1.一种基于原位合成法的InP单晶炉用观察窗装置,包括贯穿炉体内外的观察通道,观察通道出口处设置有观察窗,其特征在于,
还包括进气管道,向观察通道通入惰性气体;
一圈小进气孔,沿内层管壁间隔地并与通道轴线垂直地设置,形成一密闭气障,阻碍上升的挥发物接近观察窗玻璃表面;
扫气管道,相对于观察通道轴线倾斜成一定角度,扫气管道出口与所述观察窗相对,且扫气管道出口在所述一圈小进气孔的上方,
所述扫气管道通入惰性气体,可及时吹扫掉气障未阻挡住的挥发物遇观察窗凝结的细颗粒状磷。
2.根据权利要求1所述的基于原位合成法的InP单晶炉用观察窗装置,其特征在于,
所述观察通道固定连接有夹层连接管,在夹层连接管的外层管壁上连有进气管道,夹层连接管的内层管壁与夹层连接管外层管壁组成一封闭空间。
3.根据权利要求1或2所述的基于原位合成法的InP单晶炉用观察窗装置,其特征在于,
所述进气管道和扫气管道分属于两路气体通道,分别通入惰性气体。
4.根据权利要求3所述的基于原位合成法的InP单晶炉用观察窗装置,其特征在于,
所述进气管道和扫气管道的管道气压可调节。
5.根据权利要求2所述的基于原位合成法的InP单晶炉用观察窗装置,其特征在于,
夹层连接管上端与观察窗下法兰固定连接在一起,在观察窗的下法兰上方设置有观察窗上法兰,在观察窗上法兰与观察窗下法兰之间固定设置有观察窗玻璃。
6.根据权利要求1所述的基于原位合成法的InP单晶炉用观察窗装置,其特征在于,
所述观察通道设置在与炉体上端固定连接的法兰上。