一种聚合物柔性薄膜的制备方法与流程

文档序号:12400972阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种聚合物柔性薄膜的制备方法,其特征在于:所述方法为:

在超平滑衬底上涂覆聚合物并使其固化,得到聚合物薄膜;使聚合物薄膜发生玻璃化;对已玻璃化的聚合物薄膜的表面进行磨削处理,

其中,所述超平滑衬底的面形精度PV值为5μm~10μm,表面粗糙度小于5nm;所述聚合物为玻璃化温度低于-20℃的高分子聚合物。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:将聚合物薄膜与液氮接触使聚合物薄膜发生玻璃化。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于:在维持液氮与聚合物薄膜的表面相接触的情况下,对已玻璃化的聚合物薄膜的表面进行磨削处理。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述聚合物为聚二甲基硅氧烷、聚甲基丙烯酸甲酯、聚氯乙烯。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述在超平滑衬底上采用旋涂的方式在超平滑衬底上涂覆聚合物。

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:利用匀胶机在超平滑衬底上旋涂聚合物,匀胶机转速为500r/min~9000r/min;所述固化的温度为30℃~95℃,固化时间至少1小时。

7.根据权利要求1或3所述的方法,其特征在于:对已玻璃化的聚合物薄膜的表面进行磨削处理,使聚合物薄膜表面的面形精度PV值小于1μm,表面粗糙度小于10nm。

8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述聚合物薄膜表面发生玻璃化的步骤在下述玻璃化装置中进行:

所述玻璃化装置包括箱体(2),所述箱体(2)内置容器(6),所述容器(6)设有侧板和底板,所述底板与箱体的底板相固定;所述容器(6)的侧板与箱体的侧板高度相同,用于支撑箱盖(1);所述箱盖(1)由透明材料制得,且在箱盖(1)的中心部位设有加工孔,该加工孔用于使磨削刀具在加工时进入容器(6)内进行加工;所述容器(6)的底板中心部分固定载物台(5),载物台(5)两个侧边通过螺纹连接部件(4)固定压条(3)。

将其上附着聚合物薄膜的衬底用压条(3)固定在载物台(5)上,并用螺纹连接部件(4)紧固;将液氮以0.5L/min的速度倒入容器(6)中,直到聚合物薄膜被浸没为止,静置3~5分钟。

9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:利用超精密数控磨床对已玻璃化的聚合物薄膜进行面形以及表面粗糙度加工处理。

10.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述超平滑衬底为硅衬底、玻璃衬底。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1