技术总结
本实用新型提供一种基于原位合成法的InP单晶炉用观察窗装置，包括贯穿炉体内外的观察通道，观察通道出口处设置有观察窗，还包括进气管道，向观察通道通入惰性气体；一圈小进气孔，沿内层管壁间隔地并与通道轴线垂直地设置，形成一密闭气障，阻碍上升的挥发物接近观察窗玻璃表面；扫气管道，相对于观察通道轴线倾斜成一定角度，扫气管道出口与所述观察窗相对，且扫气管道出口在所述一圈小进气孔的上方，所述扫气管道通入惰性气体，可及时吹扫掉气障未阻挡住的挥发物遇观察窗凝结的细颗粒状磷。本实用新型形成进气通道和扫气通道两路气体通道，有效解决磷蒸气注入原位合成法的直拉InP单晶炉上方观察窗的摭蔽问题，而且结构简单，操作方便。
技术研发人员：杨翠柏;方聪;陈丙振
受保护的技术使用者：珠海鼎泰芯源晶体有限公司
文档号码：201621146794
技术研发日：2016.10.21
技术公布日：2017.05.31