专利名称：刻蚀机及其开盖装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种刻蚀机及其开盖装置。
背景技术：
在刻蚀机的研发进程中，由于产能的提高以及机械手尺寸的原因，刻蚀机的传输 腔的尺寸越来越大，因此传输腔盖板的尺寸也随之变大。传输腔盖板的重量也越来越大。传统的刻蚀机中通常采用手动方式开盖，但是在维护时，由于盖板的重量和尺寸 大，因此传输腔盖板的开关所需的劳动强度和耗费时间变大。现有技术中也存在电动的开 盖方式，但是传统电动的开盖仅仅能简单实现盖板完全开启或完全关闭，无法根据需要控 制盖板的开启角度，例如在不需要完全打开盖板的情况下也必须完全打开盖板，导致费时 费力，成本高。
实用新型内容本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种可控制盖板打开角度的开盖装置。本实用新型的另一目的在于提出一种具有上述开盖装置的LED刻蚀机。为了实现上述目的，根据本实用新型的开盖装置包括驱动器；减速器，所述减速 器具有输入轴、第一输出轴和第二输出轴，其中所述输入轴与所述驱动器相连；执行机构， 所述执行机构的第一端适于与所述盖板相连，所述执行机构的第二端与所述第一输出轴相 连以便所述执行机构由第一输出轴驱动旋转；和限位组件，所述限位组件分别与所述第二 输出轴和所述驱动器相连以限制执行机构的旋转角度。另外，根据本实用新型的开盖装置还可以具有如下附加的技术特征所述限位组件包括限位输入轴，所述限位输入轴与所述第二输出轴相连且所述 限位输入轴上安装有限位输出齿轮；限位输出轴，所述限位输出轴上安装有限位齿轮，所述 限位齿轮与所述限位输出齿轮啮合；第一限位开关，所述第一限位开关与所述驱动器相连； 第二限位开关，所述第二限位开关与所述驱动器相连；和压块，所述压块安装在所述限位输 出轴上且在所述执行机构旋转到第一位置和第二位置时分别触动第一限位开关和第二限 位开关以停止所述驱动器。所述限位齿轮包括第一至第三限位齿轮，其中所述限位输出齿轮可选择性地与所 述第一和第三限位齿轮啮合以改变所述限位输入轴与限位输出轴之间的传动比。所述第二输出轴的输出端安装有第二输出齿轮，所述限位输入轴上安装有与第二 输出齿轮啮合的限位输入齿轮。所述第二输出齿轮与所述限位输入齿轮为锥齿轮。所述第一和第二限位开关为微动开关。所述减速器为二级减速器，其中所述输入轴与第二输出轴之间为蜗轮蜗杆传动， 且所述第二输出轴与第一输出轴之间为直齿轮传动。[0015]所述驱动器为电机。所述电机的电机轴上安装有驱动齿轮，所述输入轴的输入端安装有与所述驱动齿 轮啮合的输入齿轮。所述执行机构包括第一和第二连杆，所述第一和第二连杆间隔开平行设置，第一 和第二连杆的第一端与盖板相连且第一和第二连杆的第二端与所述第一输出轴相连。所述限位组件为旋转编码器，所述旋转编码器安装在第二输出轴上且与所述驱动 器相连。根据本实用新型的LED刻蚀机包括机体，所述机体内限定有传输腔，所述传输腔 具有开口 ；盖板，所述盖板用于打开和关闭所述传输腔的开口 ；和开盖装置，所述开盖装置 与所述盖板相连用于驱动所述盖板打开和关闭所述开口，其中所述开盖装置为上述开盖装置。本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述 中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中 将变得明显和容易理解，其中图1是具有根据本实用新型实施例的开盖装置的LED刻蚀机的结构示意图；图2是根据本实用新型实施例的开盖装置的示意图；图3是根据本实用新型实施例的开盖装置的限位组件的示意图，其中主要示出了 传动关系；和图4是根据本实用新型实施例的开盖装置的限位组件的示意图，其中主要示出了 限位开关和压块。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始 至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参 考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的 限制。在本实用新型的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为 基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型而不是要求本实用新型必 须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。下面参考附图描述根据本实用新型实施例的开盖装置。根据本实用新型实施例的开盖装置可用于打开和关闭设备的盖板，所述设备例如 可以为LED刻蚀机，但本实用新型并不限于此。如图1-4所示，根据本实用新型一个实施例的开盖装置包括驱动器1，减速器2，执 行机构4，和限位组件3。具体地，减速器2具有输入轴22、第一输出轴沈和第二输出轴对，其中输入轴22 与驱动器1相连。[0032]执行机构4的第一端(例如图1中的右端)可以与盖板G相连，执行机构4的第 二端(例如图1中的左端)与第一输出轴沈相连，执行机构4由第一输出轴沈驱动旋转 从而打开或关闭盖板G。限位组件3分别与第二输出轴M和驱动器1相连，用于限制执行机构4的旋转角 度，从而限制盖板G的打开角度。更具体地，开盖时，执行机构4从第一位置(盖板G处于初 始关闭位置)向第二位置(盖板G处于预定角度的打开位置)旋转，当执行机构4旋转到 第二位置，即盖板G到达打开位置时，限位组件3向驱动器1发出停止信号从而停止驱动器 1。闭盖时，执行机构4从第二位置(盖板G处于预定角度的打开位置)向第一位置(盖板 G处于初始关闭位置)旋转，当执行机构4旋转到第一位置(盖板G处于初始关闭位置)， 即盖板G到达初始关闭位置时，限位组件3向驱动器1发出停止信号从而停止驱动器1。这里，术语“相连”应做广义理解，既包括机械连接，也包括电连接，既包括直接连 接，也包括间接连接。例如，驱动器1与减速器2的输入轴22相连是机械相连，可以直接相 连，也可通过齿轮副相连。再如，限位组件3与第二输出轴M相连是指限位组件3与第二 输出轴M机械连接，而限位组件3与驱动器1相连是指限位组件3与驱动器1电连接。需要说明的是，执行机构4的第一位置和第二位置根据具体应用和需要设定。如 上所述，第一位置可以是盖板G处于初始关闭位置时执行机构4所处的位置，第二位置可以 是盖板G处于预定角度的打开位置时执行机构4所处的位置。根据本实用新型实施例的开盖装置，通过限位组件3，可以将盖板G打开到任何要 求的预定打开位置，满足了不同的应用要求，实现了盖板G不同的开盖角度。如图1-4所示，在本实用新型的一些具体实施例中，限位组件3包括限位输入轴 32，限位输出轴37，第一限位开关6A，第二限位开关6B，和压块5。更具体地，限位输入轴32与第二输出轴M相连且限位输入轴M上安装有限位输 出齿轮33。限位输出轴37上安装有限位齿轮，限位齿轮与限位输出齿轮33啮合。在本实用新型的一些具体示例中，第二输出轴对的输出端(图2中的上端)安装 有第二输出齿轮27，限位输入轴32 (例如图3中的下端)上安装有与第二输出齿轮27啮合 的限位输入齿轮31。优选地，第二输出齿轮27和限位输入齿轮31为锥齿轮，由此可以提高 传动精度，而且方向可变性好，从而便于减速器2和限位组件3的布置。第一限位开关6A和第二限位开关6B分别与驱动器1相连。压块5安装在限位输 出轴37上，例如，如图4所示，压块5安装在限位输出轴37的上端。第一限位开关6A和第二限位开关6B所处的位置分别与执行机构4的第一位置和 执行机构4的第二位置对应，同时分别与盖板G的初始关闭位置和打开位置对应。在本实 用新型的一个具体示例中，第一限位开关6A和第二限位开关6B为微动开关。因此，当执行机构4旋转到第一位置时压块5触动第一限位开关6A，第一限位开关 6A向驱动器1发出停止信号以停止驱动器1。此外，当执行机构4旋转到第二位置时压块 5触动第二限位开关6B，第二限位开关6B向驱动器1发出停止信号以停止驱动器1。在本实用新型的一些实施例中，如图2所示，驱动器1例如为电机，电机的电机轴 上安装有驱动齿轮11，输入轴22的输入端(图2中的上端)安装有与驱动齿轮11啮合的 输入齿轮21。驱动齿轮11与输入齿轮21为直齿轮。如图3所示，在本实用新型的一些具体实施例中，限位齿轮包括第一限位齿轮34，
6第二限位齿轮35和第三限位齿轮36。第一限位齿轮34，第二限位齿轮35和第三限位齿轮 36沿限位输出轴37的轴向间隔地安装在限位输出轴37上。第一限位齿轮34，第二限位齿 轮35和第三限位齿轮36具有不同的齿数，限位输出齿轮33可选择性地与第一限位齿轮 34、第二限位齿轮35和第三限位齿轮36啮合，从而改变限位输入轴32与限位输出轴37之 间的传动比。这里，“可选择性”是指限位输出齿轮33根据需要与第一限位齿轮34、第二限 位齿轮35和第三限位齿轮36中的一个啮合，从而在第一限位开关6A和第二限位开关6B 位置不变的情况下，可以方便地调整盖板G的打开角度。如图2所示，在本实用新型的一个具体示例中个，减速器2为二级减速器，其中输 入轴22与第二输出轴M之间为蜗轮蜗杆传动，即通过蜗轮蜗杆副23相连。第二输出轴M 与第一输出轴26之间为直齿轮传动，即通过直齿轮副25相连。如图1所示，在本实用新型的一个实施例中，执行机构4包括第一连杆和第二连 杆，第一连杆和第二连杆间隔开平行设置，第一连杆和第二连杆的第一端(图1中的右端) 与盖板G相连，第一连杆和第二连杆的第二端(图1中的左端)与第一输出轴沈相连。在本实用新型的另一些实施例中，限位组件3为旋转编码器，旋转编码器安装在 第二输出轴M上且与驱动器1相连，旋转编码器可以根据限位输出轴37旋转的角度向驱 动器1发出停止或启动信号。下面简单描述根据本实用新型实施例的开盖装置的操作。根据本实用新型实施例的开盖装置，在开盖时，电机1通过减速器2驱动处于第一 位置的执行机构4旋转到第二位置，从而将盖板G从初始关闭位置打开。在盖板G到达要 求的打开位置时，限位组件3的限位输出轴37带动压块5压下第二微动开关6B，第二微动 开关6B向电机1发出停止信号，停止电机1的旋转，从而实现自动开盖功能。同理，在闭盖时，电机1通过减速器2将处于第二位置的执行机构4旋转到第一位 置，盖板G从打开位置到达关闭位置，当盖板G到达关闭位置时，限位输出轴37带动压块5 压下第一微动开关6A，第一微动开关6A向电机1发出停止信号，停止电机1的旋转，从而实 现自动闭盖功能。根据本实用新型实施例的开盖装置，通过调整第一微动开关6A和第二微动开关 6B位置，或者通过旋转与限位输出齿轮33啮合的限位齿轮，可以方便地调节执行机构4的 行程，从而调节盖板G的打开角度。下面参考图1描述根据本实用新型实施例的LED刻蚀机。如图1所示，根据本实用新型实施例的LED刻蚀机包括机体J，机体J内限定有传 输腔，所述传输腔具有开口 ；盖板G，盖板G用于打开和关闭所述传输腔的开口 ；和开盖装 置，所述开盖装置为上面参考根据本实用新型实施例描述的开盖装置，所述开盖装置可以
安装到机体J上且开盖装置的执行机构4与盖板G相连用于驱动盖板打开和关闭所述开□。根据本实用新型实施例的LED刻蚀机，可以方便地调整盖板G的打开角度，节省了 盖板G的打开和关闭时间，省时省力。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示 例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特 点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在 任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。 尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解 在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换 和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。
权利要求1.一种开盖装置，用于打开和关闭设备的盖板，其特征在于，包括驱动器；减速器，所述减速器具有输入轴、第一输出轴和第二输出轴，其中所述输入轴与所述驱 动器相连；执行机构，所述执行机构的第一端适于与所述盖板相连，所述执行机构的第二端与所 述第一输出轴相连以便所述执行机构由第一输出轴驱动旋转；和限位组件，所述限位组件分别与所述第二输出轴和所述驱动器相连以限制执行机构的 旋转角度。
2.根据权利要求1所述的开盖装置，其特征在于，所述限位组件包括限位输入轴，所述限位输入轴与所述第二输出轴相连且所述限位输入轴上安装有限位 输出齿轮；限位输出轴，所述限位输出轴上安装有限位齿轮，所述限位齿轮与所述限位输出齿轮 啮合；第一限位开关，所述第一限位开关与所述驱动器相连；第二限位开关，所述第二限位开关与所述驱动器相连；和压块，所述压块安装在所述限位输出轴上且在所述执行机构旋转到第一位置和第二位 置时分别触动第一限位开关和第二限位开关以停止所述驱动器。
3.根据权利要求2所述的开盖装置，其特征在于，所述限位齿轮包括第一至第三限位 齿轮，其中所述限位输出齿轮可选择性地与所述第一和第三限位齿轮啮合以改变所述限位 输入轴与限位输出轴之间的传动比。
4.根据权利要求2所述的开盖装置，其特征在于，所述第二输出轴的输出端安装有第 二输出齿轮，所述限位输入轴上安装有与第二输出齿轮啮合的限位输入齿轮。
5.根据权利要求4所述的开盖装置，其特征在于，所述第二输出齿轮与所述限位输入 齿轮为锥齿轮。
6.根据权利要求2所述的开盖装置，其特征在于，所述第一和第二限位开关为微动开关。
7.根据权利要求1所述的开盖装置，其特征在于，所述减速器为二级减速器，其中所述 输入轴与第二输出轴之间为蜗轮蜗杆传动，且所述第二输出轴与第一输出轴之间为直齿轮 传动。
8.根据权利要求1所述的开盖装置，其特征在于，所述驱动器为电机。
9.根据权利要求8所述的开盖装置，其特征在于，所述电机的电机轴上安装有驱动齿 轮，所述输入轴的输入端安装有与所述驱动齿轮啮合的输入齿轮。
10.根据权利要求1所述的开盖装置，其特征在于，所述执行机构包括第一和第二连 杆，所述第一和第二连杆间隔开平行设置，第一和第二连杆的第一端与盖板相连且第一和 第二连杆的第二端与所述第一输出轴相连。
11.根据权利要求1所述的开盖装置，其特征在于，所述限位组件为旋转编码器，所述 旋转编码器安装在第二输出轴上且与所述驱动器相连。
12.—种刻蚀机，其特征在于，包括机体，所述机体内限定有传输腔，所述传输腔具有开口 ；盖板，所述盖板用于打开和关闭所述传输腔的开口 ；和开盖装置，所述开盖装置与所述盖板相连用于驱动所述盖板打开和关闭所述开口，其 中所述开盖装置为根据权利要求1-11中任一项所述的开盖装置。
专利摘要本实用新型提出一种开盖装置，用于打开和关闭设备的盖板，包括驱动器；减速器，所述减速器具有输入轴、第一输出轴和第二输出轴，其中所述输入轴与所述驱动器相连；执行机构，所述执行机构的第一端与盖板相连，所述执行机构的第二端与所述第一输出轴相连以便所述执行机构由第一输出轴驱动旋转；和限位组件，所述限位组件分别与所述第二输出轴和所述驱动器相连以限制执行机构的旋转角度。根据本实用新型的开盖装置，可以方便地调整盖板的打开角度，省时省力。本实用新型还提出一种具有上述开盖装置的刻蚀机。
文档编号H01L21/00GK201868390SQ201020612990
公开日2011年6月15日 申请日期2010年11月17日 优先权日2010年11月17日
发明者郭峰 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司