1在X方向上往返移动。通过驱动部142的驱动，抵接部141可从退避位置向定位位置移动，在退避位置，从空气浮起台121更进一步地离开，在定位位置，更进一步地接近空气浮起台121。在定位位置，抵接部141与面板的X方向的端缘抵接，可进行其姿势调整及定位。调整单元15也是与调整单元14同样的结构，但其抵接部与面板Pl的Y方向的端缘(下游侧端缘)抵接，可进行其姿势调整及定位。
[0056]保持单元
[0057]接下来，说明保持单元2。保持单元2是配置于处理区域R2、对在一方的面涂布了光硬化性树脂的面板Pl进行保持的单元。在面板Pl被保持于保持单元2的状态下层叠面板P2。
[0058]保持单元2具备多个保持机构20a、20b、多个支承构件24及25和移动机构26。保持机构20a被设置2个，保持面板Pl的搬运方向上游侧的端部。保持机构20b被设置2个，保持面板Pl的搬运方向下游侧的端部。
[0059]保持机构20a在俯视时被配置在空气浮起台121、121的各槽121a上的位置。保持机构20b在俯视时从各空气浮起台121、121的X方向外侧(面对导轨122的那一侧的相反侧)到槽部121b进行配置。
[0060]另外，各保持机构20a、20b的Y方向的位置及保持机构20b、20b的分离距离与面板Pl的尺寸对应地被调整。
[0061]保持机构20a、20b分别具备保持部21a、21b、支承部22a、22b和升降机构23a、23bο保持部21a、21b包含以与面板Pl的周缘部下表面抵接的方式配置的爪状的部分。保持部21a在槽121a内进退自如，另外，保持部21b在槽部121b内进退自如。
[0062]支承部22a、22b是分别对保持部21a、21b进行支承的构件。升降机构23a、23b作为其驱动源包含例如气压缸、电动缸、电磁螺线管等执行机构，是使支承部22a、22b升降的机构。通过使支承部22a、22b升降，保持部21a、21b也升降。保持部21a、21b位于相同高度，它们的升降动作同步地进行。
[0063]2个支承构件24是对保持机构20a、20b进行支承的梁构件，在I个支承构件24上以悬挂的方式支承2个保持机构20a或2个保持机构20b。
[0064]支承构件24是相互在Y方向上分离地设置2个的梁构件。各支承构件24沿X方向延伸设置。在一方的支承构件24上以悬挂的方式支承2个保持机构20a (似应是“保持机构20b”)，而且由一对支承构件25支承。支承构件25是以水平姿势对支承构件24进行支承的柱构件。
[0065]剩下的一方的支承构件24对2个保持机构20a进行支承，由一对移动机构26可在Y方向上移动地支承。移动机构26作为驱动源包含例如气压缸、电动缸、电磁螺线管等执行机构。另外，也可使得可在Y方向上移动地构成2个支承构件24的双方。
[0066]推压单元
[0067]推压单元4是被配置于处理区域R2的、对在保持单元2的各保持部21上被水平保持并重叠的面板Pl和面板P2施加其厚度方向(在这里是Z方向)的推压力的机构，被配置在处理区域R2中。另外，面板Pl与面板P2可相互接触地重叠，也可稍分离地重叠。
[0068]推压单元4具备辊41、多个支承部42、多个升降机构43、多个滑块44和多个导轨45。支承部42、升降机构43、滑块44和导轨45被设置2组，升降机构43被搭载于滑块44，支承部42被搭载于升降机构43。
[0069]辊41以横跨2个空气浮起台121的方式沿X方向水平地延伸设置。辊41是其两端部被旋转自如地支承于支承部42、可自由旋转的自由辊。导轨45夹着2个空气浮起台121分别配置于两侧，沿Y方向水平地延伸设置。滑块44与导轨45卡合，可通过导轨45的引导在Y方向上移动。滑块44由未图示的驱动机构在Y方向上往返移动。通过使2个滑块44同步地移动，可在Y方向上平行移动辊41。
[0070]升降机构43作为其驱动源包含例如气压缸、电动缸、电磁螺线管等执行机构，使支承部42升降。通过使2个支承部42同步地升降移动，可在Z方向上平行移动(升降)辊41。
[0071]搬入台及调整单元
[0072]搬入台5是在外部的装置与制造装置A之间进行面板P2的移交的单元。搬入台5具备空气浮起台51和升降单元52。空气浮起台51是与空气浮起台121同样的结构，具备形成了许多空气孔的水平的上表面，通过从空气孔排出空气，可以悬浮状态对面板P2进行支承。根据面板P2的种类、大小，作为搬入台5，也可以不是空气浮起台，而是通常的接触式的放置台。
[0073]升降单元52是与升降单元13同样的结构，具备多个销521、支承构件522和升降机构523。多个销521被支承在支承构件522上向上方向延伸。各销521被插入到设置于空气浮起台51的槽51a的上下方向的贯通孔中。多个销521是相等长度，它们的前端(上端)的高度为齐平面。
[0074]支承构件522位于空气浮起台51的下方，销521的下端被固定。升降机构523作为其驱动源包含例如气压缸、电动缸、电磁螺线管等执行机构，使支承构件522进行升降。通过支承构件522的升降，销521也升降。销521在上升位置与下降位置之间升降，在上升位置，其前端与空气浮起台51的上表面相比向上方突出，在下降位置，销521的前端处于空气浮起台51的上表面的下方的位置。
[0075]在空气浮起台51的周围配设调整单元53及54。调整单元53及54是在空气浮起台51上对面板P2的姿势进行调整来进行其定位的单元。
[0076]调整单元53对Y方向的面板P2的姿势进行调整，调整单元54对X方向的面板P2的姿势进行调整。调整单元53及54是与调整单元14或15同样的结构，姿势调整及定位的原理也相同。面板P2的姿势调整的机构不限于调整单元53及54，例如可列举出作为姿势调整单元或定位调整单元被惯用地使用的所有装置、机构、单元。另外，面板P2的姿势调整及定位也可由作业人员使用导向夹具手动地进行。
[0077]搬运机构
[0078]搬运机构3是将被搬入到搬入台5的面板P2向处理区域R2在X方向上搬运的单元。搬运机构3向被保持于保持单元2的面板Pl的上方搬运面板P2，使其下降而使两者重叠。搬运机构3具备吸附单元31、旋转单元32、可动单元33、导轨构件34和多个支柱35。
[0079]吸附单元31的下表面构成水平的吸附面。在此吸附面上形成空气孔，经由吸附单元31内部的通路与未图示的空气吸引装置连接。空气吸引装置例如是泵。通过从空气孔吸引空气，吸附单元31对面板P2的上表面负压吸引来进行吸附。吸附单元31被固定于旋转单元32的下端。
[0080]旋转单元32是由可动单元33升降的在Z方向延伸的升降轴，并且，具备使吸附单元31绕Z轴旋转的旋转机构32a。旋转机构32a例如是马达和减速器，在其输出轴上固定吸附单元31的中心部。通过使吸附单元31旋转，可使被吸附于吸附单元31的面板P2旋转，可对其姿势进行修正。即，旋转机构32a作为修正单元发挥作用。
[0081]可动单元33具备使旋转单元32升降的升降机构。升降机构例如可采用滚珠丝杠机构、皮带传动机构等。导轨构件34沿X方向水平地延伸设置，其两端部由支柱35支承。可动单元33由未图示的驱动机构通过导轨构件34的引导可在X方向上往返移动。驱动机构例如可采用滚珠丝杠机构、皮带传动机构等。通过可动单元33的X方向的移动和旋转单元32的升降，吸附单元31可在X-Z平面上移动。
[0082]位置检测单元
[0083]位置检测单元7设置在搬入区域Rl中，是对由调整单元14及15进行了姿势调整及定位的面板Pl的位置进行检测的单元。即使是由调整单元14及15进行了姿势调整及定位的面板P1，也因为其制造精度、面板个体差的原因，不是同一形状及准确的方形，另外，因为调整单元14及15的定位精度的影响，并不是完全处于相同的姿势及位置。这成为使面板Pl与面板P2粘合时的位置偏移的主要原因。因此，由位置检测单元7对面板Pl的更正确的姿势及/或位置进行检测。
[0084]在本实施方式的情况下，位置检测单元7对面板Pl的图像进行摄影，检测其姿势及/或位置。作为位置检测单元7，如果是可检测面板Pl的X方向及Y方向的位置的检测单元，则什么样的结构的检测单元都可以。作为优选的位置检测单元7，可以非接触的状态、高速/高精度地检测宽范围的姿势和/或位置的检测单元。
[0085]位置检测单元7具备照相机71、滑块72和导轨构件73。导轨构件73以横过2列的空气浮起台121上的方式沿X方向水平地延伸设置。滑块72与导轨构件73卡合，由未图示的驱动机构通过导轨构件73的引导可在X方向上往返移动。驱动机构例如可采用线性马达机构、滚珠丝杠机构、或皮带传动机构等。
[0086]照相机71被支承于滑块72，摄影范围被设定为向下。由此，可对空气浮起台121上的面板Pl进行摄影。在本实施方式的情况下，照相机71虽然对面板Pl的规定的部位进行摄影，检测其位置，但当然也可以构成为对面板Pl整体进行摄影。
[0087]摄影并检测位置的部位在本实施方式的情况下是面板Pl的外形的角部。因为面板Pl是方形，所以，对4个角部的位置进行检测。另外，摄影并检测位置的部位不限于此。例如也可以如图4(B)所示的那样是遮光层LS的内缘角部。另外，也可事先在面板Pl上附加对准标记，将此标记作为对象。
[0088]设置对滑块72的移动位置进行检测的传感器，或根据驱动机构的控制器的控制量，可从传感器的检测结果或基于控制器的控制量的滑块72的位置运算照相机71的图像中的物体的位置，作为结果，可运算面板Pl的角部的位置。
[0089]其次，位置检测单元8是与搬入台5邻接地设置、对吸附于吸附单元31的面板P2的位置进行检测的单元。即使是由调整单元53及54进行了姿势调整及定位的面板P2，也因为其制造精度、面板个体差的原因，不是同一形状及准确的方形，另外，因为调整单元53及54的定位精度的影响，并不是完全处于相同的姿势及位置。这成为使面板Pl与面板P2粘合时的位置偏移的主要原因。因此，由位置检测单元8对面板P2的更正确的姿势及/或位置进行检测。
[0090]在本实施方式的情况下，位置检测单元8对面板P2的图像进行摄影，检测其姿势及/或位置。作为位置检测单元8，也可以是与位置检测单元7同样的结构的检测单元。[0091 ] 位置检测单元8具备2个照相机81、对2个照相机81进行支承的支承构件82和移动机构83。支承构件82是沿Y方向延伸设置的构件，在其两端部配置照相机81。移动机构83例如是电动缸，在摄影位置与退避位置之间使支承构件82在X方向上进退，避免与吸附单元31干涉。
[0092]2个照相机81分离与面板P2的Y方向的宽度量大致相当的距离地被支承，摄影范围被设定为向上。由此，可从下方对吸附于吸附单元31的面板P2进行摄影。在本实施方式的情况下，照相机81虽然对面板P2的规定的部位进行摄影，检测其位置，但当然也可以对面板P2整体进行摄影的方式构成。另外，也可沿支承构件82的长度方向(Y方向)移动自如地设置至少照相机81的一方。由此，即使是摄影范围窄的照相机81，也可应对各种各样的尺寸的面板P2。
[0093]摄影并检测位置的部位在本实施方式的情况下是面板P2的外形的角部。通过由2个照相机81同时地对2个部位的角部进行摄影，使吸附单元31旋转，对剩下的2个部位的角部也可摄影。因为摄影位置是固定的位置，所以，可根据照相机81的图像运算面板P2的角部的位置。
[0094]因为面板P2是方形，所以，对4个角部的位置进行检测。另外，摄影并检测位置的部位不限于此。例如也可以是面板P2的回路配置区域(距外缘规定宽度的内侧的区域)的角部。另外，也可事先在面板P2附加对准标记，将此标记作为对象。
[0095]控制单元
[0096]图5是进行制造装置A的控制的控制单元6的框图。控制单元6包含CPU等处理部61、RAM、ROM等存储部62和连接外部器件与处理部61的接口部63。在接口部63中还包含进行与主计算机进行通信的通信接口。主计算机例如是对配置了制造装置A的制造设备整体进行控制的计算机。
[0097