用于相变存储器元件的阻挡膜技术与构造的制作方法

文档序号:11636272阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本公开的实施例描述了用于相变存储器元件的阻挡膜技术和构造。在实施例中,装置包括多个相变存储器(PCM)元件,其中所述多个PCM元件中的单独的PCM元件包括:底部电极层、设置在所述底部电极层上的选择器件层、设置在所述选择器件层上的中间电极层、设置在所述中间电极层上的相变材料层、设置在所述相变材料上的顶部电极层、以及阻挡膜,所述阻挡膜包括IV族过渡金属、VI族过渡金属、碳(C)和氮(N),所述阻挡膜设置在所述底部电极层与所述顶部电极层之间。可以描述和/或要求保护其它实施例。

技术研发人员:C·W·佩茨;Y·J·胡;D·W·柯林斯;A·麦克蒂尔
受保护的技术使用者:英特尔公司
技术研发日:2015.11.05
技术公布日:2017.08.01
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