电子部件搬运装置以及电子部件检查装置的制作方法

技术领域

本发明涉及电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。

背景技术：

现今，使用将电子部件向各种装置供给、移除的电子部件搬运装置。该电子部件搬运装置也被称作IC(Integrated Circuit)处理装置。在专利文献1公开有移动被收纳于托盘的电子部件的IC处理装置。据此，IC处理装置将电子部件从托盘供给至进行检查的测试头，并将检查结束后的电子部件收纳于托盘。在未检查托盘收纳部重叠有多个呈矩阵状地载置有未检查的电子部件的托盘。进而，部件取出部将电子部件从托盘移出，并且部件供给部将电子部件供给至测试头。

托盘转送部将电子部件被移出后的空的托盘移动至空托盘收纳部、合格部件托盘收纳部、不合格部件托盘收纳部。该未检查托盘收纳部、空托盘收纳部、合格部件托盘收纳部、不合格部件托盘收纳部沿直线配置。进而，托盘转送部通过沿在一个方向延伸的导轨部件移动而能够将托盘移动至各托盘收纳部。

专利文献1：日本特开2010－151589号公报

专利文献1所示的现有的IC处理装置没有识别IC、CIS(Contact Image Sensor)等电子部件的识别编号的功能。因此，存在即便错误的电子部件进入IC处理装置、也直接将其搬运至检查装置而进行检查的情况，无法得到正常的检查结果。因此，本申请发明提供能够通过识别各个IC的识别编号来使错误的电子部件不流动的电子部件搬运装置。

技术实现要素：

本发明是为了解决上述的课题而完成的，能够作为以下的方式或者应用例来实现。

应用例1、

本应用例涉及的电子部件搬运装置的特征在于，具备：识别信息检测部，该识别信息检测部检测呈现于电子部件的识别信息；个体识别部，该个体识别部使用上述识别信息进行上述电子部件的个体识别；以及搬运机构，该搬运机构能够将上述电子部件搬运至规定的场所。

根据本应用例，在电子部件设置有识别信息，识别信息检测部检测识别信息。进而，个体识别部根据识别信息识别电子部件。进而，搬运机构将电子部件搬运至规定的场所。因此，电子部件搬运装置能够识别电子部件的识别信息。结果，电子部件搬运装置能够避免将错误的电子部件搬运至规定的场所。

应用例2

在上述应用例涉及的电子部件搬运装置的基础上，其特征在于，具备：容器，该容器能够在第一方向以及与上述第一方向交叉的第二方向载置多个上述电子部件；第一移动部，该第一移动部使上述容器沿上述第一方向移动；以及第二移动部，该第二移动部使上述识别信息检测部沿上述第二方向移动。

根据本应用例，电子部件被载置于容器，该容器设置于电子部件搬运装置。容器能够在第一方向以及与第一方向交叉的第二方向载置多个电子部件。电子部件搬运装置具备第一移动部以及第二移动部。第一移动部使容器沿第一方向移动。第二移动部使识别信息检测部沿与第一方向交叉的第二方向移动。因此，电子部件搬运装置能够通过驱动第一移动部和第二移动部使电子部件和识别信息检测部在二维上相对移动。因此，即便在容器上呈多列地载置电子部件时，电子部件搬运装置也能够识别各电子部件的识别信息。结果，能够识别设置于容器的电子部件的全部识别信息。

应用例3

在上述应用例涉及的电子部件搬运装置的基础上，其特征在于，基于利用上述个体识别部得到的识别结果，切换将上述电子部件搬运至上述规定的场所、或者不搬运的情况。

根据本应用例，个体识别部进行电子部件的个体识别，进而，基于得到的识别结果，在对电子部件实施规定的处理时，搬运机构将电子部件搬运至上述规定的场所。在不对电子部件实施规定的处理时，不搬运电子部件。因此，电子部件搬运装置能够可靠地避免对错误的电子部件实施规定的处理并使之流动。

应用例4

在上述应用例涉及的电子部件搬运装置的基础上，其特征在于，上述第二移动部能够在与使上述识别信息检测部移动的时刻不同的时刻使上述容器沿上述第二方向移动。

根据本应用例，电子部件搬运装置具备第二移动部。第二移动部使容器沿第二方向移动。由此，能够将容器从第一移动部除去。进而，第二移动部在不同时刻使容器和识别信息检测部移动。因此，与设置用于移动容器的部位和用于移动识别信息检测部的部位两个部位相比，能够形成简易的构造。结果，能够生产率良好地制造电子部件搬运装置。

应用例5

在上述应用例涉及的电子部件搬运装置的基础上，其特征在于，具有输出上述个体识别的结果的信息输出部。

根据本应用例，信息输出部输出个体识别的结果。因此，能够活用电子部件的识别信息。

应用例6

在上述应用例涉及的电子部件搬运装置的基础上，其特征在于，上述信息输出部具有显示上述个体识别的结果的信息显示部。

根据本应用例，信息显示部显示个体识别的结果。因此，操作者能够确认电子部件的识别信息而进行与识别信息的显示相应的对应。

应用例7

在上述应用例涉及的电子部件搬运装置的基础上，其特征在于，上述信息输出部具有将上述个体识别的结果作为信号输出的输出接口。

根据本应用例，输出接口将个体识别的结果作为信号输出。因此，输入信号的设备能够确认电子部件的个体识别的结果而进行与识别信息相应的对应。

应用例8

本应用例涉及的电子部件搬运装置的特征在于，具备：图像拍摄部，该图像拍摄部拍摄呈现于电子部件的识别信息来作为图像；数据转换部，该数据转换部将利用上述图像拍摄部拍摄到的上述识别信息转换为图像数据；以及个体识别部，该个体识别部使用由上述数据转换部转换后的图像数据进行上述电子部件的个体识别。

根据本应用例，图像拍摄部拍摄呈现于电子部件的识别信息来作为图像。其次，数据转换部对利用图像拍摄部拍摄到的识别信息进行数据转换。接着，个体识别部使用利用数据转换部转换后的数据进行电子部件的个体识别。因此，电子部件搬运装置能够识别电子部件的识别信息。结果，电子部件搬运装置能够避免对错误的电子部件进行规定的处理并使之流动。

应用例9

在上述应用例涉及的电子部件搬运装置的基础上，其特征在于，上述识别信息包括文字，上述个体识别部具有将上述图像数据作为文字进行识别的文字识别功能。

根据本应用例，个体识别部具有文字识别功能。因此，个体识别部能够在识别信息包含文字时将文字的图像数据作为文字加以识别。

应用例10

在上述应用例涉及的电子部件搬运装置的基础上，其特征在于，上述识别信息包括条形码，上述识别信息检测部具有读取上述条形码的条形码读码器。

根据本应用例，识别信息检测部具有条形码读码器。另外，条形码读码器所检测的条形码包括一维的条形码和二维的条形码。因此，即便在识别信息包含条形码时也能够容易地从识别信息读取作为个体识别的信息。

应用例11

在上述应用例涉及的电子部件搬运装置的基础上，其特征在于，具有：信息输入部，该信息输入部输入与上述识别信息进行比较的比较信息；以及警报输出部，该警报输出部在上述比较信息与上述识别信息不同时输出警报信息。

根据本应用例，在信息输入部中输入比较信息。进而，个体识别部进行个体识别。信息比较部对比较信息和识别信息进行比较，且在二者不同时输出警报信息。因此，电子部件搬运装置能够在预定要处理的电子部件与所设置的电子部件不同时进行与该状况相应的对应。

应用例12

本应用例涉及的电子部件检查装置的特征在于，具备：识别信息检测部，该识别信息检测部检测呈现于电子部件的识别信息；个体识别部，该个体识别部使用上述识别信息进行上述电子部件的个体识别；检查部，该检查部检查上述电子部件；以及搬运机构，该搬运机构将上述电子部件搬运至上述检查部。

根据本应用例，在电子部件设置有识别信息，识别信息检测部检测识别信息。进而，个体识别部根据识别信息识别电子部件。进而，搬运机构将电子部件搬运至实施规定的处理的位置。因此，电子部件搬运装置能够识别电子部件的识别信息。搬运机构将电子部件搬运至检查部，检查部检查电子部件。结果，电子部件检查装置能够避免对错误的电子部件进行检查。

附图说明

图1是示出第一实施方式涉及的部件检查装置的构造的示意俯视图。

图2的(a)以及(b)是示出部件检查装置的构造的示意侧视图。

图3是示出部件检查装置的构造的概略立体图。

图4是用于对电子部件进行说明的示意俯视图。

图5是部件检查装置的电气控制框图。

图6是示出电子部件的检查方法的流程图。

图7是用于对电子部件的检查方法进行说明的示意图。

图8是用于对电子部件的检查方法进行说明的示意图。

图9涉及第二实施方式，(a)是用于对电子部件进行说明的示意俯视图，(b)是示出部件检查装置的构造的示意侧视图。

图10是用于对变形例涉及的电子部件进行说明的示意俯视图。

具体实施方式

在本实施方式中，对具备部件搬运装置的部件检查装置和该部件搬运装置搬运部件的方法的特征例进行说明。以下，根据附图对实施方式进行说明。另外，为了使各附图中的各部件在各附图上为能够识别的程度的大小，使各部件的比例尺不同而进行图示。

第一实施方式

根据图1～图8对第一实施方式涉及的部件检查装置进行说明。

部件检查装置

图1是示出部件检查装置的构造的示意俯视图，是将罩拆下后的图。图2的(a)以及图2的(b)是示出部件检查装置的构造的示意侧视图。图3是示出部件检查装置的构造的概略立体图。如图1～图3所示，部件检查装置1具有长方形的板状的基台2。将基台2的俯视图中的基台2的正交的两边延伸的方向设为X方向和Y方向，将铅垂方向设为－Z方向。部件检查装置1主要由检查电子部件的检查部1a和作为将部件搬运至检查部1a的部件搬运装置的搬运部1b构成。

在基台2上的X方向侧设置有沿X方向较长地延伸的6个传送带。传送带从－Y方向侧起依次是作为第一移动部的第一输送机3、第二输送机4、第三输送机5、第四输送机6、第五输送机7、第六输送机8。第一输送机3是供件用的传送带，在第一输送机3上载置有作为容器的托盘9。托盘9被分隔板划分为5行5列的矩阵状，在各区域载置有电子部件10。因此，托盘9能够在正交的两个方向排列载置电子部件10。

第一输送机3在内部具有马达、减速器、带轮3a，马达使带轮以被减速器减速后的转速转动。进而，与带轮的外周接触地设置有带3b，马达使带轮转动从而使带移动。进而，载置于第一输送机3上的托盘9与带一起沿X方向往复移动。将第一输送机3使托盘9移动的X方向设为第一方向3c。第二输送机4～第六输送机8为与第一输送机3相同的构造，与第一输送机3同样地能够使托盘9沿X方向往复移动。

第二输送机4以及第三输送机5为放置空的托盘9的场所，第四输送机6为放置收纳被判定为不合格品的电子部件10的托盘9的场所。进而，第五输送机7以及第六输送机8为放置收纳被判定为合格品的电子部件10的托盘9的场所。

电子部件10的形态虽然没有特别限定，但在本实施方式中，例如，电子部件10能够适应扁平封装等各种封装方式的IC(Integrated Circuit，集成电路)、CIS、液晶面板、液晶模块以及电子模块等。进而，部件检查装置1为检查电子部件10的电特性并区分合格品和不合格品的装置。

在与第一输送机3～第六输送机8对置的场所设置有作为第二移动部的托盘搬运部11。托盘搬运部11具备跨越第一输送机3～第六输送机8设置的门型的托盘搬运支承部12。托盘搬运支承部12形成为在Y方向上较长的形状，在托盘搬运支承部12的－X方向侧设置有沿Y方向延伸的导轨13。

在导轨13的－X方向侧设置有作为沿导轨13移动的移动机构的托盘移动工作台14。将托盘移动工作台14移动的Y方向设为第二方向14a。第二方向14a是与第一方向3c正交的方向，第一方向3c以及第二方向14a为在托盘9排列电子部件10的方向。在托盘搬运支承部12的内部设置有使托盘移动工作台14移动的直动机构。该直动机构的种类并没有特别限定，能够使用线性马达；马达和滚珠丝杠的组合；齿条、小齿轮以及马达的组合等各种方式。在本实施方式中，例如采用伺服马达和滚珠丝杠的组合。

在托盘移动工作台14的－X方向侧的面，经由托盘把持支承部15设置有托盘把持部16。托盘把持部16具有升降装置和真空卡盘。真空卡盘具有吸盘，吸盘通过配管与真空泵连接。进而，升降装置具有使真空卡盘升降的功能。升降装置使真空卡盘下降而使真空卡盘的吸盘与托盘9接触。进而，通过使吸盘与托盘9之间成为真空，真空卡盘把持托盘9。其后，升降装置使托盘9上升，从而使托盘9从第一输送机3离开，使得托盘移动工作台14能够使托盘9沿Y方向移动。托盘搬运部11由托盘搬运支承部12、导轨13、托盘移动工作台14、托盘把持支承部15以及托盘把持部16等构成。

在托盘移动工作台14的－X方向侧的面，除了设置有托盘把持部16以外还设置有作为识别信息检测部以及图像拍摄部的拍摄装置17。进而，托盘移动工作台14使拍摄装置17沿第二方向14a往复移动。托盘移动工作台14所具备的移动机构使拍摄装置17和托盘把持部16移动。换言之，拍摄装置17和托盘把持部16具有共用的移动机构。

拍摄装置17在内部组装有物镜、自动对焦装置、同轴落射照明装置和CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件)拍摄元件。拍摄装置17的物镜朝向电子部件10设置。首先，从同轴落射照明装置射出的光照射电子部件10。电子部件10所反射的光通过物镜输入至拍摄装置17。进而，自动对焦装置在CCD拍摄元件成像。CCD拍摄元件将图像转换为电信号，从而拍摄装置17能够拍摄电子部件10。

在第一输送机3～第六输送机8的－X方向侧设置有作为搬运机构的部件移除供件部20。部件移除供件部20具有设置在基台2上的门型的部件搬运支承部21。部件搬运支承部21由立设于基台2的一对支柱部21a和架设于支柱部21a之间的架桥部件21b构成。在架桥部件21b的基台2侧的面设置有沿Y方向延伸的导轨22。进而，在架桥部件21b的导轨22悬吊设置有长方体状的供件Y工作台23以及移除Y工作台24。架桥部件21b内置有直动机构，该直动机构使供件Y工作台23以及移除Y工作台24沿Y方向往复移动。另外，架桥部件21b的直动机构能够使用与驱动托盘移动工作台14的直动机构相同的机构。

在供件Y工作台23的基台2侧设置有沿X方向延伸的第一支承梁25，在第一支承梁25设置有沿X方向延伸的导轨26。进而，在第一支承梁25的导轨26悬吊设置有长方体状的供件X工作台27。第一支承梁25内置有直动机构，该直动机构使供件把持部28沿X方向往复移动。另外，第一支承梁25的直动机构能够使用与驱动托盘移动工作台14的直动机构相同的机构。在供件X工作台27的基台2侧设置有供件把持部28，供件把持部28具有升降装置以及真空卡盘。该升降装置以及真空卡盘与托盘把持部16所具备的升降装置以及真空卡盘构造相同，省略说明。由供件Y工作台23、第一支承梁25、供件X工作台27以及供件把持部28等构成作为搬运机构的供件部29。

在供件把持部28中，升降装置使真空卡盘下降而使真空卡盘的吸盘与电子部件10接触。进而，通过使吸盘与电子部件10之间成为真空，真空卡盘把持电子部件10。其后，升降装置使电子部件10上升，从而供件Y工作台23以及供件X工作台27能够使电子部件10沿X方向以及Y方向移动。

同样，在移除Y工作台24的基台2侧设置有沿X方向延伸的第二支承梁30，在第二支承梁30的基台2侧设置有沿X方向延伸的导轨26。进而，在第二支承梁30的导轨26悬吊设置有长方体状的移除X工作台31。第二支承梁30内置有直动机构，该直动机构使移除X工作台31沿X方向往复移动。另外，第二支承梁30的直动机构能够使用与驱动托盘移动工作台14的直动机构相同的机构。在移除X工作台31的基台2侧设置有移除把持部32，移除把持部32具备升降装置以及真空卡盘。该升降装置以及真空卡盘与托盘把持部16所具备的升降装置以及真空卡盘构造相同，省略说明。由移除Y工作台24、第二支承梁30、移除X工作台31以及移除把持部32等构成移除部33。

在移除把持部32中，升降装置使真空卡盘下降而使真空卡盘的吸盘与电子部件10接触。进而，通过使吸盘与电子部件10之间成为真空，真空卡盘把持电子部件10。其后，升降装置使电子部件10上升，从而移除Y工作台24以及移除X工作台31能够使电子部件10沿X方向以及Y方向移动。

在部件搬运支承部21的－X方向、且在基台2上设置有检查用插座34。检查用插座34是检查电子部件10的场所。在检查用插座34形成有形状与电子部件10的外形形状几乎相同的凹部，能够将电子部件10设置于该凹部。进而，在凹部设置有能够与电子部件10的端子电接触的探针。在检查用插座34设置有4个凹部，能同时检查4个电子部件10。

在检查用插座34的X方向、且在检查用插座34与部件搬运支承部21之间设置有一对导轨35。导轨35沿Y方向延伸设置，在导轨35上设置有沿导轨35移动的第一往复工作台36。在基台2上，在一对导轨35之间内置有直动机构，该直动机构使第一往复工作台36沿Y方向往复移动。另外，导轨35之间的直动机构能够使用与驱动托盘移动工作台14的直动机构相同的机构。

在第一往复工作台36的面向Z方向的面设置有8个用于设置电子部件10的凹部37。其中4个凹部37配置于第一往复工作台36的－Y方向侧，将这些凹部37设为供件用凹部37a。剩余的4个凹部37配置于第一往复工作台36的Y方向侧，将这些凹部37设为移除用凹部37b。当移除用凹部37b位于检查用插座34旁边时，在基台2的俯视图中，供件用凹部37a位于供件部29的供件把持部28能够移动到的场所。同样，当供件用凹部37a位于检查用插座34旁边时，在基台2的俯视图中，移除用凹部37b位于移除部33的移除把持部32能够移动到的场所。

在检查用插座34的－X方向、且在检查用插座34与基台2的端部之间设置有一对导轨40。导轨40沿Y方向延伸设置，在导轨40上设置有沿导轨40移动的第二往复工作台41。基台2在一对导轨40之间内置有直动机构，该直动机构使第二往复工作台41沿Y方向往复移动。另外，导轨40之间的直动机构能够使用与驱动托盘移动工作台14的直动机构相同的机构。

在第二往复工作台41的面向Z方向的面设置有8个用于设置电子部件10的凹部42。其中4个凹部42配置于第二往复工作台41的－Y方向侧，将这些凹部42设为供件用凹部42a。剩余的4个凹部42配置于第二往复工作台41的Y方向侧，将这些凹部42设为移除用凹部42b。当移除用凹部42b位于检查用插座34旁边时，在基台2的俯视图中，供件用凹部42a位于供件部29的供件把持部28能够移动到的场所。同样，当供件用凹部42a位于检查用插座34旁边时，在基台2的俯视图中，移除用凹部42b位于移除部33的移除把持部32能够移动到的场所。

在与第一往复工作台36以及第二往复工作台41对置的场所设置有作为搬运机构的部件按压装置43。部件按压装置43具备横跨第一往复工作台36以及第二往复工作台41设置的门型的按压支承部44。按压支承部44形成为在X方向较长的形状，在按压支承部44的Y方向侧设置有沿X方向延伸的导轨45。

在导轨45的Y方向侧设置有沿导轨45移动的测定X工作台46。在按压支承部44的内部设置有使测定X工作台46移动的直动机构。另外，测定X工作台46的直动机构能够使用与驱动托盘移动工作台14的直动机构相同的机构。

在测定X工作台46的Y方向侧设置有检查部件把持部47，检查部件把持部47具备升降装置以及真空卡盘。该升降装置以及真空卡盘是与托盘把持部16所具备的升降装置以及真空卡盘相同的构造，省略说明。检查部件把持部47的真空卡盘具备4个吸盘，能够一次把持4个电子部件10。

在检查部件把持部47中，升降装置使真空卡盘下降而使真空卡盘的吸盘与电子部件10接触。进而，通过使吸盘与电子部件10之间成为真空，真空卡盘把持电子部件10。其后，升降装置使电子部件10上升，从而测定X工作台46能够使电子部件10沿X方向往复移动。

进而，部件按压装置43把持载置于第一往复工作台36的供件用凹部37a的电子部件10并将其移动至检查用插座34。进而，部件按压装置43将电子部件10按压于检查用插座34。此时，电子部件10的端子被按压于探针，因此端子与探针可靠地电连接。维持该状态并进行电子部件10的电特性检查。进而，电子部件10的电特性检查结束之后，部件按压装置43将电子部件10移动至第一往复工作台36的移除用凹部37b。按照相同的步骤，检查部件把持部47将载置于第二往复工作台41的电子部件10移动至检查用插座34，并通过将电子部件10按压于检查用插座34来辅助电特性检查。

供件部29、第一往复工作台36、第二往复工作台41以及部件按压装置43的搬运机构朝实施规定的处理的位置搬运。该规定的处理是如下处理等：为了将电子部件10插入检查用插座34而改变电子部件10的朝向的处理；将电子部件10插入检查用插座34的处理；以及使检查电流流入电子部件10而进行检查的处理。搬运部1b主要是用于IC测试处理装置的部件，并不是单纯地用传送带搬运IC的装置。

在基台2的－X方向侧设置有电特性检查装置50。电特性检查装置50与设置于检查用插座34的探针连接。进而，电特性检查装置50是与电子部件10进行电信号的相互通信、进行电子部件10的电特性的优劣判定的装置。在基台2的X方向侧设置有控制部51。控制部51是对部件检查装置1的动作进行控制的装置。在控制部51搭载有作为信息输出部、信息显示部以及警报输出部的信息显示装置51a，以及作为信息输入部的信息输入装置51b。此外，在位于第三输送机5的Z方向的场所设置有信息显示装置48。信息显示装置48以及信息显示装置51a是液晶显示装置等显示装置，是显示通知操作者的信息的装置。信息输入装置51b是键盘、鼠标垫等装置，是用于供操作者输入指示给控制部51的内容的装置。此外，信息输入装置51b具备与外部设备相互通信而输入数据的功能。

在基台2的X方向侧、且是在Y方向侧的角设置有警告灯52。警告灯52是在混入有不是预定检查的电子部件10时闪烁来促使操作者注意的装置。在部件检查装置1的Z方向侧设置有罩53，信息显示装置48被固定于罩53。罩53由光能够透射的树脂形成，能够通过罩53观察内部。进而，罩53能够防止灰尘、尘埃侵入部件检查装置1。

在罩53的Z方向侧设置有空气供给部54。空气供给部54具备防止灰尘、尘埃通过的过滤器和风扇。进而，空气供给部54将灰尘、尘埃被除去后的空气供给至部件检查装置1。空气从空气供给部54流入罩53的内部，并从基台2以及基台2与罩53之间流出。由此，灰尘、尘埃不会侵入部件检查装置1。

检查用插座34具备加热器，能够对电子部件10进行加热。由此，能够以规定的温度检查电子部件10。进而，以包围检查用插座34以及部件按压装置43的方式设置有分隔板55。分隔板55抑制热从检查用插座34的周围扩散。由此，对电子部件10进行加热的热滞留在检查用插座34的周围。

部件检查装置1中的检查用插座34以及电特性检查装置50构成检查部1a。进而，部件检查装置1中的在托盘9和检查用插座34之间搬运电子部件10的各工作台以及输送机构成搬运部1b。

图4是用于对电子部件进行说明的示意俯视图。如图4所示，在电子部件10印刷有表示制造商名10a、品名10b、作为识别信息的个体识别编号10c的文字列。另外，识别信息是指在电子部件10标记的商标(Logo)、标记等图形、制造商名等文字信息、电子部件的型号、序列号、批号等数字信息之类的，能够识别该电子部件和其它电子部件的信息。文字的内容、配置等属性没有特别限定，针对每个电子部件10进行设定。制造商名10a、品名10b、个体识别编号10c的文字列优选形成为拍摄装置17能够拍摄的色调。在本实施方式中，例如，背景为黑色，文字颜色为白色。

图5是部件检查装置的电气控制框图。在图5中，部件检查装置1具备控制部件检查装置1的动作的控制部51。进而，控制部51具备作为处理器进行各种运算处理的CPU(中央运算处理装置)58、和存储各种信息的存储器59。此外，工作台驱动装置60、输送机驱动装置61、把持部驱动装置62、拍摄装置17、信息输入装置51b、信息显示装置48、信息显示装置51a、作为信息输出部以及输出接口的信息输出装置65、电特性检查装置50经由输入输出接口66以及数据总线67与CPU 58连接。

工作台驱动装置60对托盘移动工作台14、设置于托盘把持部16的托盘升降工作台68进行驱动。各工作台具备检测其位置的装置。进而，工作台驱动装置60通过使工作台移动到移动目的地场所，能够使托盘把持部16移动并停止在希望的场所。

此外，工作台驱动装置60对供件X工作台27、供件Y工作台23、设置于供件把持部28的供件Z工作台69进行驱动。此外，工作台驱动装置60对移除X工作台31、移除Y工作台24、设置于移除把持部32的移除Z工作台70进行驱动。进而，工作台驱动装置60通过使工作台移动至移动目的地场所，能够使供件把持部28以及移除把持部32移动并停止在希望的场所。

此外，工作台驱动装置60对第一往复工作台36、第二往复工作台41、测定X工作台46、设置于检查部件把持部47的测定Z工作台71进行驱动。进而，工作台驱动装置60通过驱动各工作台能够使电子部件10在第一往复工作台36、第二往复工作台41、检查用插座34之间移动。

输送机驱动装置61驱动第一输送机3～第六输送机8。输送机驱动装置61通过驱动各输送机并使输送机移动直至托盘9到达移动目的地场所，能够使托盘9移动并停止在希望的场所。

把持部驱动装置62对托盘把持部16、供件把持部28、移除把持部32以及检查部件把持部47进行驱动。把持部驱动装置62驱动与各把持部连接的真空泵。进而，对设置于各把持部与真空泵之间的阀进行驱动来开闭阀。由此，把持部驱动装置62能够使各把持部在把持电子部件10之后释放。信息输出装置65是与外部设备连接、并具有将信息转换为电信号而向外部设备输出的接口功能的装置。

存储器59是包括RAM、ROM等之类的半导体存储器、硬盘、DVD－ROM等之类的外部存储装置的概念。在功能上，设定有存储记载有部件检查装置1的动作的控制步骤的程序软件72的存储区域、存储拍摄装置17拍摄的图像的数据亦即图像数据73的存储区域。除此之外，还设定有存储用于判定电子部件10是否是预定检查的部件所使用的数据亦即作为比较信息的比较判定数据74的存储区域。该比较判定数据74包括预定检查的电子部件10的个体识别编号10c的一览表。使用信息输入装置51b输入比较判定数据74。除此之外，还设定有存储检测到的设置于电子部件10的个体识别编号10c的数据亦即作为识别信息的个体识别数据75的存储区域。除此之外，还设定有作为CPU 58所使用的工作区域、临时文件等发挥功能的存储区域、其它各种存储区域。

CPU 58根据存储于存储器59内的程序软件72进行检查电子部件10的控制。作为具体的功能实现部具有工作台控制部76。工作台控制部76与工作台驱动装置60进行相互通信而取得各工作台的位置信息。进而，工作台控制部76向工作台驱动装置60输出指令信号，以使得各工作台移动并停止在希望的场所。此外，工作台控制部76与输送机驱动装置61进行相互通信而取得第一输送机3～第六输送机8的位置信息。进而，工作台控制部76向输送机驱动装置61输出指令信号，以使得各输送机移动并停止在希望的场所。

除此之外，CPU 58具有把持控制部77。把持控制部77使把持部驱动装置62驱动托盘把持部16、供件把持部28、移除把持部32、检查部件把持部47。进而，进行使各把持部吸附电子部件10的动作和释放的动作的控制。进而，工作台控制部76与把持控制部77联动来搬运电子部件10。

除此之外，CPU 58具有数据转换部78。数据转换部78将拍摄装置17输出的电信号转换为数字数据并将图像数据73存储于存储器59。除此之外，CPU 58具有作为个体识别部的个体识别编号运算部79。个体识别编号运算部79进行使用拍摄装置17拍摄到的图像数据73提取个体识别数据75的运算。设置于电子部件10的个体识别编号10c由文字和数字构成。进而，个体识别编号运算部79具有将个体识别编号10c的图像数据73作为文字加以识别并将其转换为文字数据的文字识别功能，并将包括计算出的文字信息的个体识别数据75存储于存储器59。通过个体识别数据75对电子部件10进行个体识别。

除此之外，CPU 58具有作为信息比较部的个体识别编号判定部80。个体识别编号判定部80对预先存储于存储器59的比较判定数据74与个体识别数据75进行比较。进而，判定所计算出的个体识别数据75与比较判定数据74是否一致。在个体识别数据75与比较判定数据74不一致时输出警报信息。

除此之外，CPU 58具有信息显示控制部81。信息显示控制部81在信息显示装置48以及信息显示装置51a显示所计算出的个体识别数据75。此外，信息显示控制部81在信息显示装置48以及信息显示装置51a显示个体识别编号判定部80进行判定的结果。在个体识别数据75与比较判定数据74不一致时，信息显示控制部81使警告灯52闪烁。进而，信息显示控制部81在信息显示装置48以及信息显示装置51a显示表示个体识别数据75与比较判定数据74不一致的警报信息来通知操作者。

除此之外，CPU 58具有信息输出控制部82。信息输出控制部82经由信息输出装置65向外部设备输出个体识别数据75以及个体识别编号判定部80进行判定的结果。由此，外部设备能够活用个体识别数据75，进行与个体识别编号判定部80进行判定的结果对应的动作。

另外，在本实施方式中，上述的各功能使用CPU 58并以程序软件来实现，但在上述的各功能能够通过不使用CPU 58的单独的电子电路(硬件)来实现的情况下，也能够使用这样的电子电路。

电子部件的检查方法

接下来，通过图6～图8对使用上述的部件检查装置1检查电子部件10的方法进行说明。图7以及图8是用于说明电子部件的检查方法的示意图。

图6是使出电子部件的检查方法的流程图。在图6中，步骤S1相当于比较信息输入工序。是操作者使用信息输入装置51b输入比较判定数据74的工序。接下来移至步骤S2。步骤S2相当于托盘设置工序。该工序是操作者将托盘9设置于第一输送机3的工序。接下来移至步骤S3。步骤S3相当于标记拍摄工序。该工序是拍摄装置17拍摄电子部件10的工序。接下来移至步骤S4。步骤S4相当于识别信息运算工序。该工序是个体识别编号运算部79使用图像来运算个体识别数据75的工序。接下来移至步骤S5。

步骤S5是相当于个体识别判定工序的工序。在该工序中，个体识别编号判定部80对比较判定数据74和个体识别数据75进行比较。数据不一致时移至步骤S10。数据一致时移至步骤S6。步骤S6是相当于确认结束判定工序的工序。在该工序中，CPU 58判断设置于托盘9的电子部件10是否全确认过。当在托盘9内有未确认的电子部件10时移至步骤S3。当托盘9内的电子部件10全确认过时移至步骤S7。

步骤S7相当于检查工序。在该工序中，搬运部1b将电子部件10搬运至检查用插座34，检查部1a检查电子部件10的电特性。进而，是搬运部1b将检查后的电子部件10收纳于托盘9的工序。接下来移至步骤S8。步骤S8相当于空托盘移动工序。该工序是托盘搬运部11在第一输送机3～第六输送机8之间移动空的托盘9的工序。接下来移至步骤S9。步骤S9相当于托盘除去工序。该工序是操作者从第四输送机6～第六输送机8除去收纳有检查完毕的电子部件10的托盘9的工序。从步骤S5分支出的步骤S10相当于异常报告工序。该工序是通知操作者比较判定数据74与个体识别数据75不一致的情况的工序。通过以上的工序，检查电子部件10的工序结束。

接下来，使用图7以及图8，与图6所示的步骤对应地对电子部件10的检查方法详细地进行说明。首先，在步骤S1的比较信息输入工序中，操作者使用信息输入装置51b输入预定检查的品名10b以及个体识别编号10c。输入的数据作为比较判定数据74的一览表存储于存储器59。

个体识别编号10c由文字和数字构成。在设置于一个托盘9的多个电子部件10的个体识别编号10c包含连续的数字时，操作者也可以输入连续的数字的最初和最后的数字，CPU 58运算中间的数字而进行登记。除此之外，当在其他设备已存储有个体识别编号10c的数据时，也可以通过经由信息输入装置51b进行相互通信来输入数据并作为比较判定数据74存储于存储器59。

图7的(a)是与步骤S2的托盘设置工序对应的图。如图7的(a)所示，操作者在托盘9排列设置电子部件10。该电子部件10是在步骤S1的比较信息输入工序中登记了比较判定数据74的部件，是接下来预定进行电特性检查的部件。接下来，操作者将设置有电子部件10的托盘9载置于第一输送机3。

图7的(b)以及图7的(c)是与步骤S3的标记拍摄工序对应的图。如图7的(b)所示，在步骤S3中，工作台控制部76使输送机驱动装置61驱动第一输送机3。进而，工作台控制部76使电子部件10沿第一方向3c移动。此外，工作台控制部76使工作台驱动装置60驱动托盘移动工作台14。进而，工作台控制部76使拍摄装置17沿第二方向14a移动。由此，工作台控制部76能够使拍摄装置17和检查对象的电子部件10移动至对置的场所。接下来，拍摄装置17使同轴落射照明装置射出光来照射电子部件10，并驱动自动对焦装置使焦点落在电子部件10。进而，拍摄电子部件10。

结果，如图7的(c)所示，拍摄到了拍摄电子部件10而得的图像84。在图像84显像有与制造商名10a对应的制造商名像84a、与品名10b对应的品名像84b、与个体识别编号10c对应的个体识别编号像84c。进而，数据转换部78将表示图像的模拟电信号转换为数字数据而形成图像数据73。数据转换部78将图像数据73存储于存储器59。

在步骤S4的识别信息运算工序中，首先，个体识别编号运算部79从图像84提取个体识别编号像84c。因为个体识别编号像84c的位置是预先设定的，所以能够通过将规定的遮盖图像与图像84合并来提取个体识别编号像84c。接下来，个体识别编号运算部79以个体识别编号像84c的连续的线段为线索将个体识别编号像84c分离成单个文字的图像。接着，判断文字的图像接近数字的“1”～“9”和字母表的“A”～“Z”中的哪个文字。此时，计算文字的图像所包含的纵线的数量、横线的数量、斜线的数量、曲线的数量、交点的数量等特征量。在存储器59预先存储有各文字以及数字的特征量。进而，比较文字的像的特征量和已知的文字的特征量来进行判定。这样，个体识别编号运算部79根据个体识别编号像84c计算个体识别数据75并存储于存储器59。另外，根据个体识别编号像84c计算个体识别数据75的方法并不局限于该方法，能够使用公知的方法。

在步骤S5的个体识别判定工序中，检索在步骤S4计算出的个体识别数据75是否在比较判定数据74的一览表中。当个体识别数据75在比较判定数据74中时，判断为正常状态。进而，移至步骤S6的确认结束判定工序。在步骤S6中，判断设置于托盘9的电子部件10是否已全部确认。进而，在设置于托盘9的电子部件10全部确认之前，反复进行步骤S3～步骤S5。在步骤S6中，当设置于托盘9的电子部件10已全部确认时，移至步骤S7。

在步骤S5中，当个体识别数据75不在比较判定数据74中时，判断为混入了并未预定检查的电子部件10的异常状态，并移至步骤S10。在步骤S10的异常报告工序中，在信息显示装置48以及信息显示装置51a显示混入了预定外的电子部件10的情况。此外，警告灯52闪烁从而通知操作者为异常状态。此外，也可以从信息输出控制部82与外部设备相互通信来通知为异常状态。无论在哪种情况下，操作者能够进行更换电子部件10的作业而修正为在托盘9设置有预定的电子部件10的正常状态。

图7的(d)～图8的(b)是与步骤S7的检查工序对应的图。如图7的(d)所示，在步骤S7中，工作台控制部76使输送机驱动装置61驱动第一输送机3，从而使托盘9接近部件移除供件部20。接下来，工作台控制部76通过工作台驱动装置60使第一往复工作台36移动。进而，使供件用凹部37a移动至供件把持部28的移动范围内。

接着，工作台控制部76以及把持控制部77使工作台驱动装置60以及把持部驱动装置62驱动供件部29，将托盘9上的4个电子部件10移动至供件用凹部37a。接下来，如图8的(a)所示，工作台控制部76通过工作台驱动装置60使第一往复工作台36移动，使供件用凹部37a移动至检查用插座34的横向。

接着，工作台控制部76以及把持控制部77使工作台驱动装置60以及把持部驱动装置62驱动部件按压装置43。进而，把持控制部77使检查部件把持部47把持电子部件10。接下来，工作台控制部76使测定X工作台46以及测定Z工作台71移动，将电子部件10从供件用凹部37a移动至检查用插座34。

接着，工作台控制部76通过部件按压装置43将电子部件10按压于检查用插座34。由此，检查用插座34的探针与电子部件10的端子导通。接下来，电特性检查装置50与电子部件10相互通信来检查电子部件10的电特性。

在电特性检查装置50检查电子部件10的电特性的期间，工作台控制部76使第一往复工作台36移动而使移除用凹部37b移动至检查用插座34的横向。接着，工作台控制部76使第二往复工作台41移动。进而，使供件用凹部42a移动至供件把持部28的移动范围内。接下来，工作台控制部76以及把持控制部77使工作台驱动装置60以及把持部驱动装置62驱动供件部29，将托盘9上的4个电子部件10移动至第二往复工作台41的供件用凹部42a。接下来，工作台控制部76通过工作台驱动装置60使第二往复工作台41移动，使供件用凹部42a移动至检查用插座34的横向。进而，搬运部1b待机，直至电子部件10的检查结束。

电子部件10的检查结束之后，工作台控制部76通过工作台驱动装置60使测定X工作台46以及测定Z工作台71移动，将电子部件10从检查用插座34移动至第一往复工作台36的移除用凹部37b。

接着，工作台控制部76以及把持控制部77使工作台驱动装置60以及把持部驱动装置62驱动部件按压装置43。进而，把持控制部77使检查部件把持部47把持位于供件用凹部42a的电子部件10。接下来，工作台控制部76通过工作台驱动装置60使测定X工作台46以及测定Z工作台71移动，将电子部件10从供件用凹部42a移动至检查用插座34。

接着，工作台控制部76使检查部件把持部47将电子部件10按压于检查用插座34。此时，检查用插座34的探针与电子部件10的端子导通。接下来，电特性检查装置50与电子部件10相互通信来检查电子部件10的电特性。

在电特性检查装置50检查电子部件10的电特性的期间，工作台控制部76通过工作台驱动装置60使第二往复工作台41移动。进而，工作台驱动装置60使移除用凹部42b移动至检查用插座34的横向。接下来，工作台控制部76通过工作台驱动装置60使第一往复工作台36移动。进而，工作台驱动装置60使移除用凹部37b移动至移除把持部32的移动范围内。接着，工作台控制部76以及把持控制部77使移除把持部32把持电子部件10。

当电特性检查的结果是所检查的电子部件10合格时，工作台控制部76通过移除部33将电子部件10载置于第五输送机7或者第六输送机8上的托盘9。当电特性检查的结果是电子部件10不合格时，工作台控制部76通过移除部33将电子部件10载置于第四输送机6上的托盘9。

接下来，工作台控制部76使工作台驱动装置60驱动第一往复工作台36，从而使供件用凹部37a移动至供件把持部28的移动范围内。这样，供件部29、第一往复工作台36、第二往复工作台41、部件按压装置43将电子部件10从第一输送机3上的托盘9移动至检查用插座34。进而，检查用插座34以及电特性检查装置50检查电子部件10的电特性。接下来，部件按压装置43将电子部件10从检查用插座34移动至第一往复工作台36或者第二往复工作台41。

如图8的(b)所示，接下来，移除部33将电子部件10从第一往复工作台36或者第二往复工作台41移动至第四输送机6～第六输送机8上的托盘9。依次反复进行该动作，从而进行电子部件10的电特性检查。另外，各电子部件10的电特性检查的判定结果存储于存储器59，并在信息显示装置48以及信息显示装置51a显示。另外，电特性检查的判定结果能够通过信息输出装置65从存储器59向外部设备输出。

图8的(c)是与步骤S8的空托盘移动工序对应的图。如图8的(c)所示，步骤S8中，工作台控制部76通过工作台驱动装置60使托盘移动工作台14移动，使输送机驱动装置61驱动第一输送机3。进而，工作台控制部76使托盘9和托盘把持部16移动，以使电子部件10移动而变空的托盘9与托盘把持部16对置。

接下来，工作台控制部76使工作台驱动装置60驱动设置于托盘把持部16的托盘升降工作台68来使托盘把持部16下降。接着，工作台控制部76向把持部驱动装置62输出指令信号而使托盘把持部16把持托盘9。接下来，工作台控制部76向工作台驱动装置60以及把持部驱动装置62输出指令信号而使托盘9向第二输送机4上或者第三输送机5上移动。

当在第四输送机6～第六输送机8上的托盘9没有载置电子部件10的场所、但有设置托盘9的场所时，工作台控制部76向工作台驱动装置60、输送机驱动装置61、把持部驱动装置62输出指令信号。进而，工作台控制部76使托盘9从第二输送机4以及第三输送机5移动至第四输送机6～第六输送机8上。

图8的(d)是与步骤S9的托盘除去工序对应的图。如图8的(d)所示，在步骤S9中，工作台控制部76向输送机驱动装置61输出指令信号。进而，工作台控制部76使输送机驱动装置61驱动第四输送机6～第六输送机8，使载置有电子部件10的托盘9移动至罩53的外侧。接着，操作者将载置有电子部件10的托盘9从部件检查装置1除去并向接下来的工序的作业场所搬运。通过以上的工序，结束检查电子部件10的工序。

如上所述，根据本实施方式，具有以下的效果。

(1)根据本实施方式，在托盘9载置有电子部件10，该托盘9设置于部件检查装置1。在电子部件10设置有个体识别编号10c，拍摄装置17拍摄个体识别编号10c。进而，个体识别编号运算部79根据拍摄到的个体识别编号10c运算电子部件10的个体识别数据75。因此，部件检查装置1能够识别电子部件10的个体识别数据75。

(2)根据本实施方式，部件检查装置1具备第一输送机3以及托盘搬运部11。第一输送机3使托盘9沿第一方向3c移动。托盘搬运部11使拍摄装置17沿与第一方向3c交叉的第二方向14a移动。因此，通过驱动第一输送机3和托盘搬运部11，部件检查装置1能够使托盘9与拍摄装置17在二维方向相对移动。因此，即便在托盘9呈矩阵状地载置有多列电子部件10时，部件检查装置1也能够识别各电子部件10的个体识别数据75。

在专利文献1那样的IC处理装置中，因为托盘转送部仅在一个方向移动，所以即便是能够在托盘转送部设置检测单元的情况下，也无法识别全部IC。由于部件检查装置1能够使托盘9与拍摄装置17在二维方向相对移动，所以能够识别设置于托盘的全部IC。

(3)根据本实施方式，部件检查装置1具备供件部29以及托盘搬运部11。供件部29使电子部件10从托盘9依次移动。由此，托盘9成为未载置电子部件10的状态。托盘搬运部11使托盘9沿第二方向14a移动。由此，能够从第一输送机3除去托盘9。进而，移动空的托盘9的部位与移动拍摄装置17的部位为具有共用的移动机构的托盘移动工作台14。因此，与设置用于移动空的托盘9的移动机构和用于移动拍摄装置17的移动机构2个移动机构时相比，能够形成简单的构造。

(4)根据本实施方式，信息显示装置48、信息显示装置51a以及信息输出装置65输出个体识别数据75。因此，能够活用电子部件10的个体识别数据75。

(5)根据本实施方式，信息显示装置48以及信息显示装置51a显示个体识别数据75。因此，操作者能够确认电子部件10的个体识别数据75而进行与个体识别数据75相应的对应。

(6)根据本实施方式，信息输出装置65将个体识别数据75向外部设备输出。因此，外部设备能够确认电子部件10的个体识别数据75而进行与个体识别数据75相应的对应。

(7)根据本实施方式，在托盘搬运部11设置有拍摄装置17。拍摄装置17除了设置于托盘搬运部11之外还能够设置于供件部29。供件部29是移动电子部件10的部位。因为电子部件10的个数比托盘9的个数多，所以通过快速移动托盘9来快速移动电子部件10有助于生产率的提高。

进而，在拍摄装置17设置于供件部29的供件X工作台27时，因为供件X工作台27变重所以移动速度降低。因此在该构造中，供件部29移动电子部件10需要的时间长。与该构造相比，在本实施方式中，拍摄装置17设置于托盘搬运部11，所以能够生产率良好地使电子部件10移动。

第二实施方式

接下来，使用图9对呈现有个体识别编号的电子部件以及部件检查装置的一个实施方式进行说明。图9的(a)是用于对电子部件进行说明的示意俯视图，图9的(b)是使出部件检查装置的构造的示意侧视图。本实施方式与第一实施方式的不同处为，品名10b、个体识别编号10c的显示使用条形码。另外，省略与第一实施方式相同的点的说明。

即，在本实施方式中，如图9的(a)所示，在电子部件85印刷有表示制造商名85a、品名85b、个体识别编号85c的文字列。此外，在电子部件85印刷有用条形码表示品名85b的品种条形码85d和用条形码显示个体识别编号85c的作为识别信息的个体识别条形码85e。另外，文字、条形码的内容、配置等属性没有特别限定，针对每个电子部件85进行设定。

如图9的(b)所示，在部件检查装置86中、且在托盘移动工作台14设置有条形码读码器87。条形码读码器87向品种条形码85d以及个体识别条形码85e射出光线87a并进行扫描。进而，条形码读码器87接受反射光，将反射光的光强度信号转换为条形码所表示的文字信息。该文字信息是个体识别数据75。CPU 58从条形码读码器87输入文字信息并将其存储于存储器59。

如上所述，根据本实施方式，具有以下的效果。

(1)根据本实施方式，部件检查装置86具有条形码读码器87。因此，即便在电子部件85的识别信息包含条形码时也能够容易地根据识别信息识别个体识别数据75。

(2)根据本实施方式，部件检查装置86具备条形码读码器87。与用拍摄装置17和个体识别编号运算部79识别文字信息相比，条形码读码器87为简便的装置。因此，能够生产率良好地制造部件检查装置86。

另外，本实施方式并不限定于上述的实施方式，在本发明的技术的思想范围内，具有本领域中一般知识的人能够施加各种变更和改进。以下叙述变形例。

变形例1

在上述第二实施方式中，在电子部件85印刷有一维的个体识别条形码85e。条形码并不局限于一维，也可以是二维的条形码。图10是用于对电子部件进行说明的示意俯视图。如图10所示，在电子部件88印刷有表示制造商名88a、品名88b、个体识别编号88c的文字列。此外，在电子部件88印刷有用二维条形码表示品名88b的品种条形码88d和用二维条形码表示个体识别编号88c的作为识别信息的个体识别条形码88e。

进而，条形码读码器87是将二维的条形码转换为文字数据的装置。通过将条形码从一维变为二维，能够增加能够显示的文字数。因此，能够使在电子部件88呈现的信息量变多。

变形例2

在上述第一实施方式中，第一输送机3～第六输送机8移动托盘9。并不局限于输送机，也可以是具备直动机构的工作台来移动托盘9。工作台能够位置精度良好地移动托盘9。除此之外，也可以是搬运车来移动托盘9。能够设定自由度高的搬运路径。

变形例3

在上述第一实施方式中，拍摄装置17在内部组装有CCD拍摄元件。将图像转换为电信号的装置并不限定于CCD拍摄元件。能够使用摄像管、CMOS(互补型金属氧化膜半导体)影像传感器。除此之外也能够使用红外线影像传感器。也可以与拍摄的环境、电子部件10的印刷状况对照地进行选择。

变形例4

在上述第一实施方式中，托盘搬运部11使拍摄装置17移动。但并不局限于此，也可以将拍摄装置17设置于沿第二方向14a移动的拍摄装置移动部。进而，拍摄装置移动部移动拍摄装置17，托盘搬运部11移动托盘把持部16。由此，能够同时进行拍摄装置17拍摄电子部件10的工序和托盘搬运部11移动空的托盘9的工序。因此，能够生产率良好地进行工序。

变形例5

在上述第一实施方式中，第二方向14a是与第一方向3c正交的方向。第一方向3c并非必须与第二方向14a正交。第一方向3c也可以是与第二方向14a交叉的方向。即便在这种情况下，拍摄装置17也能够对多列电子部件10进行拍摄。进而，能提高设计的自由度。

变形例6

在上述第一实施方式中，在进行步骤S3的标记拍摄工序～步骤S6的确认结束判定工序之后，移至步骤S7的检查工序。并不局限于此，也可以使步骤S3的标记拍摄工序～步骤S6的确认结束判定工序和步骤S7的检查工序并行进行。换句话说，也可以形成为：在步骤S5的个体识别判定工序中，当个体识别数据75存在于比较判定数据74的一览表时，使检查了个体识别编号10c后的电子部件10依次进行步骤S7的检查工序。因为个体识别数据75的确认与电特性检查并行进行，所以能够生产率良好地进行检查。

标号说明

1b：作为部件搬运装置的搬运部；1、86：部件检查装置；3：作为第一移动部的第一输送机；3c：第一方向；9：作为容器的托盘；10：电子部件；10c：作为识别信息的个体识别编号；11：作为第二移动部的托盘搬运部；14：作为移动机构的托盘移动工作台；14a：第二方向；17：作为识别信息检测部以及图像拍摄部的拍摄装置；20：作为搬运机构的部件移除供件部；29：作为搬运机构的供件部；36：作为搬运机构的第一往复工作台；41：作为搬运机构的第二往复工作台；43：作为搬运机构的部件按压装置；51a：作为信息输出部、信息显示部以及警报输出部的信息显示装置；51b：作为信息输入部的信息输入装置；65：作为信息输出部以及输出接口的信息输出装置；74：作为比较信息的比较判定数据；75：作为识别信息的个体识别数据；78：数据转换部；79：作为个体识别部的个体识别编号运算部；80：作为信息比较部的个体识别编号判定部；85e、88e：作为识别信息的个体识别条形码；87：条形码读码器。