1内与第一铰链座111同第一铰链轴112转动；相应地，第二铰链座121依辅助铰链件13形状去除材料成第二凹槽1211，辅助铰链件13嵌入第二凹槽1211内与第二铰链座121同第二铰链轴122转动；值得注意的是，第一凹槽1111与第二凹槽1211开口方向相反，二者的宽度与辅助铰链件13的宽度一致。
[0022]更优选地，第一铰链座111与第二铰链座121等高等长，第一铰链座111与第二铰链座121不等宽，换言之，第二铰链座121厚于第一铰链座111，；此宽度差可实现在真空镀膜生产线腔室内成真空状态时，避免外界大气压将室门设有铰链件10的一侧无法密闭均匀，使得整个室门的关合过程受力更为平均，室门密封性能好。
[0023]第一凹槽1111设置在第一铰链座111的中段，同样地，第二凹槽1211设置在第二铰链座121的中段。
[0024]为了使得整个室门的关合过程受力更为平均，第一铰链座111与辅助铰链件13间通过一螺栓固定，且该螺栓与室门连接，通过该螺栓调整辅助铰链件13，使辅助铰链件13在转动过程中不左右摆动，且在转动过程中，限制室门随着辅助铰链件13与第一铰链座111的间隙摆动，而是使室门随着辅助铰链件13转动，该螺栓优选为沉头螺栓。
[0025]图4为本发明提供的一种真空镀膜生产线用密合机构中紧锁件的一种优选实施方式结构图。如图4所示，紧锁件20包括固定座21、固定元件22和一压紧螺钉23，固定座21通过螺栓固定在镀膜生产线各功能腔室的门框上，固定元件22通过压紧螺钉23活动安装在固定座21上。压紧螺钉23与固定元件22之间活动连接，固定元件22经压紧螺钉23安装在门框上时可旋转。当室门闭合时，旋转固定元件22，使固定元件22压于室门上，再经压紧螺钉23进一步压紧固定元件22，实现室门更加紧贴门框。
[0026]固定元件22可采用现有技术中的各种锁片或锁链结构，作为一种优选方案，固定元件22为一去除材料的凸轮状，固定元件22通过一螺钉旋转，当固定元件22去除材料侧与门框重合时，室门可打开；当固定元件22未去除材料侧紧贴室门时，室门锁紧。
[0027]镀膜生产线各功能腔室需要密封时，将室门关闭，第一铰链件11与室门连接，第二铰链件12与门框连接，辅助铰链件13分别连接第一铰链件11和第二铰链件12，这样第一铰链件11随着室门运动，辅助铰链件13与第二铰链件12的第二铰链轴122连接，这样室门连同辅助铰链件13以第二铰链轴122为中心旋转，直至室门关合；当室门关合后，室门远离密合机构的一侧紧贴门框，而紧贴密合机构的一侧还留有间隙，推动室门向靠近门框的一侧运动，由于辅助铰链件13与第一铰链件11的第一铰链轴112连接，在推动室门向靠近门框的一侧运动过程中，室门以第一铰链件11的第一铰链轴112为中心旋转，直至室门贴合门框。当室门贴合门框后，旋转紧锁件20中的固定元件22，使固定元件22未去除材料侧紧贴室门，使室门锁紧。
[0028]最后有必要在此说明的是:以上实施例只用于对本发明的技术方案作进一步详细地说明，不能理解为对本发明保护范围的限制，本领域的技术人员根据本发明的上述内容作出的一些非本质的改进和调整均属于本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种真空镀膜生产线用密合机构，其特征在于:所述密合机构包括铰链件和紧锁件，所述铰链件连接真空镀膜生产线中各功能腔室的室门与门框，所述室门经铰链件开合，所述紧锁件安装在门框上。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线用密合机构，其特征在于:所述铰链件包括第一铰链件、第二铰链件和辅助铰链件，其中所述第一铰链件与室门连接，所述第二铰链件与门框连接，所述辅助铰链件分别连接第一铰链件和第二铰链件；所述第一铰链件包括第一铰链座和第一铰链轴，所述第二铰链件包括第二铰链座和第二铰链轴，所述第一铰链座和辅助铰链件同第一铰链轴转动，所述第二铰链座和辅助铰链件同第二铰链轴转动，且第二铰链座与辅助铰链座间设有轴承。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜生产线用密合机构，其特征在于:所述轴承为平面轴承。
4.根据权利要求2所述的真空镀膜生产线用密合机构，其特征在于:所述第一铰链座依辅助铰链件形状去除材料成第一凹槽，所述辅助铰链件嵌入第一凹槽内与第一铰链座同轴转动；相应地，所述第二铰链座依辅助铰链件形状去除材料成第二凹槽，所述辅助铰链件嵌入第二凹槽内与第二铰链座同轴转动；所述第一凹槽与第二凹槽开口方向相反。
5.根据权利要求2所述的真空镀膜生产线用密合机构，其特征在于:所述第一铰链座与第二铰链座等高等长，第二铰链座与第一铰链座不等宽。
6.根据权利要求2所述的真空镀膜生产线用密合机构，其特征在于:所述第二铰链座厚于第一铰链座。
7.根据权利要求4所述的真空镀膜生产线用密合机构，其特征在于:所述第一凹槽设置在第一铰链座的中段。
8.根据权利要求4所述的真空镀膜生产线用密合机构，其特征在于:所述第二凹槽设置在第二铰链座的中段。
9.根据权利要求2所述的真空镀膜生产线用密合机构，其特征在于:所述第一铰链座与所述辅助铰链件间通过一螺栓固定。
10.根据权利要求9所述的真空镀膜生产线用密合机构，其特征在于:所述螺栓优选为沉头螺栓。
【专利摘要】本发明公开了一种真空镀膜生产线用密合机构，包括铰链件和紧锁件，所述铰链件连接真空镀膜生产线中各功能腔室的室门与门框，所述室门经铰链件开合，紧锁件安装在门框上。与现有技术相比，本发明中密合机构采用双轴承设计能保证门铰链的灵活转动，使门铰链不易损坏；在配合门紧锁装置一并使用时，双轴的设计能推动门体和门框整体像腔室内部平移，使得门体与门框之间不会产生大范围的间隙，从而门体能更为紧密的与门框贴合，真空腔室的密封效果也更佳，因此，本发明具有广阔的市场前景。
【IPC分类】E05D3-06, C23C14-56
【公开号】CN104711539
【申请号】CN201310692198
【发明人】黄国兴, 孙桂红, 祝海生, 黄乐, 梁红, 吴永光
【申请人】湘潭宏大真空技术股份有限公司
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2013年12月16日