聚氨酯支撑垫的制备方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及一种制备聚氨醋安装垫的方法，更具体而言，设及一种容易且快速制 备聚氨醋安装垫的方法，所述聚氨醋垫具有均匀形成于其内部的长且大的孔，从而呈现低 硬度、优异的压缩率和高弹性，且可实现更均匀且高效率的抛光。
【背景技术】
[0002] 由于需要高度集成的半导体器件或显示器件中使用的基板需有精细且精确的表 面，因此各种平整化方法应用于实现运一要求。特别地，随着半导体器件或显示器件的高度 集成和高效能的发展趋势，通常使用的一种抛光方法是，通过使抛光垫和待抛光物体相对 移动，同时将包含抛光粒子和各种化学成分的浆料组合物供于抛光垫和待抛光物体之间。 在抛光方法中，为了更精确地抛光，在抛光或加工过程中，将待抛光物体固定在安装垫上， W保持固定的定位和位置不变。
[0003] 特别地，对于用作显示器的玻璃基板而言，玻璃基板的表面粗糖度和取决于定位 的差分步长(St邱difference)为重要的操控因素，并且应控制在亚微米级至几百微米的 范围内。而且，波纹度应控制在40nm水平，且特别是对于应用于TFT的玻璃基板而言，需要将 波纹度控制在约20nm。
[0004] 为了能够达到运种精确的抛光，除了控制抛光过程和设备的条件之外，安装垫应 具有高压缩率和压缩回复率，且安装垫应在整个区域具有更均匀的厚度、压力分布和张力 分布。
[0005] 然而，由于先前已知的安装垫呈现出在其内部形成的孔的不均匀的尺寸和分布， 且不具有良好的压缩率和压缩回复率，所W该安装垫不足W在要求更均匀且精确抛光的领 域内应用，例如用于显示器的玻璃基板的抛光。
[0006] 因此，需要开发一种快速且容易的制备聚氨醋安装垫的方法，所述聚氨醋安装垫 包括形成于其内部的均匀且形状规则的孔，从而表现出改进的物理性质包括压缩率和压缩 回复率等的，并且可实现更均匀且高效率的抛光。
【发明内容】
[0007] 技术问题
[000引本发明的目的在于提供一种用于容易且快速制备聚氨醋安装垫的方法，所述聚氨 醋安装垫具有在其内部均匀形成的长且大的孔，由此呈现低硬度、优异的压缩率等，且可实 现更均匀且高效率的抛光。
[0009] 技术方案
[0010] 本发明提供一种制备聚氨醋安装垫的方法，所述方法包括W下步骤:使包含聚氨 醋树脂和DMF溶剂的树脂组合物湿固化;将湿固化产物浸溃在包含酸催化剂或碱催化剂的 水溶液中。
[0011] 在下文中，将详细说明根据本发明的具体实施方案制备聚氨醋安装垫的方法和聚 氨醋安装垫。
[0012] 如本文中使用的术语"安装垫"是指起如下作用的垫:在制备用于半导体器件或显 示器件的基板的过程中，在抛光过程中用于将载体粘附或固定到待抛光的薄膜。
[0013] 根据本发明的一个实施方案，提供一种用于制备聚氨醋安装垫的方法，所述方法 包括W下步骤:使包含聚氨醋树脂和DMF溶剂的树脂组合物湿固化；W及将湿固化产物浸溃 在包含酸催化剂或碱催化剂的水溶液中。
[0014] 发明人研究了聚氨醋安装垫的制备，经实验证实，如果使聚氨醋树脂组合物湿固 化，则内部可均匀地形成长楠圆形孔，且通过将产物浸溃在具有特定溫度的包含酸催化剂 或碱催化剂的水溶液中，可使聚氨醋树脂的分子量降低，从而赋予所制备的聚氨醋安装垫 更高的压缩率和压缩回复率W及优异的弹性和安装性能，从而完成本发明。
[0015] 特别地，一个实施方案的方法可通过包括特定的浸溃步骤，在短时间内使最终获 得的聚氨醋安装垫中包含的聚氨醋本身的重均分子量降低，同时保持在湿固化过程中形成 于聚氨醋树脂内部的孔的形状。
[0016] 换言之，在根据一个实施方案提供的聚氨醋安装垫中，在具有同等水平的重均分 子量的难W包含在聚氨醋树脂中的孔的形状，例如具有大的长宽比的长楠圆形孔，可均匀 地分布在内部。而且，由于相比于通过先前已知的常规方法获得的聚氨醋树脂，根据一个实 施方案提供的聚氨醋安装垫可具有更低的密度和硬度，因此其可实现更高的压缩率和压缩 回复率等。
[0017] 因此，由于多数长楠圆形孔均匀地分布于根据本发明的一个实施方案提供的聚氨 醋安装垫的内部，所W夹杂在安装垫和待抛光薄膜之间的空气可在内部轻易转移，并且在 抛光步骤期间施加的力可均匀地分布于整个安装垫和整个待抛光物体上，由此实现更均匀 且精确地抛光。换言之，聚氨醋安装垫可具有更高的压缩率和压缩回复率W及优异的弹性 和安装性能等。
[0018] 根据一个实施方案制备聚氨醋安装垫的方法可包括，在使包含聚氨醋树脂和DMF 溶剂的树脂组合物湿固化的步骤之后，实施将湿固化产品浸溃在包含酸催化剂或碱催化剂 的水溶液中的步骤。
[0019] 如上述说明，当形成于聚氨醋树脂组合物的湿固化产物的内部的孔形状可在浸溃 过程中保持时，聚氨醋树脂的氨基甲酸乙醋键或醋键部分在浸溃步骤的水溶液中水解或醋 交换，从而降低最终获得的聚氨醋安装垫的重均分子量和硬度。
[0020] 浸溃步骤的浸溃溶液包含酸催化剂或碱催化剂，且其可还包含水、乙醇水溶液或 丙Ξ醇水溶液等。乙醇水溶液的具体实例可包括乙醇和IPA水溶液等，且乙醇的浓度可优选 在10% W下，原因在于当乙醇浓度高时，垫的表面可发生膨胀。
[0021] 而且，浸溃溶液中的酸催化剂或碱催化剂可促进聚氨醋树脂软链段的醋键部分或 氨基甲酸乙醋键部分的水解或醋交换，从而使聚氨醋安装垫的重均分子量和硬度在短时间 内降低。
[0022] 而且，包含酸催化剂或碱催化剂的水溶液即浸溃溶液的溫度可为约10°C至95°C， 优选为约20至90°C。如果水溶液的溫度太低，则分子量可能不足W降低到可实现高压缩率 的范围，并因此，聚氨醋安装垫难W具有均匀的压力分布或张力分布，并且当使用聚氨醋安 装垫时，可产生不均匀的抛光或有缺陷的产品。而且，如果水溶液的溫度太高，则可使聚氨 醋树脂层改变，w及可额外包含的粘合层等可挥发或改变。
[0023] 对于浸溃溶液，可使用已知可用于聚合物的浸溃步骤的酸催化剂，且无特别限制， 酸催化剂的具体实例可包括DBSA(十二烷基苯横酸）、SDS(十二烷基硫酸钢）、肥1、BSA(苯横 酸）、憐酸、烷基横酸、烷基苯横酸、下烧横酸、硝酸、班巧酸、其混合物或其盐，其中烷基意指 C1-18线性或支化烷基。
[0024] 而且，酸催化剂具有0.0001至3的摩尔浓度，或1MW下的浓度。如果酸催化剂的浓 度太低，则可能不会充分地促进降低聚氨醋树脂的分子量的过程，并因此，可能花费过长的 反应时间，而如果酸催化剂浓度过高，则最终制得的安装垫的表面可能产生变形，且会在洗 涂安装垫中存在困难。
[0025] 而且，对于浸溃溶液，可使用已知可用于聚合物的浸溃步骤的碱催化剂，且无特殊 限制，具体实例可包括抓A (乙二胺）、TMEDA(四甲基乙二胺）、K0H、NaOH、化HC03、化咯烧、脈、 甘氨酸、TMAH(氨氧化四甲锭）、TEAH(氨氧化四乙锭）、其混合物或其盐。
[00%] 而且，碱催化剂可具有0.0001至3的摩尔浓度。如果碱催化剂的摩尔浓度小于 0.0001，则其不能充分地促进降低聚氨醋树脂的分子量的过程，并因此，可能花费长的反应 时间，而如果碱催化剂大于3