其特征是：该装置由多组网笼组成一个成圆周分布的 行星筒状装夹具，每组网笼由多个网笼排列组成一个圆周分布的行星状细长型筒，每个网 笼形状为圆形筒状或多棱形筒状；所述网笼的尺寸和形状与待镀膜工件的形状和尺寸相匹 配，网笼的长度由镀膜机的镀膜区均匀段长度相匹配；每个网笼通过两端的支撑轴安装在 带有二次自转系统的水平转动的行星式转架机构上。
4. 根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述网笼由两端的支撑轴，网笼骨架，丝 网笼体，网笼门和锁止件组成，支撑轴设置在网笼骨架两端，丝网笼体包裹在网笼骨架外 周，丝网笼体两条边与网笼骨架扣合，网笼门一条边与网笼骨架扣合作为门轴，另一边可打 开，扣合，并通过锁止件与丝网笼体锁紧。
5. 根据权利要求2或4所述的装置，其特征在于，该装置还包括多块网笼隔板，多块网 笼隔板径向间隔地排列在网笼骨架内，每块网笼隔板周边与网笼骨架固定。
【文档编号】C23C14/50GK204022933SQ201420413107
【公开日】2014年12月17日 申请日期:2014年7月24日 优先权日:2014年7月24日
【发明者】罗蓉平, 董骐, 孙广泰, 权新福 申请人:北京丹鹏表面技术研究中心