电活性聚合物致动器的制作方法

文档序号:7019346阅读:225来源:国知局
专利名称:电活性聚合物致动器的制作方法
技术领域
这里公开的本发明总体上涉及电活性聚合物致动器。特别地,它涉及一种具有不对称分层结构、包括一个多功能电极、具有用于局域化平面外致动的能力的致动器。本发明还涉及一种制造这种致动器的方法。
背景技术
层压板(或夹层结构或分层材料)形式的介电致动器属于迅速发展的技术领域。简单的介电致动器可以包括电活性聚合物(EAP)层和电极对,该电极对用于施加静电力且由此导致聚合物层在切向(平面内)和/或横断(平面外)方向上的弹性形变。更复杂的介电致动器可以包括附加功能层,比如光学反射或抗反射层、纹理增强层、导电和/或导热
te寸寸o介电致动器对所施加电场响应的方式可能会受无源层的添加影响。公开为US2008/0289952的申请公开了一种涂覆有一个或多个无源聚合物层的致动器。这些无源层在由致动器施加在它们上的剪切力的作用下间接地对致动场中的变化作出响应。因此,如本申请的图1所示,致动器的电极E1、E2之间的有源区D的扩展将无源层PL1、PL2拉伸(stretch),使得在层压板TDU的外表面TDS上产生对应于有源区D边界的升高的边缘。(注意,电极El、E2尺寸的可见差异不是这种类型的所有致动器的共同特征。)为了进一步说明这种拉伸模式移动,图2示出了 EAP层202的位于两个电极210、211之间的那部分的压缩(以及伴随的平面拉伸)如何通过泊松效应导致周围的无源层210、211的放大的厚度收缩。构成升高的边缘的材料是通过使有源区拉伸成更薄形状而从有源区供应;这种拉伸可能不是在所有应用中都是可接受的。Koo, Jung 等人的 Development of soft-actuator-based wearable tactiledisplay, IEEE Trans.Robotics, vol.24, n0.3 (June 2008), pp.549 - 558 公开了一种介电致动器,其一部分能够翘曲(buckling)移动,如本申请的图3所示。致动器302、310,311的有源部分320被夹持在刚性边界框(未示出)内,因此不与周围部分321弹性接触。反而,夹持限制了切向扩展并且导致致动器在平面外偏斜,翘曲的优选方向由无源层301的存在限定。尽管这种类型的致动器可以实现相对较大的偏斜幅度,但是它们通常无法产生锐利边缘,因此对于触觉应用而言不是理想的。而且,已经证明翘曲模式致动器对于对称形状(比如正方形或圆形形状)而言性能最好,并且因此将不与太不规则的电极形状兼容。

发明内容
本发明的目的是克服这些限制,以及提供一种具有致动模式的、用于仅在平面内扩展至有限程度的同时产生相对锐利边缘的致动器。第二个目的是在没有添加另外的层的情况下通过结构上简单的致动器实现这一点。又一个目的是提供一种用于制造这种致动器的高效方法。
根据本发明的第一方面,这些目的中的至少一个由一种致动器实现,该致动器包括电活性聚合物(EAP)层和布置在EAP层的第一侧上的可拉伸电极结构。该电极结构在其弹性模量(或杨氏模量)小于或基本等于EAP层的弹性模量的意义上是可拉伸(或更软)的。该电极结构不需要覆盖EAP层的第一侧,而可以被制成格状或穿孔。根据本发明,致动器进一步包括布置在EAP层的第二侧上的对电极层。该对电极层比EAP层更坚硬,其弹性模量是EAP层的弹性模量至少10倍大,优选地至少50倍、更优选地至少100倍、甚至更优选地至少200倍以及最优选地至少500倍。(在各向异性材料的情况下,用于切向(平面内)变形的弹性模量是最相关的弹性模量)。当电极结构在EAP层的两端被称作其有源区域中施加电压时,该有源区域将横向压缩并且趋于令其面积增加。由于对电极层比可拉伸电极结构更坚硬,致动器将以局域化方式变形。更精确地,该变形将被局域化到有源区域及其紧邻处,使得该区域的内部平面外移动,同时保持基本平行于其原始位置的取向。有源区域边界处及其周围的地带在某种程度上将沿厚度方向延伸(run),并且通常将不平行于致动器的平面而取向。凭借其边界地带的弯曲,受压缩的EAP层可以驰豫到平衡状态,基本上不造成其周围变形;因此,部分地由于更坚硬的对电极层的缘故,电场诱导的尺寸扩展将基本上被局域化到有源区域,并且其大部分被边界地带自EAP层的平面的向外延伸所吸收。通过提供具有以此方式变形(下文中称为潜入模式(duck mode)变形)的能力的致动器,本发明实现了其第一和第二目的。在不默从特定理论模型的情况下,认为促进该局域化平面外变形的机制之一是以下事实:麦克斯韦(Maxwell)应力(在所有三维中)产生在有源区域中但不超出有源区域。因此,如果电极边缘是良好定义的,则锐利边缘更可能出现。EAP层更容易朝向不靠近无源层的自由电极扩展,并且因此将被定位在其上施加有电场的层压板的驰豫配置的凸侧上。本发明的优点在于,它在能耗小的情况下产生显著的垂直振幅(深拓扑结构)。这是因为,与在“用户”侧上具有厚度增强层的拉伸模式致动器相比,更小数量的材料被重定位。这是以下事实的结果:被致动的拉伸模式致动器中的厚度增强层被变形成其中它具有比驰豫状态更小的厚度的配置。增强层的两侧彼此靠近。相比之下,根据本发明的致动器可以通过在基本一个单个(横向)方向上令界定区域向平面外移动来创建纹理增强边缘;层的两侧被基本相互平行地位移。因此,本发明至少从触觉观点实现了可比较的纹理增强,同时在较低的局部应力下操作,使得所需的峰值电压更低且生命周期的能耗减少。而且,在相同的电压下可以达到更大变形。与US2008/0289952中公开的类型的致动器相比,本发明的另一个优点在于,预应变致动器膜的使用是非必须的。这简化了制造。预应变有助于拉伸模式变形和伴随形成升高的边缘,而非潜入模式变形;例如,预应变可以促成有源区域的边界周围EAP层的加厚。又一个优点在于,使用在切向(平面内)方向上可拉伸的电极同样不是必须的,因为在潜入模式下,边缘是由无源层的一部分下降创建的,而不是通过切向地拉伸无源层创建的。这为设计者提供了更大的自由;特别地,由于电极可以随后被提供为稳定的、基本不拉伸的表面的形式,因此可以直接在致动器上布置反射表面。作为另一个优点,本发明允许次秒级切换时间。在一些示例中,高达1000Hz的切换频率已经通过实验被测量到。对于由具有较小弯曲硬度的材料(即薄和/或具有小剪切模量的材料)制成的致动器而言,平面内的尺寸扩展将通常更局域化。该关系适用于致动器的所有组成部分,并且特别地适用于在致动器材料的给定组合中对边缘锐利度经常有影响的各个电极层。注意,对电极层是多功能的,它既充当电导体,又充当硬化层,授予致动器其特有的机械属性,并且因此促进致动器的结构紧凑性。对电极层进一步用于保护软EAP层,该EAP层在被人手指触摸时通常感觉是粘性的。类似的保护通过可拉伸电极将无法实现,因为这更薄、更软且不总是固体。在第二方面,本发明提供一种用于制造根据第一方面的致动器的方法。通过该方法,待产生的致动器在概念上被分成要单独制造的两个或更多个子层压板。每个子层压板包括一个或多个层并且通过单独且有可能并行的过程、或者通过直接制造或者通过获得预制材料来提供。在准备子层压板之后,后者被层压在一起以形成致动器。这些层压可以通过机械压缩、化学键合、热或声焊接、使用表面的无辅助粘附(比如通过范德华力)或者本领域中本身已知的一些其它层压方法而发生。参照本发明的第三目的,该方法特别地在下述情况下提高效率:子层压板中的至少一个包括多个键合层,包括经温度处理的组成部分、通过热量、辐射或化学添加剂固化的成分,单轴或双轴预拉伸的层、通过涂覆预拉伸的衬底制造的层,或者以耗时方式制造或需要在物理上与至少一个其它制造步骤分离地制造以避免污染或温度诱导损坏的任何其它组成部分。在一个实施例中,对电极层的(切向)弹性模量为EAP层的模量的至少50倍大,比如至少100倍大、比如至少200倍大、比如至少500倍大。在一个实施例中,对电极层的(切向)弹性模量和厚度的乘积是EAP层的模量的至少2倍大,比如至少10倍大、比如至少50倍大、比如至少100倍大。对于一些材料,已经发现软度、可拉伸性、硬度和相关机械属性由硬度指数的值更如实地反映,该硬度指数是厚度和弹性模量的乘积dXY(量纲:每单位长度的力)。对于这样的材料,对电极层比EAP层更坚硬的陈述将等价于以下叙述:对电极层具有比EAP层更大的硬度指数,即dc X Yc〉dEAP X Yeap。在一个实施例中,对电极层近似具有如由具有大约4GPa的弹性模量的材料的 层产生的(切向)硬度。在一个实施例中,除了已经描述的一个可拉伸电极之外,致动器包括一个对电极层,其在所有切向(平面内)方向上是机械均匀的。与此相对照,可用的翘曲模式致动器包括具有约束的切向可扩展性的层,其中这样的层通常被附着到EAP层。该约束可以由随表面变化的弹性属性或由布置在材料内的坚硬的或刚性的元件导致。因为这将使得致动器倾向于在翘曲模式而非期望的潜入模式中变形,因此本实施例具有均匀的对电极层。在一个实施例中,致动器层中的EAP层包括这样的成分,其包含选自下述列表中的至少一种材料:
丙烯酸树脂,例如3M VHB 带,
苯乙烯-(乙烯/ 丁烯)_苯乙烯嵌段共聚物(poly [styrene-b-(ethylene-co_butylene) -b-styrene]),
聚氨酯,
聚氯乙烯,
硅树脂,例如硅橡胶。
这些材料已经演示了作为EAP材料的有利属性。首先,它们具有等于或接近0.5的泊松比,这确保了接近不可压缩的行为,藉此切向收缩与横向扩展共同发生,且反之亦然。在示例中,已经通过实验发现它们如在前述实施例中那样当与无源层组合时呈现潜入模式行为。在一个实施例中,可拉伸电极结构包括这样的成分,该成分包含选自下述列表的至少一种材料:
炭黑,
碳纳米管,
石墨烯,
聚苯胺(PANI),以及
聚(3,4-乙烯二氧噻吩)(PEDOT),例如聚(3,4-乙烯二氧噻吩)聚(苯乙烯磺酸)(PED0T:PSS)。这些层具有低弹性硬度并且良好地与典型的EAP层协作。石墨烯、PAN1、PEDOT和PED0T:PSS是高度(尽管不必完全地)透明的,或者可以作为高度透明层应用,并且因此适合于光学(折射)应用。在一个实施例中,对电极包括光学反射表面,比如例如通过气相沉积涂覆有金属的表面。可替代地,它可以由诸如具有反射粒子含量的材料之类的光学反射材料制成。在该实施例中,对电极层实现了三重目的并且因此正面地有助于致动器结构的简化。如果对电极由透明材料制成,则反射层可以位于面向内(即面对EAP层)的一侧上或位于面向外的一侧上。反射表面适于反射预定波长范围内的电磁辐射。适当地,反射表面是基本平滑的以用于测量或成像目的,而如果反射器用于射束操纵、射束成形、重定向热辐射、集中光以用于光照等的“非成像光学”目的,则更简单的表面抛光会是足够的。反射器的几何形状是可通过改变施加在致动器的电极之间的电压调节的,这意味着这种反射器在功能上等价于若干固定反射器。特别地,反射表面的角度可以被调节成使得反射线的几何形状(特别是它们的传播方向)可以被控制。这种类型的可调节反射器在它们的驰豫状态下可能具有弯曲形状,例如形成凹面形状的顶表面,比如球形或抛物面形表面。在前述实施例的进一步发展中,光学反射表面被提供在面向外的一侧上,因此作为整体被提供在致动器的外侧上。这种结构的优点在于,光在反射之前和之后不经过对电极材料,否则可能暗示色移、一般衰减或其它不期望的改变。作为可替代方案,反射层被布置在内侧上,面对EAP层。如果反射层是对电极的仅有的带电层(electrically live layer)并且透明层是电绝缘的,贝U后者可以充当用户的保护装置。在一个实施例中,对电极层是聚合物的。它可以是金属化聚酯膜,比如金属化聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)。特别地,可以使用招涂覆的Mylar 或Steinerfilm 。适当地,金属涂层是如此薄和/或机械地相似,使得它对对电极层的机械属性的影响有限。例如,反射层顺从弯曲,以便不限制潜入模式行为。在一个实施例中,对电极层相对较薄。这确保了足够的顺从性(compliancy),使得例如在有源电极区域的边界处出现的锐利边缘被允许在致动器的表面处形成。所选择的对电极材料优选地与对电极层的期望厚度相匹配,使得实现了适当的(切向)硬度。特别地,厚度可以是至多10 u m。优选地,它至多为5 y m且最优选地至多为2 y m。在一个实施例中,本发明的致动器进一步包括布置在电活性聚合物层的其上布置有可拉伸电极结构(即背对其上将产生升高的或触觉结构的表面)的那侧上的无源层。事实上,主要预期无源层形成支持表面以将致动器固定到衬底。为了实践的目的,衬底可以被认为是刚性的。在大多数实施例中,它不被预期作为纹理或厚度增强层。该衬底可以是刚性表面,例如致动器用作输入或输出设备的装置的外壳的一部分。显然,利用该结构,对电极层仍然形成致动器的外表面,从而保护较软层免受触摸。为了实现其作为支持和/或安装层的目的,无源层优选地很软,以便不影响致动器响应于所施加的电场的移动。特别地,该无源层可以包括软弹性体和/或软泡沫。优选地,无源层的厚度大于或基本等于EAP层的厚度。这是有利的,特别是当使用软无源层时,因为甚至大的变形将不会显著影响无源层的局部回弹性。在一个实施例中,无源层至少在所有切线方向上是机械均匀的。不同于有时形成可用的翘曲模式致动器的一部分以抑制它们的扩展性的非均匀无源层,这种均匀无源层在潜入模式下增进了移动。在一个实施例中,无源层是固体的并且由软泡沫材料制成。在一个实施例中,非固体无源层起支持层的作用。例如,支持层可以仅被布置在致动器的边缘处,使得致动器自由地悬浮在边缘之间。作为可替代方案,无源层被布置在致动器之下,但是包含在有源区域处的腔(沿横向方向延伸的通孔),在所述腔中可能发生变形。以此方式布置的非固体无源层提供了支持,同时最小程度地干扰致动器的变形能力。注意,本发明涉及权利要求中所述的特征的所有可能组合。


现在将参照示出本发明实施例的附图更详细地描述本发明的这个和其它方面,在附图上:
图1和2示出具有无源层以用于在拉伸模式中移动的可用致动器;
图3示出具有无源层和具有约束的切向可扩展性的部分以用于在翘曲模式中移动的可用致动器;
图4示出在休息模式中的根据本发明实施例的致动器;
图5示出在受致动模式中的图4的致动器;以及 图6示出根据本发明实施例的包括无源层的致动器。应当指出,这些图总体上不是按比例的。除非另外地指示,图上的向上和向下方向不一定对应于重力场的取向。
具体实施例方式图4是根据本发明实施例的致动器的横截面图。利用前面章节中已讨论的特性,在电活性聚合物(EAP)层402的一侧上布置可拉伸电极结构403。结构403在图上被示出为覆盖EAP层402的顶侧的固体层,但是无论如何可以被具体化为透空式结构,例如交叉细长的垂片(tab)或舌片的格,其具有适当选择的总体密度以将低的总体弹性硬度与所施加电场的充分的(切向)均匀性结合。已经在上文中例示了用于可拉伸电极结构的适当材料。致动器进一步包括固定到EAP层402的对电极层401。对电极层401是导电的并且与可拉伸电极结构403的主要区别是至少在切向(平面内)方向上显著更硬。上文已经给出了用于选择对电极材料的机械属性的指南;例如,对电极的弹性模量可以大于lGPa,适当地约为4GPa,而EAP的弹性模量可以在从IOkPa到5MPa的范围内。与功率单元410 —起,可拉伸电极结构403和对电极层401可操作用来跨过EAP层402施加电场。如图4进一步示出,电极401、403中的每一个被分段成多个可替代的区域,这些区域可以使用相应开关411、413来选择,所述开关用于将一区域连接到功率单元410中的电压源412。图5示出在受致动状态下图4的致动器,其中非零电场将EAP层402的变形诱导成减少的厚度并且通过不可压缩性而诱导成更大的表面积。致动器驰豫成图上所示的形状,其中表面积增加的一部分通过以下事实被吸收:所选的有源区域的边界地带从EAP层402的平面向外延伸,从而限制了有源区域周围的平面内扩展。值得注意的是沿着有源区域的边界地带的相对锐利的角部,电压在所述角部中被施加。这些角部使得在致动器的顶表面上产生浮雕图案。为了制造图4和5中示出的致动器,可以根据下面给出的示例或其可能变形之一来进行。图6是致动器的横截面图。该致动器包含对电极层601、厚度为dp的EAP层602以及可拉伸电极结构603。该致动器进一步包括固定到致动器的可拉伸电极侧且具有厚度dEAP的无源层604。无源层604优选地比EAP层602稍厚,从而允许致动器以非限制方式变形,即使无源层604被附着到位于该图上致动器的顶侧上的衬底(未示出)。事实上,当致动器与衬底之间的无源层604呈现大的横向压缩时,无源层604可以将明显的反作用力局部地施加到致动器上,从而偏离其预期目的以中性且均等方式支持致动器。图6中所示的致动器可以以与图4的致动器相似的方式制造,其或者具有反射(例如金属化)对电极层或者非反射对电极层。无源层604可以直接在可拉伸电极结构603的顶部上沉积并固化,只要该操作不涉及对致动器潜在地有害的化学物质、辐射、温度或其它处理。作为可替代方案,无源层604以单独的过程制造并且然后被键合到致动器。后一种可替代方案可能减少制造所需时间并且还可能有利地限制对已完成的层压板的那些层的污染和破坏。无源层604 —般地可以包含与EAP层602相同的材料或者类似的材料。优选地,无源层604与EAP层602 —样软或比它更软。无源层604例如可以由诸如Silastic 的软弹性体制成。当选择无源层材料时,也可以考虑它的键合到预期衬底的能力。尽管在图中象征性地被示出为固体,但是无源层604可以包括一个或多个腔。作为一个示例,可以紧邻每一个有源区域(或每个单独可操作的电极部分)提供腔。因此,在致动器被部署在水平位置的特定情况下,在每个有源区域的直接上方或下方存在腔。作为另一示例,一个腔可以在所有有源区域上延伸,使得致动器主要在其边缘处得到支持(保持)。如果支持层604包括腔,则在支持层604被固定到致动器之前,这些腔优选地与相应电极的有源区域对准。设想将本发明应用到自适应光学器件,特别是自适应照明应用。例如,照明器可以设有允许所发射的光在空间重定向的自适应镜。当透明电极和EAP材料被选择时,本发明也可以具体化为可调节的折射元件。而且,致动器的顶层可以用来实现用于与用户交互的触觉表面,比如具有升高的按钮的拓扑结构的触摸屏。本领域技术人员认识到,本发明绝不限于上述优选实施例。相反,在所附权利要求的范围内,许多修改和变形是可能的。例如,本申请中公开的实施例可以通过替换材料或添加另外的层来改变,并且然而可以凭借新结构的不对称而在通电时展示类似潜入模式的行为。示例
不限于此,本发明将通过一个关于图4和5所示类型的致动器的示例来说明。NusiI CF19-2186的80-1i m层形式的EAP膜通过刮刀涂布形成于适当表面(比如Teflon 板)上。在烤箱中的固化处理之后,获得了性能良好的介电致动膜。其次,可拉伸电极被布置在介电膜的一侧上。出于本申请的目的,“可拉伸的”特别地意味着它可以显著地改变长度而没有显著的材料失效,比如机械破裂或导电性损失。在该示例中,可拉伸电极由炭黑制成。在介电膜的另一侧上,沉积(覆盖)铝涂覆的1.5 iim厚的Mylar 箔,以用作对电极和反射表面二者。Mylar 箔利用其反射表面被应用在外侧上,因为这给出了更中性的、不受My I ar 膜的光学属性影响的反射。根据以上示例的致动器呈现了潜入模式行为,这被认为是由于PET膜引入的系统不对称而造成的。在其中施加了电场的有源区域,PET膜将在定义良好的区域中潜入至致动器平面之下。在网格形、非固体可拉伸电极的特定情况下,电场在构成网格的带条下面将是最强的,其中在所述带条处每侧上的电极结构重叠。在高电场强度的这些区域中,使用光学探针测量到高达30 的高度差和陡峭的局部弯曲角。如果网格的带条以稀疏的方式布置,则出现中间区域,在该中间区域中局部电场不足以强至造成致动器变形。即使预期电场相对于切向坐标连续变化,电场低于致动阈值的中间区域通常被清楚地定界。 上面的示例可以相对于下述改变:
EAP层的厚度,其范围可以是从IOiim到150um ;
EAP材料的选择:通常可以使用软介电弹性体;Nusil 的替代方案是丙烯酸树脂(比如3M VHB 4905或4910)、聚氨酯、聚氯乙烯以及若干硅橡胶(比如Wacker Elastosil RT625、Dow Corning WL3010、WL5331、HS3、Sylgard 186、184);
可拉伸电极材料的选择:可替代方案包括PEDOT或碳纳米管;以及对电极材料的选择,其可以用Steinerfilm 或某种其它PET膜取代,其被作为制成品购买或在单独的、可能并行的过程中产生。
权利要求
1.一种致动器,包括: 电活性聚合物层(402,602), 可拉伸电极结构(403,603),其布置在电活性聚合物层(402,602)的第一侧上,以及 对电极层(401,601),其布置在电活性聚合物层(402,602)的第二侧上, 其中可拉伸电极结构(403,603)具有切向弹性模量Y#其小于或基本等于电活性聚合物层(402,602)的切向弹性模量Yeap,以及 其中对电极层(601)的切向弹性模量Y。与电活性聚合物层(602)的切向弹性模量Yeap的比率Ye/YEAP至少为10。
2.根据权利要求1的致动器,其中对电极层(401,601)在所有切线方向上是机械均匀的。
3.根据权利要求1的致动器,其中电活性聚合物层(402,602)包括选自由下述构成的群组的材料:丙烯酸树脂、苯乙烯_(乙烯/ 丁烯)_苯乙烯嵌段共聚物、聚氨酯、聚氯乙烯以及硅树脂。
4.根据权利要求1的致动器,其中可拉伸电极结构(403,603)包括选自由下述构成的群组的材料:炭黑、碳纳米管、石墨烯、聚苯胺以及聚(3,4-乙烯二氧噻吩)。
5.根据权利要求1的致动器,其中对电极层(401,601)包括光学反射表面。
6.根据权利要求5的致动器,其中对电极层(401,601)的光学反射表面是致动器的外表面。
7.根据权利要求1的致动器,其中对电极层(401,601)包括金属化的聚合物膜。
8.根据权利要求1的致动器,其中对电极层(401,601)的厚度为至多IOiim。
9.根据权利要求1的致动器,进一步包括固定到电活性聚合物层(402,602)的第一侧的无源层¢04),该无源层(604)形成支持层以将致动器固定到衬底。
10.根据权利要求9的致动器,其中无源层(604)在所有切线方向上是机械均匀的。
11.根据权利要求9的致动器,其中无源层(604)包含至少一个腔。
12.根据权利要求9的致动器,其中无源层(604)的厚度大于或基本等于电活性聚合物层(402,602)的厚度。
13.根据权利要求9的致动器,其中无源层(604)包括软弹性体。
14.根据权利要求9的致动器,其中对电极层(401,601)形成致动器的外表面。
15.一种用于制造根据权利要求1的致动器的方法,包括以下步骤: 限定致动器到子层压板的分割; 提供子层压板,至少一个子层压板包括固化的聚合物;以及 将这些子层压板结合在一起以形成致动器。
全文摘要
一种致动器包括电活性聚合物层(402)和布置在电活性聚合物层的第一侧处的可拉伸电极结构(403),并且另外包括布置在电活性聚合物层的第二侧上的对电极层(401),其中对电极层的弹性模量YC与电活性聚合物层的弹性模量YEAP的比率YC/YEAP至少为10。当被电极横向压缩时,电活性聚合物将切向地扩展,并且致动器将驰豫成其中电极区域的内部平行于设备的平面而显著地凹进的形状,而面积增加的显著部分被在电极边界处出现的平面外弯曲吸收(潜入模式)。本发明可以被实施为具有可变几何形状的光学反射或折射设备。
文档编号H01L41/09GK103098250SQ201180043605
公开日2013年5月8日 申请日期2011年8月31日 优先权日2010年9月9日
发明者D.布罗克肯, H.德康宁, W.M.马塔姆, F.M.H.克罗姆沃伊特斯, J.沃格特, F.J.沃斯森 申请人:皇家飞利浦电子股份有限公司
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