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沉积源的制作方法
文档序号:11126674
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来源:国知局
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金属材料;冶金;铸造;磨削;抛光设备的制造及处理,应用技术
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沉积源的制造方法与工艺
技术总结
本发明提供沉积源。作为示例,沉积源包括:收纳沉积物质的坩埚;布置在所述坩埚的外侧并且以所述坩埚为中心彼此相隔开的第一加热器和第二加热器;以及在所述坩埚的下方以连续的形态布置于所述第一加热器与所述第二加热器之间并且与所述第一加热器和所述第二加热器结合的第一防止变形部件。
技术研发人员:
薛在完;姜有珍;金东昱;尹日燮;车龙俊
受保护的技术使用者:
三星显示有限公司
文档号码:
201610080804
技术研发日:
2016.02.05
技术公布日:
2017.02.15
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