技术特征：
技术总结
本发明提供一种热处理装置。能够长期地使用炉心管，该炉心管使用于多孔质玻璃母材的热处理装置。热处理装置具备：硅玻璃制的炉心管；加热器，其与炉心管相邻地设置，用于对加热区域进行加热；以及移动机构，其支承多孔质玻璃母材，并且在利用加热器对加热区域进行了加热的状态下，在炉心管的内部使多孔质玻璃母材相对于加热器相对地移动而穿过加热区域，在炉心管中的、与位于加热区域的部分相邻的区域具有玻璃的壁厚比位于加热区域的部分的玻璃的壁厚薄的薄壁部。
技术研发人员：内田一也;越谷隆
受保护的技术使用者：信越化学工业株式会社
技术研发日：2017.03.02
技术公布日：2017.09.12