一种基于石墨烯超表面结构的可调谐吸收型传感器结构及其应用的制作方法与工艺

文档序号:12604569阅读:来源:国知局
一种基于石墨烯超表面结构的可调谐吸收型传感器结构及其应用的制作方法与工艺

技术特征:
1.一种调谐石墨烯超表面吸收结构吸收频点的方法,所述石墨烯超表面吸收结构,包括中空上下敞口的极性基体(3),所述极性基体(3)的中空部由下至上依次填充有导体材料层(1)和半导体材料层(2),所述半导体材料层(2)填充至与基体口部外缘上表面齐平,由所述半导体材料层、极性基体口部外缘上表面形成的表面上间隔涂覆有条状石墨烯材料层(4);其特征在于,将石墨烯超表面吸收结构置于不同的背景环境中,当选择背景环境为空气,即εBG=1时,所述石墨烯超表面吸收结构吸收频点分别为29THz、37THz、45THz和48.5THz;当选择背景环境为水,即εBG=1.312时,所述石墨烯超表面吸收结构吸收频点分别为28.9THz、37THz、43.6THz和50THz;当选择背景环境的介电常数εBG=1.44时,所述石墨烯超表面吸收结构吸收频点分别为28.7THz、37THz、43THz和48.7THz。
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