技术总结
本实用新型属于新材料加工技术领域，发明人提供了一种全新的多孔坩埚，包括多孔的石墨坩埚以及内置的多孔石墨托盘，所述多孔的石墨坩埚包括坩埚盖(1)和坩埚体(2)，所述坩埚盖(1)和坩埚体(2)上均设置有通孔A(3)；所述多孔石墨托盘由若干层石墨托盘(6)组成，所述石墨托盘(6)之间通过石墨托(4)承载；所述的石墨托盘(6)上设置有通孔B(5)。本实用新型可以配合高纯度硅烷和高纯度碳粉为原料，在惰性气体的保护下可以获得高纯度的碳化硅粉料；采用分层托盘结构的坩埚，实现了物料的分层堆放，同时提高了硅烷和碳粉的接触面积，有利于热量的传递，提高了原料的利用率，提高了反应收率和最终产品碳化硅粉料的纯度。
技术研发人员：高超;宗艳民;李长进;李加林
受保护的技术使用者：山东天岳晶体材料有限公司
文档号码：201720030514
技术研发日：2017.01.10
技术公布日：2017.09.22