机构53(第一实施方式)、或如图8所示那样控制旋转台旋转机构12(第二实施方式)、或如图11所示那样控制修整器旋转机构54(第三实施方式)，且也可以适用于第一?第三实施方式中的任一方式。
[0151 ]本实施方式的控制器6从旋转台旋转机构12中的电流检测器123取得修整时供给至旋转台马达122的驱动电流Itt。另外，控制器6具有判定器62。判定器62在修整中实时监控根据驱动电流Itt等切削研磨垫Ila的实际的力Fact。并且，判定器62根据实际的力Fact与目标值Ftrg之差来判定表61的值是否妥当。
[0152]图14是表示判定器62的构成例的框图。判定器62具有:距离计算器621、乘法器622、减法器623、除法器624、减法器625、比较器626、存储器627。
[0153]距离计算器621根据修整器51的位置j计算修整器51距研磨垫Ila中心的距离S。乘法器622将驱动电流Itt与旋转台马达122的扭力常数Km相乘，计算旋转台11的扭力Ttt。减法器623从旋转台11的扭力Ttt减去正常扭力TO，计算修整时旋转台11的扭力Tdrs。除法器624将修整时的旋转台11的扭力Tdrs除以距离S，计算修整器51切削研磨垫I Ia时的实际的力Fact。减法器625从实际的力Fact减去目标值Ftrg计算偏差e。比较器626比较偏差e与预先规定的阈值emax，判定表61的值妥当与否。
[0154]偏差e比阈值emax小时，可通过使用表61的控制器6的控制，使修整器51切削研磨垫11 a的实际的力Fac t接近目标值Ftrg。因此，表61的值判定为妥当。
[0155]另外，偏差e比阈值emax大时，即使通过使用表61的控制器6的控制，仍无法使修整器51切削研磨垫Ila的实际的力Fact接近目标值Ftrg。因此，表61的值判定为不妥当。在此种判定结果时，也可以发出警告等。
[0156]存储器627将修整器51的摆动方向i及位置j、与此时的判定结果相关连而存储。并将存储于存储器627的内容在显示装置(未图示)上显示于曲线图中，使得在哪个摆动方向i及位置j偏差e大于阈值emax—目了然。
[0157]使用者可根据警告或显示于显示装置的内容判断是否应更新表61的值。应该更新时，通过图7的方法等重新设定表61的值。
[0158]如此，第四实施方式中，可通过计算修整器51切削研磨垫Ila的实际的力Fact，来判定表61的值的妥当性，并可判断表61的更新时期。
[0159]另外。第四实施方式中，表示了从供给至旋转台马达122的驱动电流Itt计算修整器51切削研磨垫Ila的实际的力Fact的例，不过，也可以通过其它公知的方法计算实际的力Fact。例如，判定器62也可以根据旋转台11的旋转轴的应变来取得修整时的扭力Tdr，并根据扭力Tdr与修整器51从研磨垫I Ia中心的距离S来计算实际的力Fact。另外，判定器62也可以根据支撑修整器轴杆52的轴承箱、或作用于支撑支轴561的轴承箱的力来计算实际的力Fact0
[0160](第五实施方式)
[0161]以下说明的第五种实施方式采用与第四实施方式不同的方法，判定第二实施方式中的表61a的值是否妥当者。以下，说明与第四实施方式的不同点。
[0162]判定器62按照修整器51的各摆动方向i及位置j来存储图10中之差dl，S卩，假定摩擦系数z恒定而计算的力F0(Ntt0/Ndr)与表61a生成时的力F(NttO，Ndr)之差dl。
[0163]并且，将修整器51的转速作为Ndr，将旋转台11的转速作为初始值NttO而使修整器51动作，根据摆动方向il及位置jl时的旋转扭力Ttt来计算力F(NttO/Ndr)。
[0164]此时，力F(NttO/Ndr)与力F0(Ntt0/Ndr)之差dl’应该与差dl—致。但是，研磨垫Ila及修整器51有消耗等时，差dl’成为与差dl不同的值。
[0165]因此，判定器62根据差dl’判定表61a的值妥当与否。例如，在差dl’与差dl之差大于阈值时，判定器62可判定为表61a的值不妥当。
[0166]如此，即使通过第五实施方式仍可判定表61a的值的妥当性，并可判断表61的更新时期。另外，明了也可以将本实施方式适用于第三实施方式中的表61b。
[0167]如以上说明，本发明中，考虑修整器51的摆动方向来控制按压机构53、旋转台旋转机构12或修整器旋转机构54。因而，无论研磨垫Ila上的位置及摆动方向如何，均可使切削研磨垫I Ia的力F接近目标值Ftrg。结果，可短时间良好地修整研磨垫I Ia，可维持研磨性能，并且研磨装置的生产率提高。
[0168]上述的实施方式是以具有本发明所属的技术领域中的一般知识者可实施本发明为目的而记载的。本领域技术人员当然可实施上述实施方式的各种变形例，本发明的技术性思想也可以适用于其它实施方式。因此，本发明不限定于所记载的实施方式，而应为按照权利要求书所定义的技术性思想的最广范围。
【主权项】
1.一种研磨装置，其特征在于，具备: 旋转台，设有研磨基板的研磨垫； 旋转台旋转机构，使所述旋转台旋转； 修整器，通过切削所述研磨垫来修整所述研磨垫； 按压机构，将所述修整器按压于所述研磨垫； 修整器旋转机构，使所述修整器旋转； 摆动机构，使所述修整器在所述研磨垫上摆动;及 控制器，根据所述修整器的位置及摆动方向，来控制所述按压机构、所述旋转台旋转机构或所述修整器旋转机构。2.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于， 所述控制器控制所述按压机构、所述旋转台旋转机构或所述修整器旋转机构，以使所述修整器切削所述研磨垫的力成为目标值。3.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于， 所述控制器考虑所述修整器按压所述研磨垫的力、与所述修整器切削所述研磨垫的力之比取决于所述修整器的摆动方向，来控制所述按压机构、所述旋转台旋转机构或所述修整器旋转机构。4.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于， 所述控制器控制所述按压机构以调整所述修整器按压所述研磨垫的力，或者控制所述旋转台旋转机构以调整所述旋转台的旋转速度，或者控制所述修整器旋转机构以调整所述修整器的旋转速度。5.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于， 所述摆动机构使所述修整器在所述研磨垫的中心与边缘之间摆动， 所述控制器根据所述修整器的摆动方向是从所述研磨垫的中心朝向边缘的方向还是从所述研磨垫的边缘朝向中心的方向，来控制所述按压机构、所述旋转台旋转机构或所述修整器旋转机构。6.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于， 所述控制器具有表，所述表按照所述修整器的各位置及摆动方向，预先规定有用于将所述修整器切削所述研磨垫的力作为目标值的控制信号，所述控制器输出与所述修整器的位置及摆动方向对应的所述控制信号， 并根据所述控制信号来控制所述按压机构、所述旋转台旋转机构或所述修整器旋转机构。7.如权利要求6所述的研磨装置，其特征在于， 所述控制器具有判定器，该判定器根据所述修整器切削所述研磨垫的实际力、与所述目标值之差，来判定所述表中规定的控制信号是否妥当。8.如权利要求7所述的研磨装置，其特征在于， 所述判定器具有存储器，该存储器将所述修整器的位置及摆动方向与判定结果相关连而存储。9.如权利要求7所述的研磨装置，其特征在于， 所述控制器根据供给至所述旋转台旋转机构中的旋转台马达的驱动电流与所述修整器的位置，来计算所述实际的切削力，或者 根据所述旋转台的旋转轴的应变与所述修整器的位置来计算所述实际的切削力，或者 根据作用于支撑所述修整器的旋转轴的支撑构件的力来计算所述实际的切削力，或者 根据作用于支撑所述修整器的支轴的支撑构件的力来计算所述实际的切削力。10.一种研磨装置的控制方法，该研磨装置具备: 旋转台，设有研磨基板的研磨垫； 旋转台旋转机构，使所述旋转台旋转； 修整器，通过切削所述研磨垫来修整所述研磨垫； 按压机构，将所述修整器按压于所述研磨垫； 修整器旋转机构，使所述修整器旋转;及 摆动机构，使所述修整器在所述研磨垫上摆动； 其特征在于，该研磨装置的控制方法具备: 检测步骤，检测所述修整器的位置及摆动方向；及 控制步骤，根据所述修整器的位置及摆动方向控制所述按压机构、所述旋转台旋转机构或所述修整器旋转机构。
【专利摘要】本发明提供一种具备可尽量以恒定的力切削研磨垫的修整器的研磨装置及其控制方法。该研磨装置具备：设有研磨基板(W)的研磨垫(11a)的旋转台(11)；使所述旋转台(11)旋转的旋转台旋转机构(12)；通过切削所述研磨垫(11a)来修整所述研磨垫(11a)的修整器(51)；将所述修整器(51)按压于所述研磨垫(11a)的按压机构(53)；使所述修整器(51)旋转的修整器旋转机构(54)；使所述修整器(51)在所述研磨垫(11a)上摆动的摆动机构(56)；及根据所述修整器(51)的位置及摆动方向，来控制所述按压机构(53)、所述旋转台旋转机构(12)或所述修整器旋转机构(54)的控制器(6)。
【IPC分类】B24B53/017, B24B49/16, B24B49/10
【公开号】CN105729307
【申请号】CN201510993007
【发明人】篠崎弘行
【申请人】株式会社荏原制作所
【公开日】2016年7月6日
【申请日】2015年12月25日
【公告号】US20160184961