一种多孔坩埚的制作方法

文档序号:11370420阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多孔坩埚,其特征在于:具体结构如下:

包括多孔的石墨坩埚以及内置的多孔石墨托盘,所述多孔的石墨坩埚包括坩埚盖(1)和坩埚体(2),所述坩埚盖(1)和坩埚体(2)上均设置有通孔A(3);

所述多孔石墨托盘由若干层石墨托盘(6)组成,所述石墨托盘(6)之间通过石墨托(4)承载;所述的石墨托盘(6)上设置有通孔B(5)。

2.根据权利要求1所述多孔坩埚,其特征在于:通孔A(3)的孔径大于通孔B(5)的孔径。

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