制造方法及制造装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及使面板彼此粘合来制造层叠体的技术。
【背景技术】
[0002]作为电视、个人电脑、移动终端等的显示器，已知粘接液晶显示面板等图像显示面板和罩面板而粘合了的显示器。作为进行这样的面板彼此的粘合的装置，提出有具备面板彼此的对位机构和由辊的推压使两面板贴紧的推压机构的装置(专利文献I)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献1:日本特开2009-040617号公报
【发明内容】
[0005]在专利文献I的装置中，另行需要向装置搬运面板的搬运系的机构。以系统整体来看，除了搬运系的机构外，还需要面板彼此的对位机构，有时系统的结构复杂化。
[0006]本发明的目的在于通过更简易的结构实现从两面板的搬运到面板彼此的对位。
[0007]根据本发明，提供一种制造方法，使第一面板和第二面板粘合来制造层叠体；其特征在于，具备位置检测工序、第一搬运工序和第二搬运工序；该位置检测工序分别检测到上述第一面板及上述第二面板的位置；该第一搬运工序朝使上述第一面板和上述第二面板重叠并粘合的作业区域地在第一方向搬运上述第一面板；该第二搬运工序朝上述作业区域地在第二方向搬运上述第二面板；在上述第一搬运工序中，基于由上述位置检测工序所获得的上述第一面板的位置检测结果和上述第二面板的位置检测结果对上述第一面板的上述第一方向的搬运量进行控制，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致；在上述第二搬运工序中，基于上述第二面板的上述位置检测结果和上述第一面板的上述位置检测结果对上述第二面板的上述第二方向的搬运量进行控制，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致。
[0008]另外，根据本发明，提供一种制造装置，使第一面板和第二面板粘合来制造层叠体；其特征在于，上述制造装置具备:检测上述第一面板的位置的第一位置检测单元、检测上述第二面板的位置的第二位置检测单元、控制上述第一面板及上述第二面板的搬运量的控制单元、朝使上述第一面板和上述第二面板重叠并粘合的作业区域地在第一方向搬运上述第一面板的第一搬运机构、朝上述作业区域地在第二方向搬运上述第二面板的第二搬运机构和控制上述第一搬运机构及上述第二搬运机构的控制单元；上述控制单元，基于由上述第一位置检测单元获得的上述第一面板的位置检测结果和由上述第二位置检测单元获得的上述第二面板的位置检测结果控制上述第一面板的上述第一方向的搬运量，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致，并且，基于上述第二面板的上述位置检测结果和上述第一面板的上述位置检测结果对上述第二面板的上述第二方向的搬运量进行控制，以便上述第一面板与上述第二面板的粘合位置一致。
[0009]根据本发明，可通过更简易的结构实现从两面板的搬运到面板彼此的对位。
【附图说明】
[0010]图1是本发明的一实施方式的制造装置的俯视图。
[0011]图2是图1的制造装置的图1中的箭头Dl方向向视图。
[0012]图3是图1的制造装置的图1中的箭头D2方向向视图。
[0013]图4㈧是图1的制造装置的图2中的箭头D3方向向视图，(B)是层叠体的说明图。
[0014]图5是控制单元的框图。
[0015]图6(A)?(C)是图1的制造装置的动作说明图。
[0016]图7(A)及⑶是图1的制造装置的动作说明图。
[0017]图8(A)及⑶是图1的制造装置的动作说明图。
[0018]图9(A)及⑶是图1的制造装置的动作说明图。
[0019]图10(A)?⑶是图1的制造装置的动作说明图。
[0020]图1l(A)及⑶是图1的制造装置的动作说明图。
[0021]图12(A)?(C)是图1的制造装置的动作说明图。
[0022]图13(A)及⑶是图1的制造装置的动作说明图。
[0023]图14(A)及⑶是图1的制造装置的动作说明图。
[0024]图15是图1的制造装置的动作说明图。
[0025]图16(A)?(C)是图1的制造装置的动作说明图。
[0026]图17(A)及⑶是图1的制造装置的动作说明图。
[0027]图18是图1的制造装置的动作说明图。
[0028]图19(A)及(B)是面板的定位和搬运量的设定方法的说明图。
[0029]图20(A)及(B)是面板的定位和搬运量的设定方法的说明图。
[0030]图21 (A)?⑶是另一例的粘合动作的说明图。
[0031 ]图22 (A)?(E)是另一例的保持机构的说明图。
[0032]图23是另一例的制造装置的俯视图。
[0033]图24是另一例的制造装置的俯视图。
【具体实施方式】
[0034]下面，参照【附图说明】本发明的实施方式。在各图中，箭头X及Y表示相互正交的水平方向，箭头Z表示上下方向。
[0035]第I实施方式
[0036]装置的概要
[0037]图1是本发明一实施方式的制造装置A的俯视图，图2是制造装置A的图1中的箭头Dl方向向视图，图3是制造装置A的图1中的箭头D2方向向视图，图4(A)是制造装置A的图2中的箭头D3方向向视图。图4(B)是成为制造对象的层叠体的分解立体图。
[0038]制造装置A是使2片面板粘合来制造层叠体的装置。在本实施方式的情况下，如图4 (B)所示的那样，制造方形的面板Pl与方形的面板P2的层叠体LB。面板Pl是罩面板，面板P2是图像显示面板，其层叠体LB是构成图像显示装置的层叠体。作为图像显示面板的面板P2例如是液晶显不面板(例如LCD)，在其显不面侧(在图4(B)中是下表面)粘贴作为罩面板(例如防护玻璃罩)的面板P1。面板Pl具备具有光透射性的面板主体MB。面板主体MB例如是玻璃板、树脂板。在粘贴了面板P2的、面板主体MB的表面(在图4(B)中是上表面)的周缘形成遮光层LS。
[0039]制造装置A在装置的布置上具备搬入区域R1、处理区域R2和搬出区域R3。在搬入区域Rl中，从面板Pl的供给源的装置移交面板P1，搬入面板P1。处理区域R2是使面板Pl和与面板Pl被分别地搬入的面板P2的面板彼此重叠并粘合的作业区域。在搬出区域R3中，将在处理区域R2中被粘合的2片面板Pl及P2的层叠体LB移交给供给目的地的装置，层叠体LB被搬出。在这里，在被搬入到搬入区域Rl中的面板Pl的表面上预先设置用于粘合的粘接剂RG(后述)。作为用于粘合的粘接剂RG，例如可列举出未硬化状态或临时硬化状态的粘接层、粘接片、粘接膜等。
[0040]制造装置A具备保持单元2、搬运机构3、推压单元4、搬入台5、控制单元6、位置检测单元7及8、搬运机构12、升降单元13、调整单元14及15和调整单元53及54。首先，根据搬运机构12的结构开始说明。
[0041]搬运机构
[0042]搬运机构12是将被搬入到搬入区域Rl的面板Pl向处理区域R2在Y方向上进行搬运的单元，在本实施方式的情况下，具备多个空气浮起台121、多个滑动单元123和对每个滑动单元123设置的导轨122。
[0043]空气浮起台121具备形成了许多空气孔的水平的上表面。空气孔经由空气浮起台121内部的通路与未图示的空气装置连通。空气装置是以泵为代表的空气供给装置或空气吸引装置。通过从空气孔排出空气，能够以悬浮状态支承面板P1。另外，将空气浮起台121的一部分，通过从一部分空气孔排出空气，从其它的一部分空气孔吸引空气，做成伯努利吸盘，可稳定而且精密地以悬浮状态支承面板Pl。
[0044]空气浮起台121沿作为面板Pl的搬运方向的Y方向延伸设置。更详细地说，从搬入区域Rl到搬出区域R3，除了槽部121b外，在整个区域延伸设置。因此，在制造装置A的整个区域，可通过非接触地对面板Pl及层叠体LB进行支承。空气浮起台121设置2个，相互平行地延伸设置，而且在X方向上分离地配置。2个空气浮起台121的X方向的间隙形成多个滑动单元123的移动空间。在空气浮起台121的上表面形成槽121a。槽121a成为后述的升降单元13的销131的退避空间。
[0045]滑动单元123从搬入区域Rl向处理区域R2搬运在空气浮起台121上以悬浮状态支承的面板P1，从处理区域R2向搬出区域R3搬运在空气浮起台121上以悬浮状态支承的层叠体LB。滑动单元123通过沿Y方向延伸设置的导轨122的引导，可由未图示的驱动机构在Y方向上往返移动。驱动机构例如可采用滚珠丝杠机构、皮带传动机构等。滑动单元123设置2个。通过对每个滑动单元123设置驱动机构，可独立地移动，可在I个面板的搬运途中开始接下来的面板的搬运，即，可在不同的时机搬运位于不同的区域的2片面板。
[0046]滑动单元123具备吸附部1231、抵接部1232、滑块1233和升降机构1234。吸附部1231具备形成吸附孔1231a的上表面。此上表面构成可吸附于面板Pl的下表面的水平的吸附面。吸附孔1231a经由吸附部1231内部的通路与未图示的空气装置连通。空气装置是以泵为代表的空气吸引装置。通过从吸附孔1231a吸引空气，可对面板Pl进行吸附保持。
[0047]抵接部1232可与面板Pl的端缘抵接。在本实施方式的情况下，抵接部1232是经由支承轴旋转自如地设置于吸附部1231的上部的辊。抵接部1232主要在面板搬入时在对面板Pl的姿势进行调整之际与面板Pl的端缘(上游侧的端缘)抵接。吸附部1231的吸附面的Z方向的位置被设定在从抵接部1232的Z方向下端到上端的范围内。因此，吸附部1231的吸附面与抵接部1232的支承轴立设的部位相比位于更高的位置。
[0048]滑块1233与导轨122卡合，可由导轨122引导，在Y方向上移动。升降机构1234被搭载在滑块1233上。升降机构1234作为其驱动源包含例如气压缸、电动缸、电磁螺线管等执行机构。吸附部1231被搭载于升降机构1234，由升降机构1234进行升降。吸附部1231在吸附位置与退避位置之间升降，在吸附位置，吸附面处于空气浮起台121的上表面的上方的位置，在退避位置，吸附部1231整体处于空气浮起台121的上表面的下方的位置。吸附位置是使吸附部1231吸附于面板Pl进行保持的位置，吸附部1231处于与空气浮起台121的上表面相比稍靠上方的位置。
[0049]升降单元及调整单元
[0050]在搬入区域Rl中设置升降单元13和调整单元14及15。
[0051]升降单元13是在外部的装置与制造装置A之间进行面板Pl的移交的单元。搬入区域Rl中的升降单元13的数量是2。升降单元13也设置在搬出区域R3中，其数量是2。搬出区域R3的升降单元13在制造装置A与外部的装置之间进行层叠体LB的移交。
[0052]升降单元13具备多个销131、支承构件132、升降机构133。多个销131被支承在支承构件132上，向上方向延伸。各销131被插入到设置于空气浮起台121的槽121a的上下方向的贯通孔中。多个销131是相等长度，它们的前端(上端)的高度为齐平面。
[0053]支承构件132位于空气浮起台121的下方，销131的下端被固定。升降机构133例如作为其驱动源包含气压缸、电动缸、电磁螺线管等执行机构，使支承构件132升降。通过支承构件132的升降，销131也升降。销131在上升位置与下降位置之间升降，在上升位置，其前端与空气浮起台121的上表面相比向上方突出，在下降位置，销131的前端处于空气浮起台121的上表面的下方的位置。图2、图3及图4(A)表示销131处于下降位置的情况，销131的前端位于槽121a内。
[0054]调整单元14及15是在搬入区域Rl中对面板Pl的姿势进行调整来进行其定位的定位单元。调整单元14对X方向的面板Pl的姿势进行调整，调整单元15对Y方向的面板Pl的姿势进行调整。
[0055]调整单元14在搬入区域Rl中设置多个，夹着2个空气浮起台121配置于X方向的两侧。调整单元14具备圆柱状的抵接部141和驱动部142。驱动部142例如作为其驱动源包含例如气压缸、电动缸、电磁螺线管等执行机构，使抵接部14