一种蒸镀复合金属膜层用的子母坩埚装置的制作方法

本发明涉及一种蒸发制备金属膜层装置，尤其是一种蒸镀复合金属膜层用的子母坩埚装置。

背景技术：

在材料表面处理应用领域，蒸发镀膜制备金属膜层是常采用的方法，通常的蒸发镀膜是一个坩埚内放一种蒸发材料，由一把电子枪控制蒸发，要想获得不同金属+合金材料+不同金属等的多层复合涂层，需要多个坩埚，多把电子枪。由于每个坩埚都存在一定的有效蒸镀范围，多个坩埚的蒸镀范围不同，会造成膜层的不均匀性。

为此，需要开发一种新型的坩埚电子枪蒸发制备金属膜层的设备。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种制备高效、膜层均匀和人成本低的蒸发制备金属膜层的设备。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种蒸镀复合金属膜层用的子母坩埚装置，包括基座，其特征是：在基座上设有母坩埚和若干个子坩埚模块；所述基座上预留有母坩埚安装槽，所述母坩埚安装在所述母坩埚安装槽中；所述的若干个子坩埚模块是围绕母坩埚的外轮廓均布在基座上的；每个所述的子坩埚模块包括子坩埚底座、子坩埚、电子枪和驱动缸；所述子坩埚底座铰接在所述基座的表面；所述子坩埚和电子枪均固定在所述子坩埚底座表面，所述驱动缸的推杆连接在所述子坩埚的底部；所述子坩埚可相对基座在母坩埚的外周上方翻转；每个所述的子坩埚与母坩埚之间均设有倾斜于基座的表面设置的引流槽；所述引流槽的一端倾斜地延伸至母坩埚上方，另一端朝向子坩埚；所述子坩埚可相对基座翻转至引流槽的上方。

本发明的工作原理如下：

将所需金属放置于子埚内，通过控制各个电子枪预热及开关。然后通过控制驱动装置，从而控制送料，让金属从子坩埚中流出，通过引流槽，流向主坩埚，从而在主坩埚内形成合金溶液。通过配合周围的子坩埚的不同单质金属，最终可获得多种组合的、膜层均匀性的不同种类合金复合涂层。

为了保证安装设备时能准确定位，优选的是，所述基座还设置有供驱动缸的推杆通过的避空位。

为了确保坩埚内的金属液能顺利导入引流槽，优选的是，所述引流槽与所述基座形成倾斜度为10°～25°。

为了保证工作过程中的安全性、运输方便且与达到设计效果，优选的是，所述基座外轮廓为扇形；坩埚外轮廓为圆盘状。

附图说明

图1是实施例1中一种蒸镀复合金属膜层用的子母坩埚装置的侧视结构示意图；

图2是实施例1中一种蒸镀复合金属膜层用的子母坩埚装置的立体结构示意图。

附图标记说明：1-基座；2-母坩埚；3-子坩埚模块；4-母坩埚安装槽；5-子坩埚底座；6-子坩埚；7-电子枪；8-驱动气缸；9-避空位；10-引流槽。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明。

如图1-2所示，一种蒸镀复合金属膜层用的子母坩埚装置，包括基座1，其特征是：在基座1上设有1个母坩埚2和4个子坩埚模块3；基座1上预留有母坩埚安装槽4，母坩埚2安装在母坩埚安装槽4中；4个子坩埚模块3是围绕母坩埚的外轮廓均布在基座上的。

每个子坩埚模块3包括子坩埚底座5、子坩埚6、电子枪7和驱动缸8；子坩埚底座5铰接在基座1的表面；子坩埚6和电子枪7均固定在子坩埚6底座表面，驱动缸8的推杆连接在子坩埚6的底部；子坩埚6可相对基座1在母坩埚2的外周上方翻转；每个子坩埚6与母坩埚2之间均设有倾斜于基座1的表面设置的引流槽10；引流槽10的一端倾斜地延伸至母坩埚2上方，另一端朝向子坩埚6；子坩埚6可相对基座2翻转至引流槽10的上方

如图2所示，基座1外轮廓为扇形，母坩埚2和子坩埚6外轮廓均为圆盘状；基座1还设置有供驱动缸8的推杆通过的避空位9；引流槽10与基座1形成倾斜度为15°。

将所需金属放置于各子坩埚6内，通过控制各个电子枪7预热及开关。然后通过控制驱动缸8，从而控制送料，让金属从子坩埚6中流出，通过引流槽7，流向母坩埚2，从而在主坩埚2内形成合金溶液。通过配合周围的子坩埚6的不同单质金属，最终可获得多种组合的、膜层均匀性的不同种类合金复合涂层。

虽然本发明是通过具体实施例进行说明的，本领域技术人员应当明白，在不脱离本发明范围的情况下，还可以对本发明进行各种变换及等同替代。另外，针对特定情形或应用，可以对本发明做各种修改，而不脱离本发明的范围。因此，本发明不局限于所公开的具体实施例，而应当包括落入本发明权利要求范围内的全部实施方式。

技术特征：

技术总结
本发明开发了一种蒸镀复合金属膜层用的子母坩埚装置，包括基座，其特征是：在基座上设有母坩埚和若干个子坩埚模块；所述基座上预留有母坩埚安装槽，所述母坩埚安装在所述母坩埚安装槽中；所述的若干个子坩埚模块是围绕母坩埚的外轮廓均布在基座上的；每个所述的子坩埚模块包括子坩埚底座、子坩埚、电子枪和驱动缸；所述子坩埚底座铰接在所述基座的表面；所述子坩埚和电子枪均固定在所述子坩埚底座表面，所述驱动缸的推杆连接在所述子坩埚的底部；所述子坩埚可相对基座在母坩埚的外周上方翻转；每个所述的子坩埚与母坩埚之间均设有倾斜于基座的表面设置的引流槽。该发明具有制备高效、膜层均匀和人成本低等优点。

技术研发人员：应世强;尹忠乐;李术杰
受保护的技术使用者：佛山市南海区晶鼎泰机械设备有限公司
技术研发日：2017.08.15
技术公布日：2017.10.20