上述隔膜13中。该阀座17的凸部17a内填充了形成该隔膜13的弹性材料。另一方面，在上述第2驱动室12b中的与上述第2受压面13b相向的内面，与上述第I阀座17相向地形成了凹状的第2阀座18，在这些第I及第2阀座之间，设有作为用来对膜13的本体部分13d朝第I驱动室12a侧施力的加载部件的螺旋弹簧Sd。
[0048]由此一来，把用来将隔膜阀10打开所需要的上述Λ P设定得更大。另外，在隔膜13的第2受压面13b中的上述第I阀座17的周围，形成有直径与上述密封用肋13e的直径大致相同且排列成环状的多个突起13f，当隔膜阀10处于全开状态时，与跟上述第2驱动室12b中的上述第2受压面13b相向的内面抵接，防止上述第2受压面13b与该内面紧贴。
[0049]而且，上述电磁式先导阀20具有:筒状的螺线管21、与上述控制部60相连并向该螺线管21通电的供电端子22、配置在上述螺线管21内的固定铁心23、在上述螺线管21内与该固定铁心23同轴配置的可动铁心24、通过该可动铁心24朝轴向移动来进行操作的阀部26。而且，在上述隔膜阀10的箱体11内，形成有:把先导气流从与先导流路9a、9b相连的上述第3阀口 14c朝上述先导阀20的阀部26引导的先导供给路10a、把该阀部26与上述隔膜阀10的第2驱动室12b相连并将上述先导气流相对于该第2驱动室12b进行给排的先导给排路10b，以及先导排气路10c，该先导排气路1c将上述阀部26与大气连通，把从上述第2驱动室12b穿过先导给排路1b朝上述阀部26导出的先导气流经由上述第4阀口 14d朝大气排出。
[0050]而且，当与上述螺线管21非通电时(关闭时)，通过弹簧Sp的弹力使可动铁心24从固定铁心23分离，通过上述阀部26将上述先导供给路1a与先导给排路1b连通，从上述先导流路9a、9b把先导气流导入上述隔膜阀10的第2驱动室12b。这样一来，上述隔膜13的本体部分13d对抗作用在其第I受压面13a上的压力朝上述第I驱动室12a方向移动，上述密封用肋13e被推压到上述阀座16而将上述分支流路5a、5b关闭。
[0051]相反，当向上述螺线管21通电时(打开时)，可动铁心24被固定铁心23吸附，通过上述阀部26将上述先导给排路1b与先导排气路1c连通，从上述第2驱动室12b朝大气排出先导气流。这样一来，上述隔膜13的本体部分13d对抗作用在其第2受压面13b上的上述螺旋弹簧Sd的弹力朝上述第2驱动室12b方向移动，上述密封用肋13e从上述阀座16分离，上述分支流路5a、5b打开。
[0052]S卩，上述电磁式先导阀20为普通开启式的螺线管阀，在其非通电时(关闭时)，由上述隔膜阀10将分支流路5a、5b关闭，遮断压缩空气对上述筛选床4A、4B的供给，在其通电时(打开时)，由该隔膜阀10将分支流路5a、5b打开，对上述筛选床4A、4B供给压缩空气。
[0053]另外，上述排气用阀8a、8b具有基本上与如图2所示的上述供气用阀7a、7b相同的构造也就可以，但是，在本实施方式中，如在图1中也表示了的那样，省略了螺旋弹簧Sd。
[0054]而且，在上述电磁式先导阀20非通电时，由上述隔膜阀10将上述排气流路6a、6b关闭，上述筛选床4A、4B与大气被遮断，在其通电时，由该隔膜阀10将排气流路6a、6b打开，把来自上述筛选床4A、4B的排放气体朝大气排出。
[0055]那么，在使用了这样的隔膜式的供气用阀7a、7b的情况下，例如当把生成高浓度氧的筛选床从第I筛选床4A切换到第2筛选床4B时，S卩，从上述“第I阀开闭模式”切换到“第2阀开闭模式”时，在其刚刚切换之后，上述第2筛选床4B的内部压力由于直至切换前的排气而仍然为低的状态。为此，从压缩机3经由供气流路5供给的压缩空气的压力如图10所示那样暂时下降。另一方面，此时，上述第I筛选床4A的内部压力由于直至切换前的供气而仍然为高的状态。
[0056]于是，如果从上述分支流路5a分支并穿过先导流路9a供给到上述电磁式先导阀20的先导压力也同时下降，则上述第I筛选床4A的高的内部压力通过上述第2阀口 14b施加到上述第I供气用阀7a的隔膜阀10的第I驱动室12a，下降了的先导压力通过上述第3阀口 14c施加到第2驱动室12b。
[0057]这样一来，本来，第I供气用阀7a的隔膜阀10应该被供给先导气流而关闭，但是，由于上述理由，上述Λ P超过用来打开隔膜阀10所需要的量(参照图10的斜线部)而使隔膜阀10打开，其结果是，会导致包含高浓度的氮的来自第I筛选床4Α的排放气体暂时沿第I分支流路5a倒流，通过第2分支流路5b流入生成氧的那侧的第2筛选床4B。
[0058]而且，这样的问题，在相反地将生成高浓度氧的筛选床从第2筛选床4B切换到第I筛选床4A时，即，刚刚从上述“第2阀开闭模式”切换到“第I阀开闭模式」之后也会发生(参照图10的点部)。
[0059]而且，这样的在刚刚切换供给压缩空气的筛选床4A、4B之后的暂时的排放气体倒流，不仅起因于上述那样的供气流路5的供气压力下降，而且基于先导流路9a、9b的处理方式等另外要因也会发生。
[0060]于是，在本实施方式中，如图1所示那样，在比上述第I及第2分支流路5a、5b中的上述第I及第2供气用阀7a、7b靠上游侧(即，上述压缩机3侧)的位置，分别设置了用来阻止从该供气用阀7a、7b侧朝上游方向倒流的第I及第2供气侧止回阀40a、40b。由此一来，在刚刚把供给压缩空气生成高浓度氧的筛选床从一方切换到另一方之后，例如即便不论基于何种理由，致使被供给到上述供气用阀的电磁式先导阀20的先导气流的压力暂时下降，也能够防止进行再生那侧(即，排气侧)的筛选床内的排放气体沿供气流路5倒流流入生成高浓度氧那侧的筛选床。而且，其结果是，可以提高向上述电磁式先导阀20供给先导气流的先导流路9a、9b的布置处理、将其从供气流路5分支的位置等，先导流路9a、9b的配管自由度。
[0061]进而，对上述氧生成部2中的包含上述第I及第2供气侧止回阀40a、40b的空气压回路的结构进行更加具体的说明。上述氧生成部2的空气压回路，如图1、图3(a)?(d)及图4所示那样，由阀集合体形成，该阀集合体将第I及第2供气用阀7a、7b与第I及第2排气用阀8a、8b搭载在单个的歧管座30上而成。即，此歧管座30被一体成形为大致立方体状，上述各供气用阀7a、7b与各排气用阀8a、8b以纵横地两个两个彼此邻接的状态搭载在歧管座30的平面上。
[0062]而且，在此实施方式中，使供气流路5的主流路5c在歧管座30的上游侧分支成第I分支流路5a与第2分支流路5b，在上述歧管座30的平面上设有用来连接这些各分支流路5a、5b的第I供气阀口 Pa与第2供气阀口 Pb。在该歧管座30的正面上开设有与上述第I及第2筛选床4A、4B相连的第I输出阀口 A及第2输出阀口 B，在该歧管座30的右侧面上开设有用来把来自形成在其内部的上述各排气流路6a、6b的排放气体朝大气排出的排气阀口 E。而且，在该歧管座30内，从上述各分支流路5a、5b分别分支出上述先导流路9a、9b ο
[0063]另外，尽管图示省略，但是，在该歧管座30的平面上的搭载了上述第I及第2供气用阀7a、7b的各位置，呈同心圆状地分别开设了:经由形成在上述歧管座30内的各分支流路5a、5b与上述各供气阀口 Pa、Pb连通且与各供气用阀7a、7b的第I阀口 14a相连的开口、与上述各输出阀口 A、B连通且与各供气用阀7a、7b的上述第2阀口 14b相连的开口、与形成在上述歧管座30内的各先导流路9a、9b连通且与各供气用阀7a、7b的上述第3阀口14c相连的开口、与相邻于上述各输出阀口 A、B开设的第I及第2先导排放气体口 Epl、Ep2连通且与各供气用阀7a、7b的上述第4阀口 14d相连的开口。
[0064]进而，在上述平面上的搭载了上述第I及第2排气用阀8a、8b的各位置，呈同心圆状地分别开设了:分别与上述各输出阀口 A、B连通且与各排气用阀8a、8b的上述第I阀口14a相连的开口、经由形成在上述歧管座30内的各排气流路6a、6b与上述排气阀口 E连通且与各排气用阀8a、8b的上述第2阀口 14b相连的开口、与形成在上述歧管座30内的各先导流路9a、9b连通且与各排气用阀8a、8b的上述第3阀口 14c相连的开口、与上述第I及第2先导排放气体口 Epl、Ep2连通且与各排气用阀8a、8b的上述第4阀口 14d分别相连的开口。