技术总结
本发明涉及一种聚合物柔性薄膜的制备方法，具体涉及一种高精度聚合物柔性薄膜衬底的涂覆－超低温磨削复合制备方法，属于精密与超精密加工技术领域。一种聚合物柔性薄膜的制备方法，所述方法为在超平滑衬底上涂覆聚合物并使其固化，得到聚合物薄膜；使聚合物薄膜发生玻璃化；对已玻璃化的聚合物薄膜的表面进行磨削处理本发明所述方法实现了高精度聚合物柔性薄膜的机械加工，提高了聚合物薄膜的精度，并且使用机械加工的方法，不依赖于模板的精度，提高了加工效率。
技术研发人员：闫英;周平;张尚雄;葛琦;王惠萍;郭东明
受保护的技术使用者：大连理工大学
文档号码：201611160003
技术研发日：2016.12.15
技术公布日：2017.05.31