一种用于减薄机的转移吸盘的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及电子行业减薄机吸附设备的技术领域，具体为一种用于减薄机的转移吸盘。
【背景技术】
[0002]集成电路制造技术的进步首先来源于市场需求的要求，其次是竞争的要求。在集成电路制造中，半导体硅材料由于其资源丰富，制造成本低，工艺性好，是集成电路重要的基体材料。从集成电路断面结构来看，大部分集成电路是在娃基体材料的浅表面层上制造。
[0003]由于制造工艺的要求，对晶片的尺寸精度、几何精度、表面洁净度以及表面微晶格结构提出很高要求。因此在几百道工艺流程中，不可采用较薄的晶片，只能采用一定厚度的晶片在工艺过程中传递、流片。通常在集成电路封装前，需要对晶片背面多余的基体材料去除一定的厚度。这一工艺过程称之为晶片背面减薄工艺，对应装备就是晶片减薄机。其他行业对也对晶片的减薄有同样的要求。然而减薄机加工是用各种型号砂轮对各种片子磨削进行减薄的，减薄是片子在加工工艺过程中的一种必要。目前使用的减薄机其在真空状态下，当磨削片子按使用需求磨削至80微米以下时，磨削片子自身强度已经不能用气或水漂起，一旦磨削的片子即碎成几片，更无法用手拿起。因此，针对上述问题我们研制了一种结构简单，便于磨削片子从吸盘上取下，且能使碎磨削片固定牢固的一种用于减薄机的转移吸盘。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是针对以上所述的现有技术中存在的问题，提供一种结构简单，便于磨削片子从吸盘上取下，且能使碎磨削片固定牢固的一种用于减薄机的转移吸盘。
[0005]为了实现所述目的，本实用新型具体采用如下技术方案:
[0006]一种用于减薄机的转移吸盘，其包括吸盘外壳I及镶嵌在吸盘外壳I内部的转移吸盘2。其特征在于:所属吸盘外壳I与转移吸盘2形成了真空腔体3，吸盘外壳I上设有与真空腔体3通透的真空进口 4，且其上还设有真空控制开关5，片子脱离控制开关7 ;所述的转移吸盘2上与吸盘外壳I相对的另一侧面设有磨削片子6。
[0007]本实用新型一种用于减薄机的转移吸盘，在磨削片子6成型后，即将转移吸盘2放置在磨削片子6上，开启转移吸盘2的真空控制开关5，此时磨削片子6上下都有真空，磨削结束后，关闭减薄机吸附磨削片子6的真空，打开片子脱离控制开关7，对真空腔体3供水或气使减薄机与磨削片子6脱离，磨削片子6就被转移吸盘2吸住取下，翻转转移吸，2使其盘面朝上，关闭转移吸盘2真空，磨削片子6凹面冲上，自然翘曲取下，使用方便。
[0008]与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于:结构简单，便于磨削片子从吸盘上取下，且能使碎磨削片固定牢固，使用方便，广泛。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图。
[0010]图中:吸盘外壳1，转移吸盘2，真空腔体3，真空进口 4，真空控制开关5磨削片子6，片子脱尚控制开关7。
【具体实施方式】
[0011]以下结合附图1对本实用新型的结构及其有益效果进一步说明。
[0012]实施例1
[0013]—种用于减薄机的转移吸盘，如图1所不，其包括吸盘外壳I及镶嵌在吸盘外壳I内部的转移吸盘2。所属吸盘外壳I与转移吸盘2形成了真空腔体3，吸盘外壳I上设有与真空腔体3通透的真空进口 4，且其上还设有真空控制开关5，片子脱离控制开关7 ;所述的转移吸盘2上与吸盘外壳I相对的另一侧面设有磨削片子6。
[0014]工作时，在磨削片子6成型后，即将转移吸盘2放置在磨削片子6上，开启转移吸盘2的真空控制开关5，此时磨削片子6上下都有真空，磨削结束后，关闭减薄机吸附磨削片子6的真空，打开片子脱离控制开关7，对真空腔体3供水或气使减薄机与磨削片子6脱离，磨削片子6就被转移吸盘2吸住取下，翻转转移吸，2使其盘面朝上，关闭转移吸盘2真空，磨削片子6凹面冲上，自然翘曲取下，使用方便。
[0015]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种用于减薄机的转移吸盘，其包括吸盘外壳(I)及镶嵌在吸盘外壳(I)内部的转移吸盘(2);其特征在于:所属吸盘外壳(I)与转移吸盘(2)形成了真空腔体(3)，吸盘外壳(I)上设有与真空腔体(3)通透的真空进口(4)，且其上还设有真空控制开关(5)，片子脱离控制开关(7);所述的转移吸盘(2)上与吸盘外壳(I)相对的另一侧面设有磨削片子(6)。
【专利摘要】本实用新型涉及电子行业减薄机吸附设备，具体为一种用于减薄机的转移吸盘。其包括吸盘外壳(1)及镶嵌在吸盘外壳(1)内部的转移吸盘(2)；其特征在于：所属吸盘外壳(1)与转移吸盘(2)形成了真空腔体(3)，吸盘外壳(1)上设有与真空腔体(3)通透的真空进口(4)，且其上还设有真空控制开关(5)，片子脱离控制开关(7)；所述的转移吸盘(2)上与吸盘外壳(1)相对的另一侧面设有磨削片子(6)。其有益效果在于：结构简单，便于磨削片子从吸盘上取下，且能使碎磨削片固定牢固。
【IPC分类】B24B41/06, B24B41/00, H01L21/683
【公开号】CN204868544
【申请号】CN201520669246
【发明人】曹丽萍, 张万财, 李明晨, 范平, 陆宝良
【申请人】平凉市老兵科技研发有限公司
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2015年8月31日