一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置的制作方法

文档序号:22352855发布日期:2020-09-25 18:29阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置,包括底座(1)、冷凝器(2)和阀门(6),其特征在于:所述底座(1)的右侧顶端固定安装有冷凝器(2),且冷凝器(2)的顶端左侧固定安装有第一通管(3),所述底座(1)的内部开设有收集槽(4),所述底座(1)的左侧固定安装有出液管(5),且出液管(5)的左端外壁固定安装有阀门(6),所述底座(1)的左侧顶端固定安装有支撑管(7),且支撑管(7)的顶端固定安装有冷凝罐(8),所述冷凝罐(8)的内部顶端固定安装有支撑杆(9),且支撑杆(9)的底端固定安装有挡块(10),所述支撑杆(9)的底端外壁套接有轴套(11),所述轴套(11)的外壁固定安装有扇叶(12),所述冷凝罐(8)的左侧固定安装有进气管(13),且进气管(13)的外壁插设有套筒(14),所述套筒(14)的顶端插设有转杆(16),且转杆(16)的顶端固定安装有安装块(15),所述转杆(16)的底端固定安装有挤压板(17),所述套筒(14)的内部中间位置处固定安装有集灰槽(18),且集灰槽(18)的两侧皆开设有通孔(19)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置,其特征在于:所述第一通管(3)为倾斜设置,且第一通管(3)插设在冷凝罐(8)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置,其特征在于:所述收集槽(4)的底端靠近出液管(5)的一端为倾斜设置,所述收集槽(4)与出液管(5)相连通。

4.根据权利要求1所述的一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置,其特征在于:所述轴套(11)的内壁直径与支撑杆(9)的外壁直径大小相等,所述轴套(11)与挡块(10)组成转动式结构。

5.根据权利要求1所述的一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置,其特征在于:所述转杆(16)的外壁设置有外螺纹,所述套筒(14)的内壁设置有内螺纹,所述转杆(16)与套筒(14)螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置,其特征在于:所述通孔(19)的靠近集灰槽(18)一端的内壁直径逐渐减小,两组所述通孔(19)关于集灰槽(18)呈对称关系。


技术总结
本实用新型公布了一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置,包括底座、冷凝器和阀门,所述底座的右侧顶端固定安装有冷凝器,且冷凝器的顶端左侧固定安装有第一通管,所述底座的内部开设有收集槽,所述底座的左侧固定安装有出液管,且出液管的左端外壁固定安装有阀门,所述底座的左侧顶端固定安装有支撑管,且支撑管的顶端固定安装有冷凝罐,所述冷凝罐的内部顶端固定安装有支撑杆,且支撑杆的底端固定安装有挡块。本实用新型设置有集灰槽和通孔,可以将气体中的灰尘进行过滤,套筒和安装块可以将集灰槽从进气管的内部脱离,方便对灰尘进行清洗,扇叶可以将气体与冷凝气体进行混合,使冷凝的效果更加好,更加快速。

技术研发人员:王天奇
受保护的技术使用者:天津市晓川过滤设备发展有限公司
技术研发日:2019.09.28
技术公布日:2020.09.25
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