本发明涉及单晶体制备领域,具体涉及一种单晶炉导流筒。
背景技术:
当前,单晶炉导流筒普遍由石墨制成,并分为内外两层。它在单晶硅棒拉制过程中,起着高温气体导流的作用,这既要求其具有良好的耐热性能和力学性能,又要求它具有一定的保温性能,以保持导流筒内单晶硅棒区与熔融的多晶硅液区的温差。但是,由于石墨本身的强度较低,其抗折强度约为13mpa左右,在导流过程中,外层导流筒极有可能发生断裂坠埚现象,这就会导致埚内的原料硅液报废,并影响直拉生产的继续进行,从而产生极大的浪费。
技术实现要素:
本发明针对现有技术的不足之处,提供一种单晶炉导流筒。
本发明解决现有技术问题的方案是:一种单晶炉导流筒,包括外筒、内筒,所述内筒上设有凸起,外筒上设有凹槽。
上述方案的优选,所述的外筒、内同为圆台形。
上述方案的优选,所述的外筒底部直径小于顶部直径。
上述方案的优选,所述的内筒底部直径小于顶部直径。
上述方案的优选,所述的凸起与内筒采用焊接结构。
上述方案的优选,所述的凹槽与内筒采用焊接结构。
上述方案的优选,所述凸起和凹槽通过嵌合方式连接。
上述方案的优选,所述凸起的长度大于凹槽的长度。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于:本发明在内外层导流筒上分别设有凸起和凹槽,凸起和凹槽通过嵌合方式连接,当外层导流筒发生断裂时,其凹槽可以咬住内层导流筒的凸起,从而避免坠埚,保证原料硅液不受污染以及直拉生产的继续进行。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
图2是本发明的外层导流筒的结构示意图;
图3是本发明的内层导流筒的结构示意图;
图中:1、外筒;2、内筒;3、凹槽;4、凸起。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
如图1,2,3所示,一种单晶炉导流筒,包括外筒、内筒,所述内筒上设有凸起,外筒上设有凹槽,所述的外筒、内同为圆台形,所述的外筒底部直径小于顶部直径,所述的内筒底部直径小于顶部直径,所述的凸起与内筒采用焊接结构,所述的凹槽与内筒采用焊接结构,所述凸起和凹槽通过嵌合方式连接,所述凸起的长度大于凹槽的长度。
对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。