技术总结
本发明公开了一种超小间距纳米棒阵列的制备方法，通过在阳极氧化铝模板上溅射金属材料就可以得到的具有超小间距纳米棒阵列，该方法能够具有制备简单、成本低、制备环境友好、样品面积大等优势；所得纳米棒阵列能够非常容易集成制备光电探测芯片，同时由于纳米棒之间强烈的耦合作用，该光电探测芯片将基于金属材料的热电子形成光电流，而不是传统的半导体材料的电子空穴对，因此探测波长不依赖于能带结构，能够在红外光电探测器的制备中发挥优势。
技术研发人员：周张凯;韦志强;薛建材;王雪华
受保护的技术使用者：中山大学
文档号码：201610891535
技术研发日：2016.10.12
技术公布日：2017.03.15