技术总结
一种晶体管及其形成方法，其中，该形成方法包括：提供半导体衬底；在所述半导体衬底内形成悬空的纳米线；形成隔离层，所述隔离层覆盖纳米线底部的半导体衬底表面；形成覆盖所述纳米线表面的沟道层和覆盖所述沟道层表面的接触层；刻蚀所述接触层形成暴露出所述沟道层的沟槽；在所述沟槽内形成覆盖所述沟道层表面的势垒层；形成包裹所述势垒层并包裹部分所述接触层的栅极结构；形成位于接触层的源极和漏极，且所述源极和漏极分别位于栅极结构两侧。形成的晶体管对沟道控制能力较好。
技术研发人员：肖德元
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
文档号码：201510149074
技术研发日：2015.03.31
技术公布日：2016.11.23