一种真空镀膜生产线用密合机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空镀膜生产线技术领域，具体来说，是涉及一种真空镀膜生产线用密合机构。
【背景技术】
[0002]真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术，其大致流程是在真空室内将材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，从而在被镀物体表面上产生一层薄膜。真空镀膜腔室的密封门比较重，普通的门铰链很难承受翻板箱门扇的自重，长期使用后，门扇的铰链容易损坏。真空室的密封门比较特殊，门缝上设有胶圈，在初关合时，门和箱体间存在间隙，存在闭合不严实的现象。当腔室开始抽真空后，门会被吸上去，胶圈完全压缩，达到密封目的，但传的门铰链仅是单轴设计，即使在胶圈完全压缩的情况下，在门框和门体的衔接处仍会出现细微缝隙，导致门体密封不完全。中国专利CN202031416U公开了一种单晶炉翻板箱的密封门铰链，该技术方案公开的门铰链主要解决了传统铰链承载强度不高、易损坏的问题。但是该技术仍然无法解决门体无缝密合的问题。中国专利申请CN202899859U公开了一种矿用救生舱舱门铰链结构。该技术方案虽在一定程度上改变了门体的密封效果，但该铰链承载强度不高，仍存在易损坏的问题。因此，现有真空镀膜生产线的密封门体密封不紧、且门铰链易损坏的问题仍没有得到解决，如何解决这个技术难题，是技术人员亟待考虑的问题。
【发明内容】
[0003]针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供一种能实现真空镀膜生产线各腔室门体密封更紧的门密合机构，以实现密封性能更佳，且结构稳定抗压能力强。
[0004]为实现上述发明目的，本发明采用的技术方案如下:
[0005]一种真空镀膜生产线用密合机构，该密合机构包括铰链件和紧锁件，铰链件连接真空镀膜生产线中各功能腔室的室门与门框，室门经铰链件开合，紧锁件安装在门框上。
[0006]更优选地，铰链件包括第一铰链件、第二铰链件和辅助铰链件，其中第一铰链件与室门连接，第二铰链件与门框连接，辅助铰链件分别连接第一铰链件和第二铰链件；第一铰链件包括第一铰链座和第一铰链轴，第二铰链件包括第二铰链座和第二铰链轴，第一铰链座和辅助铰链件同第一铰链轴转动，第二铰链座和辅助铰链件同第二铰链轴转动，且第二铰链座与辅助铰链座间设有轴承，优选为平面轴承。
[0007]更优选地，为了使得铰链件结构更为紧凑合理，第一铰链座依辅助铰链件形状去除材料成第一凹槽，辅助铰链件嵌入第一凹槽内与第一铰链座同轴转动；相应地，第二铰链座依辅助铰链件形状去除材料成第二凹槽，辅助铰链件嵌入第二凹槽内与第二铰链座同轴转动；第一凹槽与第二凹槽开口方向相反。
[0008]更优选地，第一铰链座与第二铰链座等高等长，第一铰链座与第二铰链座不等宽，换言之，第二铰链座厚于第一铰链座；此宽度差可实现在真空镀膜生产线腔室内成真空状态时，避免外界大气压将室门设有铰链件的一侧无法密闭均匀，使得整个室门的关合过程受力更为平均，室门密封性能好。
[0009]更优选地，第一凹槽设置在第一铰链座的中段，同样地，第二凹槽设置在第二铰链座的中段。
[0010]更优选地，为了，使得整个室门的关合过程受力更为平均，第一铰链座与辅助铰链件间通过一螺栓固定，且该螺栓与室门连接，通过该螺栓调整辅助铰链件，使辅助铰链件在转动过程中不左右摆动，且在转动过程中，限制室门随着辅助铰链件与第一铰链座的间隙摆动，而是使室门随着辅助铰链件转动，该螺栓优选为沉头螺栓。
[0011]优选地，紧锁件包括固定座、固定元件和压紧螺钉，固定座通过螺栓固定在镀膜生产线各功能腔室的门框上，固定元件通过压紧螺钉活动安装在固定座上。
[0012]更优选地，压紧螺钉与固定元件之间活动连接，固定元件经压紧螺钉安装在门框上时可旋转。
[0013]与现有技术相比，本发明中密合机构采用双轴承设计能保证门铰链的灵活转动，使门铰链不易损坏；在配合门紧锁装置一并使用时，双轴的设计能推动门体和门框整体像腔室内部平移，使得门体与门框之间不会产生大范围的间隙，从而门体能更为紧密的与门框贴合，真空腔室的密封效果也更佳。因此，本发明具有广阔的市场前景。
【附图说明】
[0014]图1为本发明提供的一种真空镀膜生产线用密合机构用于真空镀膜生产线腔室的不意图；
[0015]图2为本发明提供的一种真空镀膜生产线用密合机构中铰链件的一种优选实施方式立体图；
[0016]图3为本发明提供的一种真空镀膜生产线用密合机构中铰链件的一种优选实施方式透视图；
[0017]图4为本发明提供的一种真空镀膜生产线用密合机构中紧锁件的一种优选实施方式结构图。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图及【具体实施方式】对本发明作进一步详细、完整地说明。
[0019]图1至图4，为本发明提供的一种真空镀膜生产线用门密合机构的示意图。真空镀膜生产线包括基片传送流水线和镀膜流水线，镀膜流水线进一步包括至少7个腔室，该门密合机构用于将各腔室的室门紧固安装在各腔室上，保持各腔室的密封性。如图1至图4所示，该门密合机构包括一铰链件10和紧锁件20，铰链件10连接真空镀膜生产线中各功能腔室的室门与门框，室门经铰链件10开合，紧锁件20安装在门框上。
[0020]图2为本发明提供的一种真空镀膜生产线用密合机构中铰链件的一种优选实施方式立体图；图3为本发明提供的一种真空镀膜生产线用密合机构中铰链件的一种优选实施方式透视图。如图2和图3所示，铰链件10包括第一铰链件11、第二铰链件12和辅助铰链件13，其中第一铰链件11与室门连接，第二铰链件12与门框连接，辅助铰链件13分别连接第一铰链件11和第二铰链件12 ;第一铰链件11进一步包括第一铰链座111和第一铰链轴112，第二铰链件12包括第二铰链座121和第二铰链轴122，第一铰链座111和辅助铰链件13同第一铰链轴112转动，第二铰链座121和辅助铰链件13同第二铰链轴122转动，且第二铰链座122与辅助铰链件13间设有轴承14，优选为平面轴承。
[0021]为了使得铰链件10结构更为紧凑合理，第一铰链座111依辅助铰链件13形状去除材料成第一凹槽111，辅助铰链件13嵌入第一凹槽11