聚酰亚胺薄膜除尘装置的制造方法

文档序号:10132533
聚酰亚胺薄膜除尘装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种聚酰亚胺薄膜除尘领域,特别涉及聚酰亚胺薄膜除尘装置。
【背景技术】
[0002]聚酰亚胺薄膜以其优异的机械性能、耐高温性能、耐辐射性能、低介电常数和高电阻率等优异性能,广泛应用于微电子行业作为介电空间层、金属薄膜的保护覆盖层和基材,在一些环境洁净度不高的生产环境中进行薄膜产品的涂布作业时,容易在薄膜产品的表面产生颗粒异物的质量缺陷,因此需要考虑在涂布作业前先对薄膜产品进行表面除尘。普通的薄膜除尘装置一般使用粘尘辊粘去薄膜表面的灰尘,但是由于粘尘辊表面的粘性,这些粘尘辊在除去薄膜表面的灰尘的同时,也容易将薄膜产品粘附在粘尘辊上,使薄膜产品不能进行下一步的工序,影响薄膜产品涂布作业的正常进行。

【发明内容】

[0003]本实用新型的目的就是针对现有技术存在的上述缺陷,提供一种聚酰亚胺薄膜除十目.ο
[0004]其技术方案是:包括聚酰亚胺薄膜、进膜辊筒、包胶辊、除尘滚筒、出膜辊筒、固定支架、粘尘纸卷层、除尘滚筒轴、包胶辊栗轴,在进膜辊筒的右下部设有包胶辊,在包胶辊的上部设有除尘滚筒,在包胶辊的左侧设有出膜辊筒,聚酰亚胺薄膜绕过进膜辊筒的上部、包胶辊的底部和出膜辊筒的上部,除尘滚筒设置在两个固定支架之间的上部,在除尘滚筒上设有粘尘纸卷层,除尘滚筒通过除尘滚筒轴安装在两个固定架上,包胶辊设置在两个固定支架之间的下部,包胶辊通过包胶辊栗轴安装在两个固定支架上。
[0005]上述的包胶辊与除尘滚筒相互接触配合,且转动方向相反。
[0006]本实用新型的有益效果是:将需要除尘的薄膜通过包胶辊,本实用新型设有除尘滚筒,包胶辊与除尘滚筒的反向相对运动,粘尘纸卷层能够将包胶辊上的灰尘持续不断的粘到粘尘纸卷层上,实现对薄膜持续不断的进行除尘,除尘效果好,除尘效率高,并且,粘尘纸卷层可随时更换,方便快捷。
【附图说明】
[0007]附图1是本实用新型使用时的侧视图;
[0008]附图2是本实用新型的结构示意图;
[0009]上图中:粘尘纸卷层7、除尘滚筒4、固定支架6、包胶辊3、包胶辊栗轴9、除尘滚筒轴8、聚酰亚胺薄膜1、出膜辊筒5、进膜辊筒2。
【具体实施方式】
[0010]结合附图1-2,对本实用新型作进一步的描述:
[0011 ] 本实用新型包括聚酰亚胺薄膜1、进膜辊筒2、包胶辊3、除尘滚筒4、出膜辊筒5、固定支架6、粘尘纸卷层7、除尘滚筒轴8、包胶辊栗轴9,在进膜辊筒2的右下部设有包胶辊3,在包胶辊3的上部设有除尘滚筒4,在包胶辊3的左侧设有出膜辊筒5,聚酰亚胺薄膜1绕过进膜辊筒2的上部、包胶辊3的底部和出膜辊筒5的上部,除尘滚筒4设置在两个固定支架6之间的上部,在除尘滚筒4上设有粘尘纸卷层7,除尘滚筒4通过除尘滚筒轴8安装在两个固定架3上,包胶辊3设置在两个固定支架6之间的下部,包胶辊3通过包胶辊栗轴9安装在两个固定支架6上。
[0012]其中,所述的包胶辊3与除尘滚筒4相互接触配合,且转动方向相反。
[0013]该新型将需要除尘的薄膜通过包胶辊,本实用新型设有除尘滚筒,包胶辊与除尘滚筒的反向相对运动,粘尘纸卷层能够将包胶辊上的灰尘持续不断的粘到粘尘纸卷层上,实现对薄膜持续不断的进行除尘,除尘效果好,除尘效率高,并且,粘尘纸卷层可随时更换,方便快捷。
[0014]以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例,任何熟悉本领域的技术人员均可能利用上述阐述的技术方案对本实用新型加以修改或将其修改为等同的技术方案。因此,依据本实用新型的技术方案所进行的任何简单修改或等同置换,尽属于本实用新型要求保护的范围。
【主权项】
1.一种聚酰亚胺薄膜除尘装置,其特征在于:包括聚酰亚胺薄膜(1)、进膜辊筒(2)、包胶辊(3)、除尘滚筒(4)、出膜辊筒(5)、固定支架(6)、粘尘纸卷层(7)、除尘滚筒轴(8)、包胶辊栗轴(9 ),在进膜辊筒(2 )的右下部设有包胶辊(3 ),在包胶辊(3 )的上部设有除尘滚筒(4),在包胶辊(3)的左侧设有出膜辊筒(5),聚酰亚胺薄膜(1)绕过进膜辊筒(2)的上部、包胶辊(3)的底部和出膜辊筒(5)的上部,除尘滚筒(4)设置在两个固定支架(6)之间的上部,在除尘滚筒(4)上设有粘尘纸卷层(7),除尘滚筒(4)通过除尘滚筒轴(8)安装在两个固定架(3)上,包胶辊(3)设置在两个固定支架(6)之间的下部,包胶辊(3)通过包胶辊栗轴(9)安装在两个固定支架(6)上。2.根据权利要求1所述的一种聚酰亚胺薄膜除尘装置,其特征在于:所述的包胶辊(3)与除尘滚筒(4)相互接触配合,且转动方向相反。
【专利摘要】本实用新型涉及一种聚酰亚胺薄膜除尘装置。其技术方案是:在进膜辊筒的右下部设有包胶辊,在包胶辊的上部设有除尘滚筒,在包胶辊的左侧设有出膜辊筒,聚酰亚胺薄膜绕过进膜辊筒的上部、包胶辊的底部和出膜辊筒的上部,除尘滚筒设置在两个固定支架之间的上部,在除尘滚筒上设有粘尘纸卷层,除尘滚筒通过除尘滚筒轴安装在两个固定架上,包胶辊设置在两个固定支架之间的下部,包胶辊通过包胶辊泵轴安装在两个固定支架上。本实用新型的有益效果是:本实用新型设有除尘滚筒,包胶辊与除尘滚筒的反向相对运动,粘尘纸卷层能够将包胶辊上的灰尘持续不断的粘到粘尘纸卷层上,实现对薄膜持续不断的进行除尘,除尘效果好,除尘效率高。
【IPC分类】B08B7/00, B08B1/04
【公开号】CN205042820
【申请号】CN201520799855
【发明人】宋茂泉, 孙万年, 孙蕾
【申请人】山东众鑫电子材料有限公司
【公开日】2016年2月24日
【申请日】2015年10月16日
再多了解一些
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