技术特征：
技术总结
本发明构思针对包括转子和定子的真空泵，其中转子被金属轴承（例如钢轴承）支撑以允许转子相对于定子的相对旋转。液体PFPE润滑剂复合物被提供以润滑轴承，其中所述润滑剂还包括悬浮在液体润滑剂中的固体润滑剂。固体润滑剂可包括石墨、石墨烯和二硫化钼中的任一种或多种。换句话说，发明构思围绕被润滑的轴承，所述轴承布置成在低于大气压的条件下将旋转轴支撑在本体中，其中用于润滑所述轴承的润滑剂包括具有低蒸汽压力的液体PFPE润滑剂、以及保持悬浮在所述液体润滑剂中的固体润滑剂。固体润滑剂可包括石墨、石墨烯和二硫化钼中的任一种或多种。
技术研发人员：C.J.肖
受保护的技术使用者：爱德华兹有限公司
技术研发日：2016.03.11
技术公布日：2017.12.12