一种晶片清洗加热石英缸的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种晶片清洗加热石英缸，包括有石英缸体，其特征在于：在所述石英缸体的外部设置有石英缸壁的保护层，在所述石英缸体的底部设置有排液口、阀门，在所述石英缸体上还设置有加热装置。本发明的有益效果是：1、保护层材质为耐酸耐高温且不易变形的PVC塑料材质可以有效的保护石英缸体结构；2、带保护层加热丝镶嵌在石英缸壁四周及底部增加有效加热面积，提高加热速率；排液口在石英缸底部可以将废液全部排出，提高其操作安全性能；内置热电偶实时监控溶液温度，断路器接收温度显示器控制指令进行实时通电断电加热保障了工人的身体健康。
【专利说明】一种晶片清洗加热石英缸
【技术领域】
[0001]本发明涉及的是半导体电子元器件制造【技术领域】，尤其是涉及一种晶片清洗加热石英缸的改进。
【背景技术】
[0002]半导体晶片在生产过程中因其特性需要在加热后的溶液中进行清洗作业，而目前使用的加热方式为将盛有溶液的普通玻璃烧杯在通电加热板上进行加热，此中加热方式的局限性成为提高生产效率的制约因素。其缺点如下:玻璃烧杯的容积制约晶片清洗数量；更换加热溶液操作不方便，且存在一定危险性；加热板加热烧杯内溶液方式为底部加热，力口热速率缓慢；加热板通电电极裸露在外，存在安全隐患也存在安全隐患。这是现有技术的不足之处。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于，克服现有技术的不足，提供了一种结构简单、提高效率、安全使用的一种晶片清洗加热石英缸。
[0004]为解决上述技术问题，本发明的技术方案为:一种晶片清洗加热石英缸，包括有石英缸壁，其特征在于:在所述石英缸壁的外部设置有石英缸壁的保护层，在所述石英缸壁的底部设置有排液口、阀门，在所述石英缸壁上还设置有加热装置。
[0005]本发明的进一步改进有，所述加热装置包括有设置在所述石英缸壁内的加热丝、热电偶，与所述热电偶依次相连的断路器、温度显示器。
[0006]本发明的进一步改进还有，所述加热丝的外壁设置保护层。加热丝保护层材质为高级绝缘胶。
[0007]该装置中保护层材质为耐酸耐高温且不易变形的PVC塑料材质可以有效的保护石英缸体结构，带保护层加热丝镶嵌在石英缸壁四周及底部增加有效加热面积，提高加热速率，排液口在石英缸底部可以将废液全部排出，提高其操作安全性能，内置热电偶实时监控溶液温度，断路器接收温度显示器控制指令进行实时通电断电加热；石英缸容积决定晶片清洗数量，石英缸四周及底部镶嵌的加热丝增加了溶液有效加热面积，从而提高了加热速率，排液口的设计提高了废液排放的安全性能，内置热电偶与断路器、温度显示器组成温控系统提高溶液温度稳定性。
[0008]说明书中没有描述的结构属于现有技术。石英缸壁的保护层材料为PVC。
[0009]本方案的有益效果可根据对上述方案的叙述得知，一种晶片清洗加热石英缸，包括有石英缸壁，其特征在于:在所述石英缸壁的外部设置有石英缸壁的保护层，在所述石英缸壁的底部设置有排液口、阀门，在所述石英缸壁上还设置有加热装置。本发明的有益效果是:1、保护层材质为耐酸耐高温且不易变形的PVC塑料材质可以有效的保护石英缸体结构；2、带保护层加热丝镶嵌在石英缸壁四周及底部增加有效加热面积，提高加热速率；排液口在石英缸底部可以将废液全部排出，提高其操作安全性能；内置热电偶实时监控溶液温度，断路器接收温度显示器控制指令进行实时通电断电加热保障了工人的身体健康。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1为本发明的结构示意图，图2为本发明的俯视结构示意图，图3为发明温度控制的方框图。图中:I是石英缸壁的保护层，2是石英缸壁，3是加热丝，4是排液口，5是热电偶，6是断路器，7是温度显示器，8是阀门。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步详细说明。
[0012]下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步详细说明，通过附图可以看出，一种晶片清洗加热石英缸，包括有石英缸壁，在石英缸壁2的外部设置有石英缸壁的保护层1，在石英缸壁2的底部设置有排液口 4、阀门8，在石英缸壁2上还设置有加热装置。加热装置包括有设置在石英缸壁2内的加热丝3、热电偶5，与热电偶5依次相连的断路器6、温度显示器7。加热丝3的外壁设置保护层。石英缸壁的保护层I材料为PVC。
[0013]当然，上述说明并非对本发明的限制，本发明也不仅限于上述举例，本【技术领域】的普通技术人员在本发明的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种晶片清洗加热石英缸，包括有石英缸壁，其特征在于:在所述石英缸壁的外部设置有石英缸壁的保护层，在所述石英缸壁的底部设置有排液口、阀门，在所述石英缸壁上还设置有加热装置。
2.根据权利要求1所述的一种晶片清洗加热石英缸，其特征在于:所述加热装置包括有设置在所述石英缸壁内的加热丝、热电偶，与所述热电偶依次相连的断路器、温度显示器。
3.根据权利要求1或2所述的一种晶片清洗加热石英缸，其特征在于:所述加热丝的外壁设置保护层。
【文档编号】H01L21/00GK103560074SQ201310531220
【公开日】2014年2月5日 申请日期:2013年11月1日 优先权日:2013年11月1日
【发明者】郭城, 吕明, 徐明星, 郭英云, 纪大鹏, 赵海玲 申请人:山东科芯电子有限公司