液晶显示装置和半导体装置的制作方法

文档序号:14135713阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及液晶显示装置和半导体装置。在液晶显示装置的像素部中,第一晶体管包括第一栅电极、栅极绝缘层、第一氧化物半导体层、第一源和漏电极;氧化物绝缘层在第一源和漏电极上;像素电极经第一接触孔与第一源或漏电极电连接。在同一衬底上的驱动电路部中,第二晶体管包括第二栅电极、栅极绝缘层、第二氧化物半导体层、第二源和漏电极;氧化物绝缘层在第二源和漏电极上;第三导电层在氧化物绝缘层上;第二氧化物半导体层夹在第二栅电极和第三导电层间;通过加工同一导电膜形成第一及第二栅电极和第一导电层;第二导电层包括第二和第三接触孔中的区域;第三接触孔包括重叠于第二接触孔的区域;第一导电层经第二导电层与第二源或漏电极电连接。

技术研发人员:山崎舜平;坂田淳一郎;坂仓真之;及川欣聪;冈崎健一;丸山穗高
受保护的技术使用者:株式会社半导体能源研究所
文档号码:201510001758
技术研发日:2010.08.04
技术公布日:2018.04.10

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