技术总结
本实用新型提供一种真空镀膜腔体检漏系统，包括：被检真空腔体、检漏装置、电控系统，被检真空腔体下侧连接有检漏装置，电控系统连接控制检漏装置，所述被检真空腔体侧壁上装有破空装置I和真空检测元件I，所述检漏装置包括高真空泵、前级泵组I、前级泵组II、真空检测元件、破空装置、氦质谱检漏仪、喷氦系统，高真空泵通过法兰盘直接安装在被检真空腔体的侧壁上，前级泵组I、前级泵组II通过真空管道串联，后通过高真空蝶阀I与高真空泵串联；本实用新型采用自动控制系统，对电气元器件具有一键操作功能；本实用新型具有检漏灵敏度高，能够精确定位漏孔位置并可定量评判漏点大小等优点。同时，本实用新型具有结构简单，易操作的优点。
技术研发人员：罗松松;张仰平;王东;张勇杰;王程;王翔宇
受保护的技术使用者：凯盛重工有限公司
文档号码：201720310375
技术研发日：2017.03.28
技术公布日：2017.11.03