技术总结
本发明公开了一种立式多工位石英管清洗机，包括：清洗平台，转动设于本体内，清洗平台表面绕其中心贯通设有若干安装孔，安装孔内侧设有转盘，石英管固定在转盘上，受其带动进行自转，并在清洗平台带动下进行公转；一至若干外喷管，竖直设于本体内，并位于石英管外侧，沿外喷管侧壁设有多数个喷口，用于喷射清洗液或气体，以清洗或干燥石英管外壁；若干内喷管，与转盘一一对应，并由转盘下方穿过进入石英管内，沿内喷管侧壁及顶部也设有多数个喷口，用于喷射清洗液或气体，以清洗或干燥石英管内壁；并公开了一种相应的清洗方法；可一次性对多个石英管进行全面有效清洗，同时可实现对清洗后废液的分类回收，其结构简单、易实现。
技术研发人员：李广义
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
文档号码：201710144321
技术研发日：2017.03.10
技术公布日：2017.06.13