一种超结二极管的制作方法及超结二极管与流程

文档序号:11836937阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种超结二极管的制作方法,其特征在于,包括:

在硅衬底层上生长N型外延层;

刻蚀所述N型外延层形成沟槽;

向所述沟槽内注入P型离子,形成P型区域;所述P型区域与所述硅衬底层不接触;

淀积介质层,并刻蚀形成介质区域,所述介质区域位于所述P型区域之上;

制备金属层,形成肖特基接触。

2.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述刻蚀所述N型外延层形成沟槽之前,还包括:

在所述N型外延层形成掩膜层,并刻蚀所述掩膜层形成至少一个注入窗口;

所述刻蚀所述N型外延层形成沟槽,包括:

根据所述注入窗口,刻蚀所述N型外延层形成沟槽;

所述淀积介质层之前,还包括:

去除所述N型外延层上的掩膜层。

3.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述介质区域的深度与所述沟槽的深度相同;

所述制备金属层,形成肖特基接触,包括:

在所述外延层表面和所述介质区域表面制备金属层,以使所述金属层与所述N型外延层形成肖特基接触。

4.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述介质区域的深度大于所述沟槽的深度;

所述制备金属层,形成肖特基接触,包括:

在所述外延层表面制备金属层,以使所述金属层与所述N型外延层形成肖特基接触。

5.如权利要求1-4任一项所述的制作方法,其特征在于,所述介质区域 底部与所述硅衬底层之间的距离不小于20微米。

6.一种超结二极管,其特征在于,所述超结二极管至少包括:

设置于所述硅衬底层上的N型外延层;

设置于所述N型外延层内的至少一个P型区域以及位于所述P型区域上的介质区域;所述P型区域与所述硅衬底层不接触;

至少设置于所述N型外延层上的金属层。

7.如权利要求6所述的超结二极管,其特征在于,所述金属层仅设置于所述N型外延层表面。

8.如权利要求6所述的超结二极管,其特征在于,所述金属层设置于所述N型外延层表面和所述介质区域表面。

9.如权利要求6-8中任一项所述的超结二极管,其特征在于,所述介质区域底部与所述硅衬底层之间的距离不小于20微米。

10.如权利要求6-8中任一项所述的超结二极管,其特征在于,所述金属层为Ti、Pt、W、Ni、Au、Co、Pb、Ag、Al或其任意组合的合金。

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