触控结构及其制作方法、触控基板和显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明的至少一个实施例提供了一种触控结构及其制作方法、触控基板和显示装置。
【背景技术】
[0002]电容式触控屏由于具有定位精确灵敏、触摸手感好以及使用寿命长等优点，而被广泛使用。
[0003]OGS(One Glass Solut1n)触控屏和覆盖表面式(On cell)触控屏是两种比较常见的触控屏。OGS触控屏将触控结构设置在显示面板之外的保护基板上，单独形成触控基板，之后将触控基板与显示面板贴合在一起形成。在覆盖表面式触控屏中，触控结构设置在显示面板中的对置基板(例如彩膜基板)的远离阵列基板一侧的表面上。
[0004]在OGS触控屏和覆盖表面式触控屏的制作过程中，通常使用黄光制程以制作出性能优异的产品，而黄光制程不可避免地要使用到光罩(Mask)。光罩对制作精度要求非常高，使用重复率高，其价格十分的昂贵。如果在一款产品的设计中能够尽量少地使用光罩的数量，而且又能够满足产品的性能，则可以大大降低生产成本和单件产品生产时间(tacttime)等，并且设备的稼动也能得到明显的提高。
【发明内容】
[0005]本发明的至少一个实施例提供了一种触控结构及其制作方法、触控基板和显示装置，通过改变工艺顺序，可以减少掩膜板的使用数量。
[0006]本发明的至少一个实施例提供了一种触控结构，其包括衬底基板、设置于所述衬底基板上的绝缘层、第一触控电极、第二触控电极以及第一信号传输结构。第一触控电极、第二触控电极彼此相交；所述绝缘层包括第一部分，所述绝缘层的所述第一部分设置于所述第一触控电极和所述第二触控电极相交的位置处且位于所述第一触控电极和所述第二触控电极之间以将二者绝缘。所述第一信号传输结构与所述第一触控电极电连接，所述绝缘层还包括与所述第一部分同层设置的第二部分，所述第二部分覆盖所述第一信号传输结构。
[0007]例如，所述第一触控电极的与所述第一信号传输结构电连接的部分设置于所述绝缘层的远离所述衬底基板的一侧。
[0008]例如，所述绝缘层的所述第二部分中设置有至少一个过孔，所述第一信号传输结构通过所述至少一个过孔与所述第一触控电极电连接。
[0009]例如，所述第一触控电极和所述第二触控电极中的一个包括至少一个导电桥和彼此间隔设置的多个子电极，相邻的所述子电极通过一个所述导电桥电连接，所述导电桥设置于所述第一触控电极与所述第二触控电极相交的位置处；所述第一触控电极和所述第二触控电极中的另一个与所述多个子电极同层设置，但与所述导电桥异层设置。
[0010]例如，所述导电桥设置于所述绝缘层的所述第一部分和所述衬底基板之间，所述触控结构还包括导电连接部，所述导电连接部覆盖且电连接所述第一信号传输结构并且与所述导电桥同层设置。
[0011]例如，所述第一触控电极设置于所述绝缘层的远离所述衬底基板的一侧，所述第二触控电极设置于所述绝缘层与所述衬底基板之间；所述触控结构还包括导电连接部，所述导电连接部覆盖且电连接所述第一信号传输结构并且与所述第二触控电极同层设置。
[0012]例如，所述导电连接部与所述第一信号传输结构直接接触。
[0013]例如，所述第一触控电极的与所述第一信号传输结构电连接的部分设置于所述绝缘层与所述衬底基板之间并且覆盖所述第一信号传输结构。
[0014]例如，所述绝缘层的所述第二部分与所述第一信号传输结构直接接触。
[0015]例如，所述第一信号传输结构的形成材料包括金属。
[0016]例如，所述触控结构还包括第二信号传输结构，所述第二信号传输结构与所述第二触控电极电连接并且与所述第一信号传输结构同层设置。
[0017]本发明的至少一个实施例还提供了一种触控基板，其包括以上任一项所述的触控结构。
[0018]本发明的至少一个实施例还提供了一种显示装置，其包括上述触控基板。
[0019]例如，所述显示装置包括相对设置的阵列基板和对置基板，所述对置基板作为所述触控基板，并且所述触控结构设置于所述对置基板的远离所述阵列基板的一侧。或者，所述显示装置包括相对设置的阵列基板和对置基板、以及设置于所述对置基板的远离所述阵列基板一侧的保护基板；所述对置基板作为所述触控基板，并且所述触控结构设置于所述对置基板的远离所述阵列基板的一侧，或者，所述保护基板作为所述触控基板。
[0020]本发明的至少一个实施例还提供了一种触控结构的制作方法，其包括:在衬底基板上形成彼此相交的第一触控电极和第二触控电极；在所述衬底基板上形成第一信号传输结构，所述第一信号传输结构与所述第一触控电极电连接；以及在形成所述第一信号传输结构之后，在所述衬底基板上形成绝缘薄膜并对其进行图案化处理，以形成包括第一部分和第二部分的绝缘层。在该方法中，所述绝缘层的所述第一部分形成于所述第一触控电极和所述第二触控电极相交的位置处且位于所述第一触控电极和所述第二触控电极之间以将二者绝缘，所述第二部分覆盖所述第一信号传输结构。
[0021]例如，对所述绝缘薄膜进行所述图案化处理，以形成所述绝缘层以及位于所述绝缘层的所述第二部分中的至少一个过孔，所述第一信号传输结构通过所述至少一个过孔与所述第一触控电极电连接。
[0022]例如，在所述衬底基板上形成所述第一信号传输结构；在所述第一信号传输结构上形成第一导电薄膜，并图案化所述第一导电薄膜，以形成覆盖且电连接所述第一信号传输结构的导电连接部；在所述导电连接部上形成所述绝缘层；在所述绝缘层上形成第二导电薄膜，并图案化所述第二导电薄膜，以形成所述第一触控电极的至少一部分。在该方法中，所述第一触控电极和所述第二触控电极通过所述第一导电薄膜和所述第二导电薄膜形成。
[0023]例如，在所述衬底基板上形成所述第一信号传输结构；在所述第一信号传输结构上形成第一导电薄膜，并图案化所述第一导电薄膜，以形成所述第一触控电极的至少一部分；在所述第一触控电极的所述至少一部分上形成所述绝缘层；在所述绝缘层上形成第二导电薄膜，并图案化所述第二导电薄膜。在该方法中，所述第一触控电极和所述第二触控电极通过所述第一导电薄膜和所述第二导电薄膜形成。
[0024]例如，在所述衬底基板上形成第一导电薄膜，并图案化所述第一导电薄膜，以形成所述第一触控电极的至少一部分；在所述第一触控电极的所述至少一部分上形成所述第一信号传输结构；在所述第一信号传输结构上形成所述绝缘层；在所述绝缘层上形成第二导电薄膜，并图案化所述第二导电薄膜；其中，所述第一触控电极和所述第二触控电极通过所述第一导电薄膜和所述第二导电薄膜形成。
[0025]例如，形成第一信号传输结构的步骤还包括形成第二信号传输结构，所述第二信号传输结构与所述第二触控电极电连接。
【附图说明】
[0026]为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制。
[0027]图1a为一种导电桥式触控结构的俯视示意图；
[0028]图1b为沿图1a中的BB线的剖视示意图；
[0029]图1c为沿图1a中CC线的剖视示意图；
[0030]图2为本发明实施例提供的一种触控结构的俯视示意图；
[0031]图3a至图3d为本发明实施例提供的一种导电桥式触控结构沿图2中B' B'线的剖视示意图；
[0032]图4为本发明实施例提供的一种第一信号传输结构所在区域处设置有多个过孔的俯视不意图；
[0033]图5a为本发明实施例提供的一种导电连接部覆盖第一信号传输结构的俯视示意图；
[0034]图5b为本发明实施例提供的触控结构沿图2中C'C'线的剖视示意图；
[0035]图6a至图6d为本发明实施例提供的一种非导电桥式触控结构沿图2中B' B'线的剖视示意图；
[0036]图7a和图7b为本发明实施例提供的显示装置的局部剖视示意图；
[0037]图8a至图8e为本发明实施例提供的一种如图3d所示的触控结构的制作方法的各步骤的示意图；
[0038]图9a至图9e为本发明实施例提供的一种如图3c所示的触控结构的制作方法的各步骤的示意图；
[0039]图1Oa至图1Of为本发明实施例提供的一种如图3b所示的触控结构的制作方法的各步骤的示意图。
【具体实施方式】
[0040]为使本发明实施例的