一种超小间距纳米棒阵列的制备方法与流程

文档序号:12110379阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种超小间距纳米棒阵列的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)将厚度为1-3mm铝片放入丙酮溶液浸泡5-15min,然后放入浓度为0.5-1.5mol/L的氢氧化钠溶液浸泡5-15min,最后放入酒精浸泡5-15min;

(2)将酒精浸泡之后的铝片放入高氯酸和酒精体积比为15-35%的溶液,利用10-30V的电压电化学抛光2-6min,抛光温度为0-4℃;

(3)将抛光后的铝片放入浓度为0.1-0.3 mol/L的草酸溶液中进行第一次氧化处理,铝片做阳极,铂片做阴极,氧化电压为30-50V,氧化时间为2-8小时,反应温度为4-8℃;

(4)将第一次氧化处理后的铝片放入铬酸、磷酸和蒸馏水的混合溶液中进行刻蚀,混合溶液的温度为45-75℃,刻蚀时间为60-90min;

(5)将刻蚀后的铝片放入质量分数为10%的磷酸溶液中进行第二次氧化处理,铝片做阳极,铂片做阴极,氧化温度为15℃,处理过程分为两个阶段,第一阶段氧化电压为40V,第一阶段氧化时间为3min,第二阶段氧化电压为80V,第二阶段氧化时间为2h;

(6)经过第二次氧化处理后形成多孔氧化铝模板,利用溅射仪在多孔氧化铝模板表面溅射得到超小间距纳米棒阵列,溅射电流为5-100mA,溅射时间为50-300s。

2.根据权利要求1所述的超小间距纳米棒阵列的制备方法,其特征在于,步骤(4)中混合溶液的铬酸质量分数为1-3%,磷酸质量分数为4-8%。

3.根据权利要求1所述的超小间距纳米棒阵列的制备方法,其特征在于,步骤(6)中多孔氧化铝模板厚度为200-1000nm,多孔氧化铝模板表面均匀分布纳米柱。

4.根据权利要求1所述的超小间距纳米棒阵列的制备方法,其特征在于,步骤(6)中溅射仪采用的靶材为金、银、铂或铝靶。

5.根据权利要求1所述的超小间距纳米棒阵列的制备方法,其特征在于,步骤(6)中超小间距纳米棒阵列的纳米棒大小和高度一致且分布均匀。

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