通过栅氧的双氧化提高栅氧均匀性的方法
【专利摘要】本发明提供了一种通过栅氧的双氧化提高栅氧均匀性的方法，包括：第一步骤，利用有源区光罩对氧化层和氮化硅层刻蚀，形成浅沟道隔离；第二步骤，对浅沟道底部和侧壁进行氧化以形成浅沟道氧化层；第三步骤，对浅沟道填充介质并对填充的介质进行平坦化处理；第四步骤，用于去除氧化层和氮化硅层；第五步骤，用于对衬底进行第一次氧化以形成第一氧化层；第六步骤，用于完全去除第一氧化层；第七步骤，用于对衬底进行第二次氧化以形成作为栅极氧化层的第二氧化层；第八步骤，用于在第二氧化层上进行多晶硅淀积以形成悬浮栅层。
【专利说明】通过栅氧的双氧化提高栅氧均匀性的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造领域，具体涉及CMOS的工艺优化；更具体地说，本发明涉及一种通过栅氧的双氧化提高栅氧均匀性的方法。
【背景技术】
[0002]随着CMOS半导体器件工艺的发展以及按比例尺寸缩小，栅极氧化层的厚度越来越薄，从而导致栅极氧化层的均匀性控制越来越难。栅氧边缘的变薄，会导致边缘的击穿电压比中间要低，或者会导致漏电，从而导致器件的缺陷。
[0003]在65纳米闪存技术中，由于产品要经过上万次的擦出和写入，所以栅氧的质量是闪存的一个关键因素。如图1至图5所示，首先利用有源区光罩对氧化层20和氮化硅层30以及衬底10进行浅沟道刻蚀以形成浅沟道隔离(如图1所示)；随后对浅沟道底部和侧壁进行氧化以形成浅沟道氧化层40 (如图2所示)；在浅沟道填充介质50并进行平坦化处理(如图3所示)；然后去除氧化层20和氮化硅层30(如图4所示)；对衬底10进行氧化以形成栅氧层60，并且在栅氧层60上进行多晶硅淀积以形成悬浮栅层70 (如图5所示)。
[0004]但是，图1至图5所示的根据现有技术的栅氧形成工艺所得到的栅氧均匀性欠佳，由此得到的器件性能(例如器件的击穿电压特性等)不理想，需要进行改进。
【发明内容】
[0005]本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种能够通过栅极氧化层的双氧化提高栅氧均匀性的方法，其改善了硅表面的表面态，优化栅氧边缘氧化层，抑制了边缘氧化层的变薄现象，从而提高栅极氧化层的均匀性，提高击穿电压。
[0006]为了实现上述技术目的，根据本发明，提供了一种通过栅氧的双氧化提高栅氧均匀性的方法，包括:第一步骤，利用有源区光罩对氧化层和氮化硅层刻蚀，形成浅沟道隔离；第二步骤，对浅沟道底部和侧壁进行氧化以形成浅沟道氧化层；第三步骤，对浅沟道填充介质并对填充的介质进行平坦化处理；第四步骤，去除氧化层和氮化硅层；第五步骤，对衬底进行第一次氧化以形成第一氧化层；第六步骤，完全去除第一氧化层；第七步骤，对衬底进行第二次氧化以形成作为栅极氧化层的第二氧化层；第八步骤，在第二氧化层上进行多晶硅淀积以形成悬浮栅层。
[0007]优选地，第二氧化层的厚度大于第一氧化层的厚度。
[0008]优选地，在第四步骤中通过湿法去除来完全去除氮化硅层。
[0009]优选地，在五步骤中通过低温湿氧氧化工艺形成第一氧化层。
[0010]优选地，在第六步骤中通过湿法去除来完全去除第一氧化层。
[0011]优选地，在第七步骤中通过炉管干氧氧化工艺生长作为所需的栅极氧化层的第二氧化层。
[0012]本发明引入了湿法刻蚀和栅氧氧化工艺，改善栅氧厚度的均匀性，提高栅氧边缘的击穿电压，从而提高器件的性能，而且此工艺不仅可以用于闪存工艺，也可以应用到CMOS工艺中。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中:
[0014]图1至图5示意性地示出了根据现有技术的栅氧形成工艺的各个步骤。
[0015]图6至图9示意性地示出了根据本发明优选实施例的通过栅氧的双氧化提高栅氧均匀性的方法的各个步骤。
[0016]需要说明的是，附图用于说明本发明，而非限制本发明。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。
【具体实施方式】
[0017]为了使本发明的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本发明的内容进行详细描述。
[0018]图6至图9结合之前的图1至图4示意性地示出了根据本发明优选实施例的通过栅氧的双氧化提高栅氧均匀性的方法的各个步骤。
[0019]如图1至图4以及图6至图9所示，根据本发明优选实施例的通过栅氧的双氧化提高栅氧均匀性的方法包括:
[0020]第一步骤，利用有源区光罩对氧化层20和氮化硅层30以及衬底10进行浅沟道刻蚀以形成浅沟道隔离(如图1所示)；
[0021]第二步骤，对浅沟道底部和侧壁进行氧化以形成浅沟道氧化层40(如图2所示)；
[0022]第三步骤，在浅沟道填充介质50并进行平坦化处理(如图3所示)；
[0023]第四步骤，去除氧化层20和氮化硅层30 (如图4所示);例如，可通过湿法去除来完全去除氮化硅层30。
[0024]第五步骤，对衬底10进行第一次氧化以形成第一氧化层81 (如图6所示)；例如，可通过低温湿氧氧化工艺形成第一氧化层81 ；
[0025]第六步骤，完全去除第一氧化层81 (如图7所示);例如，可通过湿法去除来完全去除第一氧化层81。
[0026]第七步骤，对衬底10进行第二次氧化以形成作为栅极氧化层的第二氧化层82 (如图8所示)；例如，可通过炉管干氧氧化工艺生长作为所需的栅极氧化层的第二氧化层82 ；
[0027]第八步骤，在第二氧化层82上进行多晶硅淀积以形成悬浮栅层70 (如图9所示)。
[0028]优选地，第二氧化层82的厚度大于第一氧化层81的厚度，以节省工艺成本。例如，通过低温湿氧法生长20A厚的第一氧化层81。之后可利用稀释氢氟酸(DHF)去除生长的第一氧化层81，然后通过炉管高温生长100A的第二氧化层82(栅氧)。
[0029]下述表I列表显示了根据本发明的栅极双氧化和根据现有技术的栅氧工艺得到的器件的击穿电压的对比，可以看出栅极双氧化之后的树状有源区和大块有源区的击穿电压差值从之前的0.5V减少到了 0.3V，栅极双氧会改善栅氧边缘的氧化层。
[0030]表I
[0031]工艺条件I树状有源区击穿电压 I大块有源区击穿电压I大块有源区和树状有源区差值栅氧单次氧化(原工艺)10.8V11.3V0T5V
栅极双氧化(新工艺) 11.1V11.4VOv
[0032]实际上，第一次栅氧(第一氧化层81)之前的少量的刻蚀(湿法刻蚀)可以改善硅表面的粗糙度，从而提高栅氧的均匀性；第一栅氧氧化可以修复硅表面的界面态，从而提高栅氧的均匀性。
[0033]由此，本发明引入了湿法刻蚀和栅氧氧化工艺，改善栅氧厚度的均匀性，提高栅氧边缘的击穿电压，从而提高器件的性能，而且此工艺不仅可以用于闪存工艺，也可以应用到CMOS工艺中。
[0034]本发明的方法至少具有下述优势:
[0035]1.通过引入一次栅极薄氧化层，修复栅氧的边缘，提高栅氧的均匀性；
[0036]2.均匀的栅极氧化层，会提高边缘的击穿电压，从而提高器件的性能；
[0037]3.本方法适用于半导体栅极氧化层的均匀性。
[0038]此外，需要说明的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。
[0039]可以理解的是，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。
【权利要求】
1.一种通过栅氧的双氧化提高栅氧均匀性的方法，其特征在于包括: 第一步骤，利用有源区光罩对氧化层和氮化硅层刻蚀，形成浅沟道隔离； 第二步骤，对浅沟道底部和侧壁进行氧化以形成浅沟道氧化层； 第三步骤，对浅沟道填充介质并对填充的介质进行平坦化处理； 第四步骤，去除氧化层和氮化硅层； 第五步骤，对衬底进行第一次氧化以形成第一氧化层； 第六步骤，完全去除第一氧化层； 第七步骤，对衬底进行第二次氧化以形成作为栅极氧化层的第二氧化层； 第八步骤，用于在第二氧化层上进行多晶硅淀积以形成悬浮栅层。
2.根据权利要求1所述的通过栅氧的双氧化提高栅氧均匀性的方法，其特征在于，第二氧化层的厚度大于第一氧化层的厚度。
3.根据权利要求1或2所述的通过栅氧的双氧化提高栅氧均匀性的方法，其特征在于，在第四步骤中通过湿法去除来完全去除氮化硅层。
4.根据权利要求1或2所述的通过栅氧的双氧化提高栅氧均匀性的方法，其特征在于，在五步骤中通过低温湿氧氧化工艺形成第一氧化层。
5.根据权利要求1或2所述的通过栅氧的双氧化提高栅氧均匀性的方法，其特征在于，在第六步骤中通过湿法去除来完全去除第一氧化层。
6.根据权利要求1或2所述的通过栅氧的双氧化提高栅氧均匀性的方法，其特征在于，在第七步骤中通过炉管干氧氧化工艺生长作为所需的栅极氧化层的第二氧化层。
【文档编号】H01L21/28GK104167354SQ201410390774
【公开日】2014年11月26日 申请日期:2014年9月18日 优先权日:2014年9月18日
【发明者】秦佑华, 陈广龙, 殷冠华 申请人:上海华力微电子有限公司