一种聚酰亚胺薄膜喷涂装置的制造方法

文档序号:10133753阅读:636来源:国知局
一种聚酰亚胺薄膜喷涂装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种喷涂装置,特别涉及一种聚酰亚胺薄膜喷涂装置。
【背景技术】
[0002]酰亚胺薄膜是一种新型的耐高温有机聚合物薄膜,它是目前世界上性能最好的薄膜类绝缘材料,具有优良的力学性能、电性能、化学稳定性以及很高的抗辐射性能、耐高温和耐低温性能。由于其良好的综合性能其用途也逐渐扩大,广泛应用于微电子行业作为介电空间层、金属薄膜的保护覆盖层和基材;聚酰亚胺膜经由下述工序制备:浇铸工序,将聚酰胺酸等聚酰胺前驱体溶液流延涂覆在支撑体上,将其加热,形成具有自我支撑性的自我支撑性膜;固化工序,对自我支撑性膜进行加热处理,完成酰亚胺化。另外,还可根据需要,在浇铸工序后,于自我支撑性膜表面上涂布表面处理剂等有机溶剂,进行干燥后,即在表面处理后,进行固化工序,现有酰亚胺薄膜生产设备主要是由流延机,预热系统,拉伸系统,冷却定型系统等构成。目前的酰亚胺薄膜生产方法及生产设备存在流延机生产出来的薄膜厚薄不均的技术难题。

【发明内容】

[0003]本实用新型的目的就是针对现有技术存在的上述缺陷,提供一种聚酰亚胺薄膜喷涂装置。
[0004]其技术方案是:包括本体、膜唇紧固螺栓、膜唇、调节螺栓、固定主轴、紧固螺栓、固定螺栓、进胶口、固定板,在本体的后侧开设有膜唇,膜唇的前侧设有多个膜唇紧固螺栓,膜唇紧固螺栓连接膜唇,在本体的前侧上部设有多个调节螺栓,在本体的前侧中部设有紧固螺栓,在本体的前侧下部设有上下两个固定板,在固定板上设有两个固定螺栓,在两个固定板之间设有进胶口,本体的中部设有固定主轴,固定主轴穿过本体。
[0005]上述的紧固螺栓在本体的前侧中部,在中部的左右两侧均设有三个呈三角状排列的紧固螺栓,中部设有两个紧固螺栓。
[0006]本实用新型的有益效果是:通过本实用新型调节控制膜唇间隙,确保膜唇间隙保持在一稳定值,能够生产出厚度均匀的薄膜,为下一步的薄膜拉伸以及薄膜定型冷却工艺提供了厚度均匀性良好的聚酰亚胺薄膜坯料,从而大大提高了聚酰亚胺薄膜成品的横向和纵向的厚度均匀性。
【附图说明】
[0007]附图1是本实用新型的结构示意图;
[0008]上图中:本体1、膜唇紧固螺栓2、膜唇3、调节螺栓4、固定主轴5、紧固螺栓6、固定螺栓7、进胶口 8、固定板9。
【具体实施方式】
[0009]结合附图1,对本实用新型作进一步的描述:
[0010]本实用新型包括本体1、膜唇紧固螺栓2、膜唇3、调节螺栓4、固定主轴5、紧固螺栓6、固定螺栓7、进胶口 8、固定板9,在本体I的后侧开设有膜唇3,膜唇3的前侧设有多个膜唇紧固螺栓2,膜唇紧固螺栓2连接膜唇3,在本体I的前侧上部设有多个调节螺栓4,在本体I的前侧中部设有紧固螺栓6,在本体I的前侧下部设有上下两个固定板9,在固定板9上设有两个固定螺栓7,在两个固定板9之间设有进胶口 8,本体I的中部设有固定主轴5,固定主轴5穿过本体1,固定主轴5的左右两端头凸出在本体I的左右两侧壁的中心部分。
[0011]其中,紧固螺栓6在本体I的前侧中部,在中部的左右两侧均设有三个呈三角状排列的紧固螺栓6,中部设有两个紧固螺栓6。
[0012]通过本实用新型调节控制膜唇间隙,确保膜唇间隙保持在一稳定值,能够生产出厚度均匀的薄膜,为下一步的薄膜拉伸以及薄膜定型冷却工艺提供了厚度均匀性良好的聚酰亚胺薄膜坯料,从而大大提高了聚酰亚胺薄膜成品的横向和纵向的厚度均匀性。
[0013]以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例,任何熟悉本领域的技术人员均可能利用上述阐述的技术方案对本实用新型加以修改或将其修改为等同的技术方案。因此,依据本实用新型的技术方案所进行的任何简单修改或等同置换,尽属于本实用新型要求保护的范围。
【主权项】
1.一种聚酰亚胺薄膜喷涂装置,其特征是:包括本体(1)、膜唇紧固螺栓(2)、膜唇(3)、调节螺栓(4)、固定主轴(5)、紧固螺栓(6)、固定螺栓(7)、进胶口(8)、固定板(9),在本体(1)的后侧开设有膜唇(3),膜唇(3)的前侧设有多个膜唇紧固螺栓(2),膜唇紧固螺栓(2)连接膜唇(3),在本体(1)的前侧上部设有多个调节螺栓(4),在本体(1)的前侧中部设有紧固螺栓(6),在本体(1)的前侧下部设有上下两个固定板(9),在固定板(9)上设有两个固定螺栓(7),在两个固定板(9)之间设有进胶口(8),本体(1)的中部设有固定主轴(5),固定主轴(5)穿过本体(1)。2.根据权利要求1所述的一种聚酰亚胺薄膜喷涂装置,其特征是:所述的紧固螺栓(6)在本体(1)的前侧中部,在中部的左右两侧均设有三个呈三角状排列的紧固螺栓(6),中部设有两个紧固螺栓(6)。
【专利摘要】本实用新型涉及一种聚酰亚胺薄膜喷涂装置。其技术方案是:在本体的后侧开设有膜唇,膜唇的前侧设有多个膜唇紧固螺栓,在本体的前侧上部设有多个调节螺栓,在本体的前侧中部设有紧固螺栓,在本体的前侧下部设有上下两个固定板,在固定板上设有两个固定螺栓,在两个固定板之间设有进胶口,本体的中部设有固定主轴,固定主轴穿过本体,固定主轴的左右两端头凸出在本体的左右两侧壁的中心部分;有益效果是:本实用新型能够生产出厚度均匀的薄膜,为下一步的薄膜拉伸以及薄膜定型冷却工艺提供了厚度均匀性良好的聚酰亚胺薄膜坯料,从而大大提高了聚酰亚胺薄膜成品的横向和纵向的厚度均匀性。
【IPC分类】B29C41/36
【公开号】CN205044041
【申请号】CN201520814063
【发明人】宋茂泉, 孙万年, 孙蕾
【申请人】山东众鑫电子材料有限公司
【公开日】2016年2月24日
【申请日】2015年10月21日
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